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通过理论探讨和实验仿真,分析了一种新型谐振腔增强型光电探测器RCEP(Resonant Cavity Enhanced Photodetector)的结构及性能,该RCEP的基本结构是将吸收层插入到谐振腔当中,并指出这种新型器件较传统器件可获得较高的量子效率和响应速度,而其具有的波长选择特性,使这种新型器件可在光波分复用WDM(Wavelength Division Multiplexing)系统中获得广泛应用. 相似文献
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高速长波长光探测器是高速光纤通信系统和网络的关键器件,它要求光探测器具有宽的频率响应带宽和高量子效率。常用的PIN光探测器由于量子效率和高速性能均受到吸收层厚度的牵制,使得二者相互制约,成为一对矛盾。谐振腔增强型(RCE)光探测器为这一矛盾的解决提供了有效的方案。基于谐振腔增强型光探测器的实际设计和制作模型,分析了器件吸收层中的光场分布,并将其运用于载流子的连续方程,从理论上详细地分析了器件的高速响应特性,给出了计算结果。针对研制的高速长波长谐振腔增强型光探测器,进行了理论分析和实际器件测试的结果比较,得到了比较一致的结果。 相似文献
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考虑不同层材料折射率差时的谐振腔增强型光电探测器分析 总被引:2,自引:3,他引:2
本文着重探讨了在考虑组器件的不同层材料之间的折射率差时对器件的性能进行分析和方法,并与KatsumiKishino,M.SelimUnlue提出的分析方法进行了比较。指出当折射率相差较小时,两种分析方法所得现的最佳峰值量子效率折射率的变化特性极为近似,但在响应光谱结构上存在着差别,而当折射率相差较大时,采用两种分析方法所得结果之间的差别很大。本文的分析更接近于实际情况。 相似文献
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新型长波长InP基谐振腔增强型光探测器 总被引:3,自引:1,他引:3
介绍了一种新型长波长InP基谐振腔增强型(RCE)光探测器。通过V(FeCl3):V(H2O)溶液对InGaAs牺牲层的选择性湿法腐蚀,制备出具有InP/空气隙的高反射率分布布拉格反射镜(DBR),并将该选择性湿法腐蚀技术成功地应用到长波长InP基谐振腔增强型光探测器的制备中去,从而彻底解决了InP/InGaAsP高反射率分布布拉格反射镜难以外延生长的问题。所制备出的谐振腔增强型光探测器,其台面面积为50μm×50μm,底部反射镜为1.5对的InP/空气隙分布布拉格反射镜,顶部反射镜靠InGaAsP与空气的界面反射来实现。测试结果表明,该谐振腔增强型光探测器在波长1.510μm处获得了约59%的峰值量子效率,在3V反偏压下暗电流为2nA,3dB响应带宽达到8GHz。 相似文献
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