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MOEMS在很多领域有着潜在的应用,然而制作三维MOEMS是一个很复杂的过程。利用晶格失配的外延层自组装制作三维微纳米结构是一种很有发展前景的方法。该方法主要应用由于应变层中晶格常数不同而带来的应变效应。利用这种技术可以完成在同一平台上自组装不同元件,在MOEMS中有广阔的应用前景。我们分析了该技术存在的问题并对今后发展前景进行了展望。 相似文献
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有序贵金属纳米结构由于其本身所特有的光学响应及灵活调控能力,在微纳光电子材料与器件研究领域得到了广泛应用。在众多相关研究中,如何实现金(Au)纳米周期结构的大面积快速制备是人们关心的重要问题之一。采用纳米球自组装刻蚀方法,在大孔周期结构模板内部成功制备了新型二维Au纳米阵列,并有效避免了杂散Au纳米颗粒的产生。通过进一步的工艺优化和参量控制,实现了Au纳米颗粒尺寸的灵活调控,并探讨了其结构形成的物理机理。光学测试研究结果揭示了二维Au纳米阵列的表面等离子体吸收与散射响应,并证明其在近红外飞秒脉冲激励下具有显著的双光子吸收(饱和)效应。该研究结果在太阳能电池,光开关及材料微纳制备等领域具有潜在应用。 相似文献
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在过去的二十多年里,周期性的微纳米结构(义称光子晶体)由于在光功能器件中的潜在应用而获得了广泛和深入的研究.与此同时,激光操纵微纳米粒子的研究也取得了显著的进展.在种类繁多的光子品体中,利用重力、毛细作用以及对流等方法将尺寸均一的微纳米粒子组装而形成的胶体光子晶体倍受关注.在上世纪90年代初,Burn等[1]提出了利用激光来组装有序微纳米结构也就足光物质的设想.它们是南光子产生并月.维持的有序结构,有时也称作动态光了晶体.一直以来,用光操纵的方法产生有序结构或光物质主要是依赖全息光学技术.然而,基于全息光学的光操纵技术不但实验装置复杂,而且制备的光物质还远末达到器件应用的要求.因此,人们一直在寻找一种简单可靠的技术来制备大体积、高质量的光物质. 相似文献
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利用高分子共混物的自组装机理,将聚苯乙烯(polystyrene,PS)和聚甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate,PMMA)进行混合形成共混物,并进行微相分离和自组装,然后将共混物放置到超声装置中,利用超声波辅助,使自组装微粒直径和位置分布相对均匀,形成用于刻蚀微纳结构的微掩模。最后利用湿法腐蚀,在LED的GaP窗口层上制作出纳米结构的粗化层。通过SEM、显微镜手段,优化了刻蚀条件。测量了器件的光强、光功率以及I-V曲线,结果表明,使用高分子自组装进行粗化,可以在保持电压及波长特性的条件下,提高光输出功率19.3%。 相似文献