陕西蒲城330MW机组1#炉过热器的化学清洗

过热器管如有奥氏体钢材,垢量大且坚硬致密,采用常规的柠檬酸洗清洗时间长且不易洗净。经八种配方小型试验优选出复合高效有机清洗剂的除垢配方,实际清洗中采用了半开放式循环清洗工艺配方,除垢干净彻底,配方中不含Cl-、F-和SO42-等,有效防止了奥氏体钢产生晶间腐蚀。本工程清洗质量为优,为我国过热器(有奥氏体不锈钢材)的清洗探索出一种新的方法。     

陕西蒲城330MW机组1#炉过热器的化学清洗

过热器管如有奥氏在体钢材，垢量大且坚硬致密，采用常规的柠檬酸洗清洗时间长且不易洗净，经八种配方小型试验优选出复合高效有机清洗剂的除垢配方，实际清洗中采用了半开放式循环清洗工艺配方，除垢干部彻底，配方中不含Cl^-,F-和So4^2-等。有效防止了奥氏体钢产生晶间腐蚀，本工程清洗质量为优，为我国过热器（有奥氏体不锈钢材）的清洗探索出一种新的方法。     

AMS5536及类似型号高温合金的酸洗

通过对ＡＭＳ５５３６高温材料经热处理后产生的氧化皮进行了酸洗，寻找出一种切实可行的除氧化皮的工艺方法。即碱腐蚀如ＨＦ－Ｆｅ２（ＳＯ４）３酸洗两步法。该方法不仅能有效地除去该材料经热处理后产生的氧化皮，而且满足了美国普惠公司对晶间腐蚀深度的要求，并可用于正常生产。减轻了劳动强度，提高了劳动生产率。     

全自动单晶圆铝腐蚀清洗机工艺原理与工作过程介绍

介绍了几种常用的晶圆金属铝膜腐蚀工艺,并详细讲解了全自动单晶圆铝腐蚀清洗机采用第四种工艺配方进行金属铝膜腐蚀清洗的工艺过程。同时,简单介绍了为提高腐蚀清洗效果而设计的两套子系统的工作原理。     

锅炉化学清洗技术的发展(一)--综述及相关问题分析

本文扼要阐述了作者48年来从事锅炉化学清洗研究与实践的业绩与心得。文章首先介绍了煮炉与酸洗的工艺和发展延伸,之后分析了锅炉失效的原因及化学清洗对防止腐蚀所起的重要作用,最后探讨了化学清洗的工艺、介质和时机等要素。     

锅炉化学清洗技术的发展(三)--综述及相关问题分析

本文扼要阐述了作者48年来从事锅炉化学清洗研究与实践的业绩与心得。文章首先介绍了煮炉与酸洗的工艺和发展延伸,之后分析了锅炉失效的原因及化学清洗对防止腐蚀所起的重要作用,最后探讨了化学清洗的工艺、介质和时机等要素。     

MMST硅片清洗

德克萨斯仪器公司（ＴＩ）、预研规划局（ＡＲＰＡ）和空军三家联合的微电子制造科学与技术（ＭＭＳＴ）工程中，片子清洗工艺的目标是开发平片的全干法或气相清洗工艺，旨在全部地取代湿法清洗工艺。ＨＦ气相清洗和等离子工艺已成功地用于氧化物、氮化物和金属化后腐蚀的残余物的去除。但是还未找到用于替代炉前清洗的工业标准（ＲＣＡ）清洗和水冲洗的有效干法工艺。全干法清洗很可能要再花五到十年才能走向成熟。在未来的几年内，     

单晶圆湿法清洗工艺中铝金属腐蚀问题研究

在集成电路制造中,湿法清洗工艺中铝金属腐蚀是一种致命缺陷,它的出现将引发产品的可靠性问题。通过控制清洗过程中的工艺参数,增加起侧壁保护作用的铝金属氧化层的厚度,从而抑制铝金属腐蚀缺陷的产生。随着清洗溶液温度的降低,晶圆清洗后6 h铝金属腐蚀缺陷数量明显减少;随着H₂SO₄标称质量分数由80%增加到105%,铝金属腐蚀缺陷数量减少;而H₂SO₄标称质量分数继续增加到115%时,铝金属腐蚀缺陷数量却增加。清洗溶液温度和H₂SO₄质量分数实验结果表明,更低的温度以及一定范围内的高H₂SO₄质量分数有利于促进铝金属氧化层的生成,强化侧壁保护,从而达到抑制铝金属腐蚀缺陷发生的目的。     

太阳能电池单晶制绒与酸洗连体设备研究

太阳能电池单晶制绒与酸洗连体设备主要为了单晶制绒后再进行酸洗而设计的关键设备,可提供多种清洗工艺的选择。通过对单晶制绒后再进行酸洗的关键部件的设计,解决了由于制绒后再酸洗溶液挥发性对设备的腐蚀问题,在太阳能光伏领域中得到了广泛的应用,取得了极大的社会经济效益。     

变电站二次设备带电清洗关键点及溶剂性能分析

变电站二次设备带电溶剂清洗是近几年发展起来的清洁维护技术,比传统的清洁方法存在的优点是:设备不停电、高效,解决了停电维护造成供电紧张的问题。带电工作的关键点是冲洗溶剂的性能及冲洗方法,笔者根据多年二次设备冲洗的经验,总结出二次设备清洗的注意事项及影响溶剂性能的成分配比。