首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
相似文献
 共查询到10条相似文献,搜索用时 218 毫秒
1.
三维一体化超微定位系统的研制   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文设计并研制了以柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为驱动器的三维一体化超微定位机构,并以激光干涉仪微位移检测装置和微机控制系统构成了数字闭环控制的三维一体化超微定位系统。  相似文献   

2.
压电陶瓷微驱动器用于超精定位的技术研究   总被引:11,自引:4,他引:7  
孙涛  谭久彬  董申 《压电与声光》1999,21(6):493-497
对压电陶瓷微位移驱动器用于超精密二维柔性微定位系统的几个关键技术进行了理论分析和实验研究,并得到了二维微定位系统的双向静态、动态特性曲线。经测试,通过闭环控制的定位重复性精度在-15nm~+15nm以内,采取这些关键技术措施是可行的。  相似文献   

3.
压电驱动三维纳米这位系统的研究   总被引:4,自引:1,他引:3  
在纳米科学与技术领域,纳米定位技术是实现纳米加工与测量的关键技术.本文作者采用柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为微位移驱动器,设计了一种新颖的三维纳米定位机构.给出了其刚度公式和动力学模型,对压电陶瓷的压电误差及其补偿方法进行了分析.结合激光干涉仪微位移检测装置.设计并研制了数字闭环控制的三维纳米定位系统.验表明,该纳米定位系统定位精度优于±0.03 μm,定位分辨力3 nm.最大定位时间40 ms.  相似文献   

4.
压电式微定位机构及其控制系统的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位机构,给出了机构的动力学模型。结合检测装置和微机控制系统,设计并研制了基于前馈控制同数字PID反馈控制相结合的复合控制的微定位系统。实验表明,微定位系统定位行程可达100μm,定位分辨力0.01μm。  相似文献   

5.
压电驱动三维超微定位平台的性能研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
提出一种以柔性铰链结构为导向机构、压电陶瓷为驱动器的三维超微定位工作台,对三维超微定位工作台的非线性和动态特性的问题进行了研究,提出改善方法以提高系统的定位性能。将三维超微定位平台用于微操作机械手。  相似文献   

6.
聚合物膜中CdS超微粒的制备及光物理性质研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
本文采用化学合成法在全氟羧酸阳离子交换膜中制备出了性能稳定,具有晶体结构的纳米尺寸的半导体CdS超微粒.分析结果表明制得的CdS超微粒在吸收和荧光光谱中均显示出显著的量子尺寸效应.随制备条件的不同,其吸收起始波长可从近500nm蓝移至400nm左右,荧光最大发射峰位也蓝移了100nm(700→600nm).单光子计数测得在膜中CdS超微粒子的荧光寿命(约1μs)明显长于胶体溶液中的CdS超微粒子寿命.  相似文献   

7.
提出一种以柔性铰链结构为导向机构、压电陶瓷为驱动器的三维超微定位平台,建立了压电陶瓷迟滞非线性模型,提出基于神经网络模型和模糊PI反馈控制的混合闭环控制器方法以提高系统的定位精度,对三维超微定位平台的阶跃响应和和跟踪误差进行了研究.实验研究表明,混合控制器方法消除了定位平台的残余振荡,提高了其定位速度和定位精度.  相似文献   

8.
压电陶瓷扫描管在纳米加工中的应用   总被引:3,自引:0,他引:3  
李志扬  李兴教 《压电与声光》1998,20(1):25-27,44
用一圆筒形压电陶瓷作三维微位移器,控制扫描隧道显微镜金属探针,利用场蒸发原理,实现了纳米加工。用Au,Cu和Ni等金属针尖在金表面制作了纳米尺寸的图案,汉字,其中组成这些图案和汉字的每个原子堆的直径约10-40nm,实验表现出非常好的可控性,重复性和稳定性。  相似文献   

9.
一种新型压电陶瓷控制器的研究   总被引:7,自引:3,他引:4  
林伟  叶虎年  叶梅  冯海 《压电与声光》2005,27(3):247-249
压电陶瓷的迟滞、非线性和蠕变特性,降低了它的定位精度,且给压电陶瓷微定位系统的控制带来困难。该文提出一种新的智能逻辑规则控制算法,仿真结果表明,与PID控制算法相比,控制器输出不仅超调量小、响应时间快,而且控制器的控制精度可以预先设定并通过直接调节参数而满足,满足了压电陶瓷微定位系统高精度的要求。  相似文献   

10.
针对压电陶瓷定位系统中电容传感器故障对定位精度的影响,对使用扩展卡尔曼滤波(EKF)进行容错控制的方法进行了研究。以传感器采样电路故障和掉电故障为对象,对三阶轨迹规划算法下电容传感器的EKF滤波公式进行了分析,提出以离散化迭代计算的EKF代替传统的将非线性系统线性化的方法。在压电陶瓷定位系统实验平台上,使用激光干涉仪作为测量基准,在传感器采样电路故障和掉电故障的情况下,实现了500μm行程,绝对精度小于3.5μm,误差小于0.7%的定位控制。结果表明,基于EKF的电容传感器容错控制可以有效减小传感器故障引起的控制误差,增加压电陶瓷定位系统的鲁棒性。  相似文献   

设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号