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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 251 毫秒
1.
对以玻璃为基材的微透镜阵列的制作工艺进行了研究,得出了影响微透镜阵列制作的三个主要因素:玻璃组分、腐蚀方法以及抗蚀掩模层材料。并通过实验详细分析了这三者对实验结果的影响。根据分析结果,选择合适的材料和工艺方法,获得了效果较好的玻璃微透镜阵列,为玻璃微透镜阵列的制作提供了依据和方法。  相似文献   

2.
光学读出热成像是一种新型的红外成像技术,它基于双材料效应和光学原理实现像转换与像增强,具有高性价比的潜在优势.光学读出热成像焦平面阵列由可动微镜阵列构成,其制作技术是光学读出热成像技术的重要研究内容之一.目前,国内外的研究者已发展了基于表面微机械、体微机械以及表面,体微机械工艺的3种制作技术,前两者各有优缺点,而基于表面/体硅微机械工艺的制作技术则兼顾了前两者的优点.  相似文献   

3.
本文总结了气体传感器中微加热器的材料、结构及热特性,列举了常见的几种微加热器,对Pt加热器和多晶Si加热器进行比较,并在此基础上简要介绍了传感器阵列中微加热器的制作及器阵列的气敏特性。  相似文献   

4.
介绍了利用软刻蚀紫外模塑技术制作复制聚合物折射和衍射微透镜阵列的工艺过程.实验过程和测试结果表明,聚二甲基硅氧烷(PDMS)模具可以完好地将母版上的微透镜阵列复制到硅或玻璃材料上的光敏胶上,并可多次使用,且母版无损伤.此技术具有速度快,工艺简单的特点,可用于微透镜与图像传感器的单片集成.  相似文献   

5.
微小光学与异形孔径微透镜阵列研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
讨论了微小光学的发展和异形孔径(正方形和六角形)微透镜阵列的制作。自聚焦透镜的制作加速了微小光学的产生,微透镜阵列器件的应用,促使微小光学迅猛发展,异形孔径微透镜阵列的研制,开创了微小光学新的研究领域。重点对异形自聚焦透镜和异形孔径微透镜阵列的理论和实验研究工作进行讨论,给出了有益的结果。  相似文献   

6.
介绍了利用硅、熔融石英和聚酰亚胺等材料制作折射和衍射微透镜阵列的工艺和结果,以及这些微透镜阵列分别与红外、可见光图像传感器的集成应用.微透镜与红外256×256PtSiCCD的集成结果表明,微透镜填充系数提高了2.3倍,成像质量明显改善.  相似文献   

7.
介绍了一种利用光刻、等离子体刻蚀和高温热熔等工艺在PMMA材料上制作折射微透镜的新方法,该方法具有刻蚀工艺容差大、热熔后球冠形貌好、易于和CCD实现工艺集成等优点。经过对各个工艺参数的优化实验,制备出了具有良好球冠形貌的微透镜阵列,并成功与256×256内线转移CCD完成了工艺集成,集成后微透镜阵列的整体形貌和尺寸与设计值相吻合。  相似文献   

8.
编码灰阶掩模酶蚀明胶法制作折射微透镜阵列   总被引:1,自引:0,他引:1  
提出一种以重铬酸铵明胶作为记录材料 ,用编码灰阶掩模曝光 ,蛋白酶溶液作为显影剂制作折射型微透镜阵列的新方法。给出了具体实验结果  相似文献   

9.
赖建军  赵悦  柯才军  周宏  易新建  翁雪涛  熊平 《半导体光电》2005,26(Z1):106-110,114
介绍了二元光学方法制作多台阶衍射微透镜的设计和工艺过程;分析了台阶侧壁倾斜对衍射效率的影响;提出了一种基于软刻蚀技术的复制和集成新工艺.实际制作了8台阶硅衍射微透镜阵列,利用新工艺复制了硅衍射透镜阵列.  相似文献   

10.
一种微透镜阵列的研制   总被引:1,自引:0,他引:1  
杨修文  祝生祥  谢红  路素彦 《光电子技术》2003,23(3):170-172,181
介绍一种利用表面张力的作用、以光纤作材料、用分离的自聚焦透镜制作微透镜阵型的方法,这种方法具有制作工艺简单、无须昂贵设备等优点,用此方法实际制作了具有良好连续面型的微透镜阵列,并对制作的微透镜阵列进行了测试,效果较好。  相似文献   

11.
介绍了一种基于标准硅工艺的微悬臂梁非致冷红外探测器的设计和制作.由于氮化硅和铝的热膨胀系数相差很大,用这两种材料的薄膜做成的双材料微悬臂梁在红外辐射下温度升高并发生弯曲,微悬臂梁和衬底形成一个可变电容,通过检测电容的变化来反映微悬臂梁的弯曲,从而可以探测红外辐射的情况.利用外部测试设备对单元探测器进行测试表明,该微悬臂梁对红外辐射有很高的响应.  相似文献   

12.
基于电容读出的非制冷红外探测器   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
介绍了一种基于标准硅工艺的电容读出式微悬臂梁非制冷红外探测器的设计、制作以及集成读出电路的设计。该探测器用于探测室温下物体的红外辐射,其响应波长为8~12 μm 。由于氮化硅和铝的热膨胀系数相差很大,用这两种材料的薄膜做成的双材料微悬臂梁在红外辐射下会发生弯曲,微悬臂梁和衬底形成一个可变电容,通过检测电容的变化来反映微悬臂梁的弯曲,从而可以探测红外辐射的情况。采用和探测器集成的CMOS读出电路对探测器信号进行读取,微悬臂梁的电容灵敏度可达2.5 fF/K,温度分辨率为0.1 K。  相似文献   

