晶圆激光切割技术的研究进展

综述了半导体领域晶圆切割技术的发展进程,介绍了刀片切割技术、传统激光切割技术、新型激光切割技术及整形激光切割技术的特点、工作原理和优缺点以及国内外使用晶圆切割技术获得的研究成果及其应用前景.与刀片切割技术相比,激光切割技术具有切割质量好、切割速度快等优点.详细介绍了以进一步改善晶圆切割质量和提高切割速度为目的的几类整形激光切割技术,包括微水导激光切割技术、隐形切割技术、多焦点光束切割、“线聚焦”切割、平顶光束切割和多光束切割等.随着技术的不断完善、切割设备的不断成熟,整形激光切割技术在未来的晶圆切割领域将具有广阔的应用前景.     

光纤激光切割碳钢的工艺研究

采用2kw光纤激光器对16mm以下Q235-A碳钢进行切割,以3mm及10mm为例进行工艺分析.在工艺优化后,对各样件进行分析.分析了焦点距离、激光功率、离焦量、气压各参数对切缝形貌,粗糙度、条纹的影响.结果表明,与传统的激光器不同,光纤激光切割3mm的碳钢一般为正离焦,切割10mm碳钢一般选择负离焦.切割薄板时,为了提高速度,一般选择高功率、高气压切割.切割厚板时,确保切面质量,一般选择高功率、低气压.     

激光加工技术在汽车工业中的应用

早在十几年前,欧洲汽车工业就开始将高功率激光器用于车身的焊接和切割,为推动激光加工设备的稳步发展作出了积极的贡献.激光技术现已成为现代汽车生产中的主要加工方法之一.在最新型汽车制造过程中,激光焊接与电阻点焊接具有同等重要的地位,就连铝合金和高张力钢那样的材料也需要激光加工.虽然激光加工具有原始投入成本较高的劣势,但远距离焊接方法的问世可降低其成本.本文主要叙述高功率激光器在汽车制造工业中的应用.     

中厚钢板小圆孔的高功率CO2激光切割工艺研究

为解决高功率CO2激光切割广泛用于面板、模板制作的中厚钢板小圆孔时存在的切割质量差的问题,采用Rofin DC025板条CO2激光切割系统,对6mm厚的A3钢板进行了Φ5mm小孔的激光切割工艺研究。系统研究了激光功率、切割速度和氧气压力对切割质量的影响,分析了切割前沿温度分布对切割质量的决定作用。结果表明,当激光功率为1KW、切割速度为1.0m/min、氧气压力为1.2×105Pa时可获得最佳切割效果,解决了中厚钢板小圆孔的高功率CO2激光切割时存在的切割质量差的问题。     

高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究

通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质量的铜质薄膜器件。     

高功率CO_2激光切割机的精密聚焦系统

研制了高功率CO_2激光二维切割精密聚焦系统，应用结果表明：该系统稳定性高，提高了生产效率和产品质量。     

高功率CO2激光加工设备的泵浦电源及研究状况

就高功率气体激光加工设备在广泛应用中，对泵浦电源性能和特点提出越来越高的要求，阐述了高功率激光电源的研究状况，论述了开关电源应用于激光设备的技术优势，提出了激光泵浦电源的发展方向。     

光谷激光抓住激光器“牛鼻子”

国内高档激光切割设备所配备的激光器绝大多数依赖于进口．武汉光谷激光技术股份有限公司力求突破这一局面。据武汉光谷的负责人介绍，光谷激光在3年内将建成国内最大的高功率二氧化碳激光器制造基地，5年内成为亚洲最具影响力的高功率二氧化碳激光器供应商。批量生产4000W以上的轴快流二氧化碳激光器．过去全球只有5家国外企业能做到，它们是“老大”，占领了全球90％以上的市场份额。激光切割成套设备的核心是激光器，就像汽车的核心是发动机一样。激光器的光束质量越好，加工威力就越大，效率就越高。绝大多数激光切割成套设备采用轴快流二氧化碳激光器。同进口的高端激光器相比，国产货在光束质量和稳定性方面差距明显。     

非常规激光加工技术的研究

常规激光加工技术是利用高温使材料熔化或气化而达到加工目的,但是常导致加工区域热影响区和微裂纹的影响.着重探讨了水导激光加工过程中的激光与液束耦合原理及加工效果,分析了体加热激光切割玻璃过程中的温度场和应力场,以及曲线切割和多层玻璃激光切割技术.针对两种非常规激光加工技术--水导激光加工和体加热激光切割玻璃技术,进行了理...     

“现代高功率激光器及其应用”国际研讨会

1999年 1 1月 1～ 5日在日本大阪大学激光技术研究所召开了“现代高功率激光器及其应用”国际研讨会。会议的主席有诺贝尔奖获得者汤斯教授 (美国伯克利加州大学 )和Х .Ока教授 (日本三菱公司 )。会议由来自大阪激光热核聚变规划前领导人 С.Накай教授倡导。会议的财政支持来自日本激光协会和国际光学技术协会 ( SPIE)。会议由平行的五个分会组成 :·高功率激光烧蚀 ;·高能工程中的高功率激光器 ;·民用工程和建筑业中的高功率激光器 ;·工业中的高功率激光器 ;·高功率激光器的新进展。在这些会议上讨论的高功率激光器及其应用…