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相似文献
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1.
MEMS-IDT声表面波陀螺   总被引:4,自引:0,他引:4  
声表面波陀螺的概念出现在70年代初期,发展为MEMS-IDT声表面波陀螺仅是最近几年的事情。MEMS-IDT声表面波陀螺仪是一种MEMS微机械振动陀螺,这种陀螺为单层平面结构,采用标准IC工艺就可完成加工,勿需悬浮的振动元件,有很强的抗冲击振动能力,可靠性高,可不用真空封装而保持较高的灵敏度。  相似文献   

2.
微纳加工技术与振动惯性技术的结合使惯性仪表技术发生了重大的变革,拓展了惯性技术在军用和民用领域的应用。高性能微惯性器件对军事装备和国民经济的发展起着越来越大的作用。该文基于美国国防高级研究计划局(DARPA)近年来在微惯性传感器技术领域的资助项目,综合研究了微机电系统(MEMS)谐振陀螺、微光学陀螺(MOG)、声表面波(SAW)陀螺等微惯性传感器技术及微惯性测量单元的最新发展现状,并对其发展面临的技术挑战进行了详细地分析与评述。  相似文献   

3.
许昕  何杰  王文  卜继军 《压电与声光》2014,36(4):588-595
微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同,微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺等。该文介绍了微机械陀螺仪的主要参数指标和应用,对硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺的最新研究进展作了综合性报道,讨论了微机械陀螺未来的发展趋势。  相似文献   

4.
简述了射频声表面波滤波器(RF—SAWF)的研究进展,讨论了谐波法中的阶梯型又指换能器(IDT)结构的等效电路模型。并根据该模型计算并模拟了RF—SAWF的幅频响应,模拟结果证明阶梯型IDT可有效地激发高次谐波,抑制基波和其他无用谐波。  相似文献   

5.
刻度因子是陀螺的重要指标,而压电晶体切向对声表面波(SAW)陀螺刻度因子有重要影响。首先以铌酸锂作为分析声波波传特性的基板材料,建立不同的波传角度和不同的切面与各种模态SAW波速的物理数学模型,接着探讨旋转扰动时二次旋转欧拉角与X切、Y切及Z切等铌酸锂晶体中的陀螺效应,分析不同切向刻度因子的变化规律。根据计算结果,铌酸锂晶体中X切Y传(XY)、128°Y切X传(128°YX)、30°ZX、ZX和150°ZX对应的声表面波陀螺刻度因子最大,同时也得出了适合应用于声表面波陀螺的相对敏感切向为声表面波波速接近于慢横波时对应的切向。  相似文献   

6.
提出了一种直接序列多路正交码扩频调制解调器的声表面波(SAW)实现方案,并给出了相应的实验结果。  相似文献   

7.
在传统常规冷板的理论研究基础上,为解决微小元器件散热,设计了以声表面波为辅助的微米级微通道,并利用微机电系统(MEMS)技术制作了微通道与声表面波叉指换能器集成的微型结构,对声表面波破坏液体层流结构、加速液体混合的功能进行了验证.  相似文献   

8.
介绍了声表面波(SAW)器件的基本构造及工作原理,分析了声表面波进入微流体后所产生的复杂的流-固耦合效应。根据液滴随着声表面波功率的增大所出现的不同响应,将声表面波技术在微流控研究领域中的应用具体分为液滴振动及粒子聚集、液滴平移及粒子收集、微流体喷射、微流体雾化四大类。分别讨论了各类应用的工作原理及其在相关研究领域中典型的应用实例,指出了声表面波相比其他驱动方式在微流控研究领域中的优势。综合国内外研发现状,分析了目前研究过程中存在的问题,提出了声表面波驱动微流体今后的研究方向。  相似文献   

9.
用于声光频谱分析的硫化抡砷 声表面波技术 期 页(TIsA石O布喇格盒 182宽带SAW压控振荡器的研制 11 声光分色器及单板机控制声光分SAW MSK匹配滤波器及其应用 168 色实验装置 2 20声表面波技术的新应用领域及国 光纤陀螺与环形激光陀螺的技术 际市场预测 21 评论 2 62彩色电视中用的声表面波滤波器2 5 声表面波声-电-光效应 3 42声表面波滤波器失效分析及叉指 具有均匀强度响应的扫描声-电- 换能器的表面保护 2 16 光偏转器 3 45由具有正、负反射系数的反射元 使用同一晶体的压力、、电…  相似文献   

10.
该文在理论上分析了声表面波(SAW)陀螺中两列相向传播SAW形成的驻波在哥氏力作用下的相位分布及传播规律,设计出一种新型的接收电极.此电极能将陀螺效应激发的表面波同种电荷积累到一起,改进了原有电极中同根电极上正负相互抵消的缺点,增强了由陀螺效应激发出SAW的接收效率,本结果可对SAW陀螺的设计提供相关参考.  相似文献   

