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相似文献
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1.
韩旭 《激光技术》1983,7(3):37-41
本文报导了15层SiO2/TiO2高反射膜的几项激光损伤实验结果。损伤试验是在劳伦斯·利弗莫尔实验室进行的,用了波长为1.06微米、脉宽为1毫微秒的脉冲激光。在反射膜上迭破一层λ/2 SiO2膜,竟使损伤阈值提高50%。改变膜层内的电场分布实验指出,决定性的因素既不是TiO2膜层内的峰值电场,也不是其中的平均电场;而TiO2/SiO2界面处的电场倒是相当重要的。试图把损伤阈值与膜层的吸收关联起来,这获得部分成功。当吸收率高于10-4,损伤阈值同吸收之间有着紧密的关系。不过,当吸收率低于10-4,损伤阈值显得与膜层的体吸收并无关联。用光学显微镜观测,支持了这一结论。  相似文献   

2.
重点研究了激光造成的膜层轻微损伤的微观结构和光学性质,分析了膜层表面质量、激光强度和照射次数对膜层表面变化的影响,以此为依据指导激光预处理方法来提高光学元件损伤阈值.就激光损伤机理而言,不管是雪崩离化机制还是多光子吸收机制,都直接或间接地与光学膜层的微观杂质、缺陷有关,预处理过程就是有效消除使膜层产生严重损坏的因素,即消除杂质和缺陷的过程,所以,预处理过程同时也是一个使膜层产生微损伤的过程.工作研究了几种sol-gel膜、PVD膜在预处理前后膜层表面的变化(损伤形貌),损伤阈值的增幅,发现最大不损伤能流值越高的膜层,其预处理效果更好.预处理过程膜层的安全性(减低预处理对膜层的破坏程度)、膜层的预处理效果与两种因素有关,即膜层的内在质量(与膜层缺陷无关的质量)和预处理的激光能量参数(包括初始能量、能量增量、频率等).本身缺陷或杂质较少(或小),阈值较高的膜层,预处理过程中激光能量可以大跨度增加(3~4次激光辐照),且预处理产生的损伤较小.激光对膜层的清洗作用是预处理过程的主要机制,采用水蒸汽凝结法对比水气在预处理膜层上的凝结和蒸发速度,证明其表面对水的接触角明显降低,既洁净度提高,但这不是大幅度提高损伤阈值的主要因素.对于缺陷和杂质较多的膜层(如多层反射膜),即使严格控制激光预处理条件,预处理过程中会不可避免地产生不同程度的微损伤,大部分微损伤点的位置与原始的缺陷和杂质点相吻合,由于这些缺陷是降低膜层整体损伤阈值的主要原因,所以,预处理效果明显(最高阈值增加达2倍),通过增加预处理过程中的能量分段,可降低微损伤的程度,提高其在工作能流下的稳定性,达到预处理的目的.(OH8)  相似文献   

3.
激光清洗轮胎模具表面橡胶层的机理与工艺研究   总被引:8,自引:1,他引:7  
王泽敏  曾晓雁  黄维玲 《中国激光》2000,27(11):1050-1054
研究了运用脉冲激光清洗橡胶轮胎印字模具表面橡胶层的工艺参数与机理.结果表明,工艺参数适当时,脉冲激光能完全清洗模具表面而不损伤基体.激光清洗存在着清洗阈值和损伤阈值.在起始清洗阈值和完全清洗阈值之间,清洁率随着激光能量密度的升高而增大.在完全清洗阈值与损伤阈值之间,基体表面清洁率保持100%而且不受任何损伤.激光清洗橡胶的机理有二:一为激光产生的高温导致橡胶表层瞬间燃烧和气化;二为橡胶深层受热振动和激光脉冲的热冲击作用使铝片表面橡胶颗粒飞溅.  相似文献   

4.
提出预填充方式控制膜间渗透,采用聚苯乙烯(PS)对低折射率SiO2膜内孔隙进行预填充,镀第2层ZrO2后再于甲苯中洗脱,恢复孔隙率以实现膜间防渗透。采用椭偏仪、紫外-可见光分光光度计、原子力显微镜(AFM)和光学显微镜对薄膜进行表征,研究了预填充PS前后的溶胶-凝胶SiO2/ZrO2薄膜膜间渗透与激光辐照损伤。结果表明,单层SiO2填充PS后膜面均方根粗糙度由4.164 nm下降为1.983 nm,折射率由1.1474增加到1.358 3,在甲苯中浸泡15 min后可完全清除PS。PS填充后的SiO2/ZrO2双层膜清洗1 h后,可使填充了PS的SiO2层的平均折射率由1.36降为1.29(未填充区域为1.38),透光率峰值提高(1~2)%。利用Nd:YAG激光器(1.064μm,8.1 ns)对SiO2/ZrO2双层膜进行了损伤阈值的测试,结果表明经PS填充并清洗后损伤阈值降低了8 J/cm2,但两者损伤形貌均为熔融型。  相似文献   

