精密稳压电源设计

本文综述稳压电源的类型及主要性能指标概念，分析改善提高技术指标的途径，举例阐述精密稳压电源的工作原理及设计措施。     

一种复合调整型精密高压电源

为保证电子束曝光机用高压电源既有高静态精度,又有高动态稳定性,采用直接调整和间接调整相结合的复合调整方案,同时采用集中补偿和分散补偿相结合的复合补偿方案。为实现高压稳压电源系统的高精密、高稳定和低纹波电压等技术指标,采取了多项合理的特定电路设计和有效的技术处理措施。通过各项性能指标的测试和长期实际工作运行,证明各项技术指标均达到或超过原设计要求,保证了电子束曝光机的制版精度。     

电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析

介绍了电子束曝光机的一种新型精密工件台,在结构上成功地将工件台的承载力与导轨的导向作用分离开来,极大地提高了工件台的运动精度和运行的平稳性。论述了精密工件台的结构设计要点、几何精度以及达到的技术指标。     

电子束曝光系统中精密工件台的测量系统

介绍了电子束曝光技术的原理。根据精密工件台对测量系统的需要,设计了三轴工件台测量系统布局方式,并简单介绍了激光干涉测量系统所需元器件数量的计算方法。重点讨论了双频激光干涉测量原理、双频光束与运动方向敏感性的关系以及读出装置信号处理方法。在此基础上,对研制的电子束曝光系统精密工件台进行了直线性和垂直性实验测试,其测量分辨率达到0.6nm,测量重复性精度达到±0.06μm,测量绝对误差达到0.011μm。结果表明,采用双频激光测量系统可确保工件台系统测量和定位准确性。     

电子束曝光机复合调整式30KV电源

介绍了复合调整式高压电源的总体设计方案，提出实现高压电源高稳定度的关键技术措施。     

高精度交流高压稳压电源的研制

介绍了一种基于正弦脉宽调制技术（SPWM）设计交流高压稳压电源的方法。利用MOSFET管组成的全桥式逆变电路和单片机80C196，通过查表和在线计算机组合的方法实时产生SPWM波形。在闭环电路的控制下，经滤波和升压得到频率稳定、波形精度高的正弦交流电。     

扫描电子束曝光机复合物镜的研究与设计

在综合研究已有的各种复合物镜(如移动物镜、变轴物镜和摆动物镜等)的基础上,本文对复合物镜的一般理论进行了探讨,推导了普遍化计算公式,并提出新的复合物镜(弯曲物镜)系统。采用解析函数近似表示系统场分布,对弯曲物镜系统象差进行了理论分析,并设计出一个实际系统。数值计算结果给出该系统在55mm2扫描场内,束孔径角5mrad和能散2.5eV下,最大彗差0.005m,横向色差0.001m。     

高频高压电源电晕放电研究

本文报告了一种高频高压电源，利用交直流叠加技术，产生高频快速上升沿的交流脉冲，满足产生低温等离子体的需求。实验表明，交直流叠加电源能够产生良好的低温等离子体     

高电源电压抑制比基准电压源的设计

在此通过对带隙基准电压源电路进行建模分析,针对逆变电路的中低频使用环境,设计了一个应用于高压逆变器电路中的高电源电压抑制比,低温度系数的带隙基准电压源。该电路采用1μm,700 V高压CMOS工艺,在5 V供电电压的基础上,采用一阶温度补偿,并通过设计高开环增益共源共栅两级放大器来提高电源电压抑制比,同时使用宽幅镜像电流偏置解决因共源共栅引起的输出摆幅变小的问题。基准电压源正常输出电压为2.394 V,温度系数为8 ppm/℃,中低频电压抑制比均可达到-112 dB。     

农村低压电网末端电压补偿技术研究与应用

针对目前我国部分偏远地区的低电压状况,并结合相关台区实际情况和一些其他客观因素,提出一种适用于农村低压电网末端电压补偿的装置并对其工作原理及性能特点进行研究,最后结合实践应用情况进行分析,并提出相关注意点和应对措施.     

高压电子显微镜的发展

本文介绍了高压电子显微镜的发展历史、现状以及应用情况和对未来的展望。     

一种低压大电流直流电源的输出电压补偿设计

文中基于一种采用VICOR DC-DC转换器设计的低压大电流直流电源,通过采样负载点电压,外加反馈电路来调节转换器输出电压,以补偿在大电流传输时负载线上的电压降,从而达到稳定负载点电压的目的。本文详细分析了电压补偿电路的原理,介绍了元器件选择方法,并通过电压补偿电路的设计和测试验证了该电路的可行性。     

5kV重复频率高压脉冲电源设计

针对毛细管放电X线激光的研究中气体预电离对电源的要求,设计一种重复频率的高压脉冲电源。采用可调直流高压电源和储能电容器作为能源系统,利用固体开关作为主放电开关控制脉冲宽度和频率,最后通过脉冲变压器升压在负载上得到所需的电压脉冲。整个系统利用计算机和数据采集控制卡实现程控。实验结果表明5kV重复频率高压脉;中电源的最终输出脉冲电压范围为3-5kV可调：脉冲宽度范围为2-20μs可调：脉冲频率范围为1～200Hz可调;脉冲电流最大100A。     

A high precision programmable bandgap voltage reference design for high resolution ADC

temperature coefficient is close to 0.69 ppm/℃ over the whole temperature range.     

用于高分辨率ADC的高精度可编程带隙电压参考设计

A programmable high precision bandgap reference is presented, which can meet the accuracy requirements for all technology corners while a traditional bandgap reference cannot.This design uses SMIC 0.18 μm 1P4M CMOS technology.The theoretically achievable temperature coefficient is close to 0.69 ppm/°C over the whole temperature range.     

低压差直流稳压电源设计

设计一种最小压差为0．2V就能正常工作的稳压电源。通过对电路进行负载特性、输入电压影响等分析与实验。证明该电路设计的有效性,并且提供一种实用参考电路。     

一种高压开关电源的设计

本文依据当前精密电子系统的要求,设计了一种新型高压开关电源,尤其是对重要的设计要点进行了深入描述。最后对该电源的实际使用进行了详细的性能分析。