全自动划片机的关键技术研究

根据微电子工业的发展现状,论述发展全自动划片机的必要性;从全自动划片机的工作机理出发,分析空气静压电主轴、晶圆传输定位、自动对准、自动清洗等全自动划片机的关键技术;依据分析结果提出相应的解决措施。     

全自动划片机物料传输系统浅析

介绍并分析了全自动划片机物料传输系统的精度控制及工艺流程,通过分析研究可以进一步提高整个全自动设备的能效和设计性,进而更好的对生产进行优化。     

划片机视觉识别系统设计原理分析

自动对准技术是集成电路后封装设备中的一项重要单元技术,是全自动划片机与普通划片机的最大区别之一。国际上主要划片机制造商的全自动设备都配有实时高效的图像识别对准单元。作为提高其设备性能的一种有力手段,长期以来在划片机的研制过程中我们已逐渐形成了适合划片机应用的视觉识别技术,取得了显著的阶段性成果。     

全自动晶圆划片机S运动曲线规划与分析

针对全自动划片机运动控制系统的特点,对S运动曲线加减速算法进行了深入分析,推导出S曲线加减速的计算公式,并通过试验仿真进行验证,根据分析结果得出S曲线是一种适合全自动划片机高速高精度运动的加减速算法。     

面向IC封装的视觉定位系统设计

以集成电路后道封装工序中的关键设备全自动砂轮划片机为例,详细阐述了面向IC封装的视觉识别定位系统的硬件结构和软件设计,在全自动砂轮划片机上开发了一套基于OpenCV视觉函数库的图像处理算法,控制划切工作台运动实现对IC工件划切街区的精确定位.在模板匹配方式上,该算法采用比较流行的边缘几何特征匹配方式,并在砂轮划片机的现...     

先进封装测试设备介绍

<正>A-WD-300T全自动划片机A-WD-300T是东京精密开发的新型全自动划片机,最大可用于φ300mm硅片的划切作业,也可以兼容φ200mm硅片。它采用对头安装的双主轴系统,可以进行分步切削及斜角切削,提高加工质量。A-WD- 300T的主轴采用前端固定,增加了主轴的刚性,同时X轴部分采用陶瓷气浮导轨及平面电机控制,提高了运行精度及速度。A-WD-300T的控制软件在Windows NT系统下开发,采用触摸屏控制,操作简单方便。同时它也是目前世界上占地面积最小的300mm划片机。     

圆片等离子划片工艺及其优势

等离子划片是近年来兴起的一项新型圆片划片工艺。与传统的刀片划片、激光划片等工艺不同,该工艺技术可以同步完成一张圆片上所有芯片的划片,生产效率明显提升,是对现有划片工艺的一个颠覆。介绍了圆片划片工艺的工作原理、技术特点及其优势,并对其在解决圆片划片应用中的典型问题和不足之处进行了讨论。     

薄片划片微损伤与芯片断裂强度探讨

超薄圆片的减薄、划片技术是集成电路封装小型化的关键基础工艺技术,随着减薄后化学机械抛光（CMP）、旋转腐蚀、干法刻蚀或干法抛光等释放应力技术被广泛采用,减薄造成的圆片背面损伤几乎为零,所以划片造成的微损伤对芯片断裂强度的影响变得越来越突出。本文分析了影响芯片断裂强度的主要原因,对薄片划片微损伤的来源、危害及解决方法进行了探讨。同时,着重介绍了一种新的激光划片方式,即喷水波导激光（LMJ）划片法。     

全自动划片机自动识别对准技术的研究

主要阐述了数字图像处理技术在全自动划片机中的应用,简单的分析了自动识别对准技术的原理及实现手段,为其他电子专用设备中自动识别对准的应用提供一些思路与技巧。     

射频等离子清洗系统设计

等离子清洗具有优越的环境特性和去污能力,但缓慢的清洗速度限制了等离子清洗技术的应用,近期等离子领域的研究及实践表明通过控制等离子体的生成条件和工艺气体可以显著提高等离子清洗的去污速度,从而为扩展等离子技术在工业中的应用提供可能。介绍了等离子清洗的原理和方法,分析了影响等离子清洗效果的因素,并完成了射频等离子清洗系统的设计。     

