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施政 《电子工业专用设备》2005,34(2):70-72
单晶炉炉室壳体密闭性是衡量单晶炉设备性能好坏的重要因素。主要探讨在制造单晶炉炉室壳体过程中,采用恰当的不锈钢焊接工艺,提高单晶炉炉室壳体的抗腐蚀性能,改善密闭性,从而提高整台单晶炉设备的可靠性。 相似文献
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利用热能原理的热扩散和热氧化技术的历史悠久,即便在今天的兆位级时代也可以说是基本技术之一,因此,扩散炉和氧化炉以卧式电炉作为基本形式从硅以前锗的时代开始已连续使用了几十年,不言而喻,在这期间由于温度控制系统的CPU化,由软着陆和悬臂架、升降机等带来的自动化和无人(尘)化,由无人工作台及HEPA(高效微粒空气过滤器)、ULPA 相似文献
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单晶炉是生产单晶硅的核心设备,其控制系统分析模型的建立有两种方法。一是以单晶直径外形尺寸为目标建立模型;二是以电气控制系统变量为目标建立模型。两种方法均未考虑到单晶生长工艺影响与单晶工艺指标。提出一种以固液交界面热场动态平衡分析为基础的方法,建立单晶炉控制系统变量分析模型,并据此辅以直径形状控制变量的工艺性制约因素考虑... 相似文献