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相似文献
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1.
提出了一种解决大高宽比SU8结构的新方法.该方法是将SU8胶涂在一块掩模上,紫外光从掩模的背面照射,这样SU8胶的曝光将从底部开始,不需要进行过曝光来保证底部胶的曝光剂量,从而很容易控制曝光剂量和SU8胶结构的内应力.实验结果表明,该方法能够得到高宽比为32的SU8结构,而文献报道的SU8胶结构的高宽比最大仅为18.  相似文献   

2.
提出了一种解决大高宽比SU 8结构的新方法.该方法是将SU 8胶涂在一块掩模上,紫外光从掩模的背面照射,这样SU 8胶的曝光将从底部开始,不需要进行过曝光来保证底部胶的曝光剂量,从而很容易控制曝光剂量和SU 8胶结构的内应力.实验结果表明,该方法能够得到高宽比为32的SU 8结构,而文献报道的SU 8胶结构的高宽比最大仅为18  相似文献   

3.
SU 8光刻胶优异的性能在MEMS技术的发展重得到了广泛的应用 ,已经成为MEMS研究中必不可少的方法之一。SU 8光刻胶能够进行厚度达毫米的结构研究工作 ,另一方面SU 8结构具有很好的侧面垂直结构 ,通过控制工艺参数 ,能够获得满意的SU 8胶结构。SU 8光刻胶已应用于LIGA技术的标准化掩模制造工艺和一些器件的研究工作。在SU8胶研究过程中 ,克服了许多技术难题 ,使得这一技术能够应用到实际的需要中。  相似文献   

4.
SU8光刻胶优异的性能在MEMS技术的发展重得到了广泛的应用,已经成为MEMS研究中必不可少的方法之一.SU8光刻胶能够进行厚度达毫米的结构研究工作,另一方面SU8结构具有很好的侧面垂直结构,通过控制工艺参数,能够获得满意的SU8胶结构.SU8光刻胶已应用于LIGA技术的标准化掩模制造工艺和一些器件的研究工作.在SU8胶研究过程中,克服了许多技术难题,使得这一技术能够应用到实际的需要中.  相似文献   

5.
利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
SU8光刻胶优异的性能在MEMS技术的发展重得到了广泛的应用,已经成为MEMS研究中必不可少的方法之一。SU8光刻胶能够进行厚度达毫米的结构研究工作,另一方面SU8结构具有很好的侧面垂直结构,通过控制工艺参数,能够获得满意的SU8胶结构。SU8光刻胶已应用于UGA技术的标准化掩模制造工艺和一些器件的研究工作。在SU8胶研究过程中,克服了许多技术难题,使得这一技术能够应用到实际的需要中。  相似文献   

6.
针对传统FBAR(Film Buck Acoustic Resonator)制备困难、成品率低的问题,提出一种新型FBAR结构(SU8-FBAR)。利用高分子聚合物材料SU8薄膜代替传统FBAR的支撑层和声波限制结构,增加了FBAR器件的机械强度,且易于制备,成品率较高。采用AlN作压电薄膜,分别以Mo、Pt、CNT、Al作为电极,利用Comsol Multiphysics仿真软件对SU8-FBAR的结构参数进行仿真优化。结果显示,当电极材料为CNT、上电极厚度为0.1μm、SU8薄膜厚度为5μm时,SU8-FBAR的综合性能最优:SU8-FBAR的品质因数(Q)值达到1210,几乎为传统FBAR Q值的3倍;机电耦合系数为0.063,高于传统FBAR的0.0425。该器件能检测到极小谐振频率的变化,可用于微生物传感领域。  相似文献   

7.
宋克慧 《光电子.激光》2000,11(2):203-205,211
提出一种通过原子 -腔场的 Raman相互作用生成 SU(1,1)相干态的叠加态的方法。首先让原子通过腔场 ,建立原子 -腔场的纠缠 ,然后对原子进行选择测量 ,腔场塌缩到 SU(1,1)相干态的叠加态 ,即双模 SU(1,1)猫态。  相似文献   

8.
研究认知无线网络中认知用户(secondary user,SU)的信道选择策略。在每个信道上,由于主用户(primary user,PU)返回的概率不相同,因此SU需要接入一个成功传输概率最大的信道,以尽量避免与PU发生冲突。提出了一个基于EWA学习的信道选择算法,仿真结果表明,SU通过学习历史信道选择的经验,能自适应地选择可用性最好的信道,从而最小化与PU发生冲突的概率,有效地降低了SU进行信道切换的可能性。  相似文献   

9.
使次系统容量最大化的协作频谱感知性能分析及优化   总被引:2,自引:0,他引:2  
针对认知无线电网络中SU数、检测门限、带宽、频谱利用率和次系统容量间关系的分析表明,一方面C-CSS不仅可降低虚警率、提高频谱利用率,还可利用较少的SU实现较高的次系统容量;另一方面在SU数一定且满足目标要求时,C-CSS与T-CSS实现最大次系统容量所要求的检测门限不同.提出协作频谱感知优化算法,利用NP准则通过直接对数学模型求解即可得到使次系统容量最大的SU数和相应检测门限.理论分析和仿真结果均表明,所提算法在保证目标检测率的前提下最大化了次系统容量.  相似文献   

10.
本文研究初始纯态演化的二能级原子SU(2)压缩的混态临界行为。通过建立赝自旋单位球模型引入混态概念,求出了SU(2)压缩的混态临界值。对于受驱动阻尼二能级原子系统,借助于数值计算较详细地讨论了偏调和阻尼参数对SU(2)压缩的混态临界值、混态压缩的“寿命”以及压缩的最大量值的影响。  相似文献   

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