浅谈引风机高压变频器与液力耦合器调速的比较

高压变频调速技术是近年来发展起来的集电力电子、自动控制、微电子、电机学等的一项高新技术,是目前为止性能最好、效率最高、最为理想的交流电机调速技术。近年来高压变频调速技术日趋成熟,北京国电四维高压变频器已在许多工业部门得到了广泛应用,特别是在火电厂、冶金、有色、矿山、自来水、石油化工等行业的风机泵类设备的应用。取得了很好的经济效益和社会效益。它为风机、水泵等设备的大量节约电能提供了重要的新手段。     

大功率交流电机变频调速技术的研究

大功率交流电机变频调速是大型机械传动的关键设备,也是当前节能减排的重点推广技术。本文介绍了我国在大功率交交变频调速技术的研究和国产化装备的研制工程中,丰富并完善了大功率交流调速理论,形成了自主创新的核心技术,解决了大功率交流调速装备的多项关键技术,推动国产交流调速装备步入国际先进行列,立足工程,取得显著的经济效益和社会效益。文章还介绍了我国第一套7.5MW三电平IGCT交直交变频调速系统的研制,该变频器结构紧凑、性能良好、运行可靠,达到国际先进水平。     

变频技术在风电设备中的应用

主要围绕变频技术在风电设备中的应用展开研究,以变速恒频双馈风力发电机为研究对象。对发电系统中交流励磁控制方式常见的变频装置进行了比较分析,对选择的双PWM变换器交流励磁变速恒频风力发电系统的两个控制单元——网侧PWM变换器和转子侧PWM变换器进行了控制策略分析及仿真。     

新型转子变频调速装置分析与设计

随着社会发展和节能意识的增强,变频器的市场需求逐渐增大,对变频调速技术的发展要求也越来越高。本文主要介绍了转子变频调速的优点,同时针对传统转子变频调速系统出现的逆变颠覆问题,提出了新型超大功率转子变频装置,即主要在传统串调加斩波的基础上,将逆变部分的晶闸管换成IGBT器件,整个调速装置就成了一个带斩波的IGBT电压型变频器。结果表明,设备可靠性大幅提升,调速精度高,调速范围宽。     

九工位智能超声波清洗机的实际应用

九工位智能超声波清洗机的开发和应用是北京真空电子器件研究所对清洗工艺技术改造的一种尝试。本文介绍了该清洗机的策划、设备性能、结构特点、控制能力以及实际应用效果。     

干冰微粒喷射清洗技术

简要介绍了随着工艺节点的缩小,传统RCA清洗方法在硅片清洗工艺中的局限性和弊端,进而提出了以CO2为介质的新型干冰微粒喷射清洗方法。从CO2的物理特性出发,论述了CO2流经喷枪后形成干冰微粒的机理,并简要分析了干冰微粒喷射技术对颗粒污染物和有机污染物的清洗机理。在此基础上,介绍了自主研发的一台基于干冰微粒喷射技术的半导体清洗设备,对该设备的结构和各部分的作用作了简要介绍,论述了使用该设备对硅片进行清洗的工艺流程。通过对比实验发现,采用压强为8 MPa、纯度为5N的CO2作为气源,喷嘴前压强设置为11 MPa,使用该设备可以达到很好的清洗效果。     

变频协调控制技术在一次风系统中的应用研究

通过对变频协调控制技术在电厂锅炉一次风高压变频系统改造中的应用研究，着重说明：变频协调控制技术的设计思想和系统结构，以及在一次风系统中主要解决的问题和办法，为高压变频调速技术在一次风系统中的成功应用提供了一种新的思和方法。     

施工升降机变频调速控制系统的实现

城市建设中施工升降机是必不可少的施工设备,本文介绍的施工升降机变频调速控制系统全面引进与吸收了国外先进的技术及设备,采用通用性强、可靠性高的智能控制器及电流、速度双闭环的变频技术,配以数字化、功能丰富的控制软件,使得施工升降机控制系统成为生产厂家与用户首选配套产品。     

变频技术在变速恒频异步风力发电系统中的应用

变速恒频异步风力发电技术,特别是双馈异步发电技术在风力发电中得到了广泛的应用。本文在阐述变频技术在风力发电系统应用的基础上,对变速恒频异步风力发电系统的不同的拓扑结构和控制策略进行了分析,并介绍了变速恒频双馈异步风力发电技术的研究热点以及北京清能华福风电技术有限公司的产品OHVERT-DFIG-1500B型变流器。     

变频器在起重机中的应用

本论文以20／5t×19．5m通用桥式起重机为研究对象,研究了变频调速技术在起重机中的应用,并且根据原有的控制结构,结合PLC技术,提出了一个改进的系统控制结构,并且采用此体系结构实现了桥式起重机变频调速系统。