5.
采用电子束蒸发沉积技术制备了平板偏振膜。用Lambda900分光光度计测试了其光学性能。在中心波长1053 nm处P偏振光的透过率TP>98%,S偏振光的透过率TS<0.5%,消光比TP/TS>200∶1,带宽约为20 nm。用波长1064 nm,脉宽12 ns的脉冲激光进行损伤阈值测试,获得P偏振光的损伤阈值为17.2 J/cm2,S偏振光的损伤阈值为19.6 J/cm2。用Nomarski显微镜对薄膜的损伤形貌进行观察,并用Alpha-500型台阶仪对损伤深度进行测试。结果表明,P偏振光的激光损伤为界面损伤与缺陷损伤,而S偏振光的激光损伤主要是驻波电场引起的界面损伤,界面损伤发生在偏振膜表面第一层与第二层界面处,缺陷损伤发生在偏振膜内部。  相似文献   

6.
10.6μm激光对钛、锆光学薄膜的损伤   总被引:5,自引:0,他引:5  
李仲伢  邓和  范正修 《中国激光》1989,16(7):413-416
本文报道了1.06μm 激光对TiO_2、ZrO_2和Ti_3O_5的单层膜和多层膜的损伤阈值和损伤形貌.研究了损伤阈值与膜厚、缺陷和保护膜之间的关系.  相似文献   

7.
光学薄膜激光损伤的波长效应   总被引:3,自引:0,他引:3  
本文报道了采用三种波长的单横模脉冲激光对ZrO_2、TiO_2和Ti_3O_5的单层膜和多层膜的激光损伤阈值和损伤形貌。研究了损伤阈值与波长的关系。  相似文献   

8.
通过对大功率激光器腔面光学灾变损伤的研究,分析了激光器腔面镀膜的损伤机理。为了提高激光器的输出功率,采用TiO_2替换Si作为高折射率材料,建立非标准膜系降低电场强度,同时优化膜层材料的粗糙度,并采用离子源进行清洗和助镀,有效提高了激光器的腔面光学灾变损伤阈值。结果表明,所制作的808nm激光器,最大连续输出功率达到13.6 W。  相似文献   

9.
用特征矩阵法计算了多层膜中电场的分布。提出了采用光学非均匀膜来减小各高折射率和低折射率层间界面处材料性质和吸收的不连续性,以提高激光损伤阈值。  相似文献   

10.
利用HJ - 4型连续CO2 激光对金刚石膜进行了激光损伤阈值的研究,损伤后的金刚石膜用SEM和Raman进行了表征。研究结果表明,高质量CVD自支撑金刚石膜具有较高的 激光损伤阈值,金刚石膜抗连续激光损伤阈值的范围是在1. 15 ×106 ~2. 26 ×106W / cm2。金刚石膜激光损伤主要是由于热震损伤,其机制属于热- 力耦合机制。  相似文献   

11.
激光清洗工艺的发展现状与展望   总被引:7,自引:0,他引:7  
综述了激光清洗技术的作用机理和发展现状,展望了该技术的应用前景。  相似文献   

12.
宋峰  陈铭军  陈晅  赵泽家  刘鑫  姚建铨 《红外与激光工程》2023,52(2):20220835-1-20220835-22
激光清洗是通过把高亮度和方向性好的激光照射到物体待清洗的部位,使激光器发射的光束被污染层和/或基底吸收,通过光剥离、汽化等过程,克服污染物和基底之间的粘附力,使污染物离开物体表面,达到清洗目的,且不损伤物体本身的物理清洗技术。20世纪80年代以后,激光清洗技术得到了越来越多的关注。40年来,激光清洗作为一种新型高效的环保清洗技术,得到了飞速发展,在电子元器件清洗、文物保护和脱漆除锈等领域得到研究并获得了应用。2010年以后,对激光清洗研究进一步深入,在激光清洗的检测和智能控制方面取得较大成果,并且在激光清洗机理方面也取得了进展。中国科学家在这个过程中也做出了贡献。介绍了激光清洗原理、特点、源起,对40余年的激光清洗发展做了综述,并介绍了国内近年来激光清洗的研究动态。  相似文献   