13.
一种新型非致冷红外探测器   总被引:2,自引:0,他引:2  
刘海涛 《红外技术》2005,27(5):388-392
介绍一种基于标准硅工艺、采用电容读出方式微悬臂梁非制冷红外探测器的设计、制作及性能测试。用这两种热膨胀系数相差很大材料(氮化硅和铝)的薄膜做成的双材料微悬臂梁在红外辐射下,温度升高并发生弯曲。通过检测微悬臂梁和衬底形成的一个可变电容变化可以得知微悬臂梁的弯曲情况,从而可以探测红外辐射的信息。利用外部测试设备对单元探测器进行测试表明微悬臂梁对红外辐射有很高的响应。  相似文献   

14.
An optical readout uncooled infrared (IR) imaging detector of bimaterial cantilever array using knife-edge filter operation (KEFO) is demonstrated. The angle change of each cantilever in a focal plane array (FPA) can be simultaneously detected with a resolution of 10-5 degree. A deformation magnifying substrate-free micro-cantilever unit with multi-fold interval metallized legs is specially designed and modeled. A FPA with 160×160 pixels is fabricated and thermal images with noise equivalent temperature difference (NETD) of 400 mK are obtained by this imaging detector.  相似文献   

15.
The application of a mask-level butting technique to the design and fabrication of a very long, monolithic silicide infrared (IR) charge-coupled device (CCD) line array is described. This technique gives a continuous line of 896 IR sensing elements. The number of IR detectors (the length of the array) can be varied as required at the device dicing and packaging stages. The maximum array length is limited only by the silicon wafer size and the processing yield  相似文献   

16.
报道了一种利用MEMS技术制备 ,基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外焦平面阵列 (FPA)并配有可见光读出部分的红外成像系统 ,可以在 8~ 14 μm光谱区得到成像。基于该结构的非制冷红外成像系统利用的是光力学效应原理。我们采用MEMS表面硅工艺制备FPA ,深入研究了双材料悬臂梁结构成像系统的基本原理 ,工艺制备难点和响应结果  相似文献   

17.
非制冷红外成像技术由于其成本低可考性好而倍受关注。一种基于MEMS双材料梁阵列的新概念光学读出红外成像系统也于今年来被提出来。介绍了这种系统成像原理,影响参数及其研究现状,最后展望了其发展前景。  相似文献   

18.
The cost and performance of hybrid HgCdTe infrared (IR) focal plane arrays are constrained by the necessity of fabricating the detector arrays on a CdZnTe substrate. These substrates are expensive, fragile, available only in small rectangular formats, and are not a good thermal expansion match to the silicon readout integrated circuit. We discuss in this paper an IR sensor technology based on monolithically integrated IR focal plane arrays that could replace the conventional hybrid focal plane array technology. We have investigated the critical issues related to the growth of HgCdTe on Si read-out integrated circuits and the fabrication of monolithic focal plane arrays: (1) the design of Si read-out integrated circuits and focal plane array layouts; (2) the low-temperature cleaning of Si(001) wafers; (3) the growth of CdTe and HgCdTe layers on read-out integrated circuits; (4) diode creation, delineation, electrical, and interconnection; and (4) demonstration of high yield photovoltaic operation without limitation from earlier preprocessing such as substrate cleaning, molecular beam epitaxy (MBE) growth, and device fabrication. Crystallographic, optical, and electrical properties of the grown layers will be presented. Electrical properties for diodes fabricated on misoriented Si and readout integrated circuit (ROIC) substrates will be discussed. The fabrication of arrays with demonstrated I–V properties show that monolithic integration of HgCdTe-based IR focal plane arrays on Si read-out integrated circuits is feasible and could be implemented in the third generation of IR systems.  相似文献   

19.
Mixed vanadium oxide thin films, as VO2 for the main composition are materials for uncooled microbolometer due to their high temperature coefficient of resistance (TCR) at room temperature. This paper describes the design and fabrication of 8-element linear array IR uncooled microbolometers using the films and micromachining technology. The characteristics of the array is investigated in the spectral region of 8–12 μm. The fabricated detectors exhibit responsivity of up to 10 KV/W, typical detectivity of 1.89×108 cmHz1/2/W, and thermal time constant of 11 ms, at 296 K and at a frequency of 30 Hz. Furthermore, The uncorrected response uniformity of the linear array bolometers is less than 20%.  相似文献   

20.
邓三泳  岳嵩  张东亮  刘昭君  李慧宇  柳渊  张紫辰  祝连庆 《红外与激光工程》2022,51(3):20210360-1-20210360-10
红外焦平面阵列在各类红外成像系统中发挥着巨大的作用。为提升红外焦平面的工作温度、量子效率和灵敏度,通常使用微透镜阵列作为红外焦平面的聚光器。当前微透镜阵列的制作材料通常与红外探测器材料不同,因此在集成装配时需要额外的工艺手段,工艺难度较大且效率较低。利用微纳光学超表面技术体系,可以在红外探测器衬底材料上直接制作平面式的固体浸没型微透镜阵列,实现前置微透镜与红外焦平面的单片集成。文中以红外探测领域最有潜力的锑化物Ⅱ类超晶格红外探测器为应用目标,设计了一种基于GaSb衬底的固体浸没式红外超表面透镜。设计的超表面透镜在中波红外波段工作,能适用于所有入射偏振。器件设计焦距为100 μm,理论上在目标波长下的最高聚焦效率达到70.7%,数值孔径(NA)达到1.15。该设计可以推动微透镜阵列向扁平、超薄、轻量的方向发展,简化微透镜阵列与红外焦平面阵列的集成工艺,有望提升红外焦平面的探测效率,并降低制造成本。  相似文献   

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