13.
何英  岳军 《电子工艺技术》2012,33(2):96-98,117
离心清洗是针对印制电路板焊接后的一种有效清洗方法,离心作用不仅能对印制电路板表面污染物产生很好的渗透、溶解和去污效果,而且不损伤元器件。重点介绍了离心清洗设备的主要结构、关键技术、创新点以及实际应用情况。通过试验和测试证明,离心清洗设备可以很好地满足高精度和高可靠性PCBA的清洗要求。  相似文献   

14.
祁建华 《半导体技术》2012,37(4):316-320
集成电路"轻、薄、小"的趋势使新封装技术在产业中不断得以应用。晶圆凸点工艺作为新封装技术的关键工序尤为重要,相应的凸点晶圆测试方案是产业面临的现实问题。针对凸点晶圆测试中出现的新问题和技术难点,结合在多个凸点晶圆测试开发和量产过程中积累的成功经验,按照晶圆测试控制流程,依次阐述在凸点晶圆测试中碰到的共性问题,如针对凸点晶圆测试的新型探针卡及测试过程中针压控制、凸点损伤与量产测试中关键操作控制、在线清针与检查、工艺数据测试衔接等。并提供预防凸点损伤的过冲控制参数自动获取解决方案和凸点晶圆并行测试解决方案,实现凸点晶圆可靠的量产测试,有效提高了凸点晶圆的测试能力。  相似文献   

15.
近年来,激光清洗技术的应用范围不断扩大,取得了微粒清洗、模具清洗、交通工具清洗等全新的研究成果,但也存在着设备价格昂贵、测试时间冗长等缺点。为了了解激光清洗的研究现状,总结了激光清洗技术的清洗机理、应用领域、发展现状以及存在的问题,介绍了新型激光复合清洗技术在绿色制造中的优势及其未来发展的潜力。  相似文献   

16.
吴莎 《信息技术》2009,(7):82-84
评述了一种用特效清洗液清洗铁路油罐车的新工艺.通过试验筛选出一种对油污及蜡油的溶解吸收有特效的清洗液.并对清洗工艺进行了摸拟试验.结果表明:使用该清洗液对油罐清洗作业不仅可行,而且具有费用低,省时、省力和良好的清洗效果,不失为一种有效、经济、实用的清洗工艺.  相似文献   

17.
由于器件尺寸由90nm技术节点向65nm节点的缩进,在前道工艺的湿法清洗中去除0.1μm及更小尺寸的污染粒子正在成为一种新的技术挑战。评价了在向65nm技术节点的迈进中,器件的新结构、新材料对于清洗设备提出的各种技术挑战及应对无损伤和抑制腐蚀损伤的清洗技术。指出了单片式清洗技术的应用前景及干法清洗与湿法清洗技术共存的可能性。  相似文献   

18.
硅片CMP工艺会引入表面缺陷和沾污,通常采用NaOH和KOH作为腐蚀溶液,利用微腐蚀法将硅片表面的损伤污染层剥离,以免导致IC制备过程中产生二次缺陷,但会不可避免地引入金属离子。制备了一种用螯合剂和表面活性剂复配的新型清洗液,利用螯合剂对硅片表面损伤层进行微腐蚀,同时采用表面活性剂去除硅片表面吸附的微粒。经台阶仪和原子力显微镜检测,该清洗液能有效去除硅片表面损伤层和颗粒,同时螯合剂本身不含金属离子,并且对金属离子有螯合作用,可有效避免传统腐蚀液中金属离子带来的二次污染。  相似文献   

19.
介绍消除室内气态污染物的净化技术的研究进展,探讨了利用紫外线照射相关技术综合治理室内气态污染物的可行性,设计了紫外线照射净化装置并进行了实验研究。实验结果表明,多种技术综合运用可以有效提高甲醛的去除效率。  相似文献   

20.
化学清洗对玻璃表面层光学特性的影响   总被引:1,自引:1,他引:0  
顾铮 《中国激光》2004,31(3):67-370
利用p-偏振双面反射法、原子力显微术及激光损伤实验,对经不同化学清洗的K9平板玻璃基片表面的光学特性进行了综合表征。实验结果表明,经酸洗的玻璃表面,其消光系数明显减小,而光洁度和激光损伤阈值明显提高;通过进一步的碱洗,玻璃表面的光学性能仍可得到一定的改善。另外,随玻璃基片清洗程序的不断深入,p-偏振双面反射法测得的玻璃表面层光学参量的变化趋势,与观测的表面粗糙度及激光损伤阈值的变化趋势一致。  相似文献   

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