11.
Yu  A. Siddiqui  A.S. 《Electronics letters》1992,28(19):1778-1780
A novel fibre optic gyroscope, with a structure making use of the combination of a Sagnac interferometer with an active fibre ring-resonator, is proposed and analysed. The proposed gyroscope can be viewed as a generalised structure of the conventional Sagnac interferometric type fibre optical gyroscope. It has the advantages of both long fibre loop length and multipath interferences. By inserting a fibre amplifier in the loop to provide an optical gain of several dB, the relative maximum sensitivity is enhanced to approximately 30 times more than that of conventional Sagnac interferometric fibre optic gyroscopes.<>  相似文献   

12.
Proposes application of a parallel-beam structure to the gyroscope. The parallel-beam structure has the following significant features: 1) the tip moves in parallel at the end; 2) this structure converts the small displacement into a large concentrated strain; 3) even though some units are piled up, each unit does not interfere with another; and 4) the lateral rigidity is high. We analyzed these basic features by finite-element method analysis. We have proposed the parallel-beam sensor/actuator unit using this structure, and a new gyroscope. We show two methods to improve its performance; these are resonant frequency control and mechanical coupling suppression. It is concluded that the proposed structure is suited to the gyroscope  相似文献   

13.
液悬浮转子式微机械陀螺的高精度、双轴角速度和二轴加速度测量特性,相比传统陀螺有着独特的优势,在军事和民用领域均有一定应用,本文基于实现对液悬浮转子式微机械陀螺结构优化的目的,探求其磁场力随着结构的变化的规律,对该类机械陀螺结构进行建模,并对其磁场力进行数值仿真处理。结果表明,随着半径从7 mm增加至11 mm,陀螺受力及对应力矩呈指数增长。  相似文献   

14.
微谐振陀螺仪是一种固体波动陀螺,常采用微纳制造工艺进行加工,具有小体积、高性能、低功耗、批量化等特点。自1975年世界上第一个半球谐振陀螺诞生以来,微谐振陀螺的谐振子拓扑结构经历了三维结构到二维结构的演变。文章以拓扑结构的发展脉络为主线,对微谐振陀螺的发展过程进行了梳理和总结,最后对目前存在的问题进行了分析,对未来的发展进行了展望。  相似文献   

15.
一种新型的角速率传感器--声表面波陀螺   总被引:2,自引:1,他引:1  
声表面波(SAW)器件具有无源、无线、微型、抗冲击力强,灵敏度高等优点。用它制作角速率传感器——SAW陀螺已成为研究热点。概述了SAW陀螺的应用及发展;着重分析了SAW陀螺两种结构模式的工作原理;指出SAW陀螺设计的关键是如何得到合适的参考振动速度,而使其省掉悬浮振动机构成为简单的单平面结构;提出了亟待研究解决的几个问题。  相似文献   

16.
为了解决基于微机械陀螺的导航系统精度不高的问题,该文研究了基于机载主惯导的小型陀螺组合仪,其体积较小,成本较低。通过机载主惯导传递的导航信息进行传递对准。使用欧拉角法,利用主惯导传递的信息来估计陀螺的误差,提高了陀螺的精度。用于某型无人机雷达系统上,实现了雷达天线的稳定控制。  相似文献   

17.
石英微机械陀螺是振动惯性器件,而陀螺敏感芯片结构的抗振动能力会直接影响陀螺的性能。由于工作环境的振动会对陀螺的性能产生一定的影响,因此需提高陀螺敏感芯片结构的抗振动能力。该文利用有限元仿真软件对敏感芯片结构进行随机振动仿真分析,通过对敏感芯片结构的优化,提高了陀螺的抗振动能力。  相似文献   

18.
提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计及其制作方法.该种陀螺采用MEMS工艺制作而成,基底材料为肖特BF33玻璃,电极和谐振器均由单晶硅片加工而成,肖特BF33玻璃与单晶硅片通过阳极键合工艺键合在一起.介绍了该种陀螺的基本结构、工作原理,并进行了仿真分析,得出该种陀螺具有较小的频率分裂,表现出陀螺效应.最后,通过MEMS工艺进行了实际加工,得到了该种陀螺的实验样品.  相似文献   

19.
基于DSP和CPLD的光纤陀螺信号采集系统设计   总被引:1,自引:1,他引:0  
随着光纤陀螺在空空导弹中的广泛应用,为了对其特性进行深入研究,设计了一种光纤陀螺信号采集系统,硬件结构采用了DSP+CPLD的方式,控制AD芯片完成多路光纤陀螺数据的采集。为了降低干扰对采集精度的影响,在硬件以及软件方面进行了抗干扰设计。通过对该系统的测试验证,性能指标满足使用要求。本系统设计新颖、实用,操作简单快捷。  相似文献   

20.
大型激光陀螺仪的标度因数对环形腔的几何形变有很强的依赖性。根据大型激光陀螺仪的结构和工作特性,对影响测量精度的关键技术进行了研究,并对影响标度因数的环形腔的几何形变进行了计算分析,得到了环形腔几何形变后的标度因数变化情况。此外,还提出了环形腔发生几何形变时标度因数的优化方法,并给出了温度和应力对标度因数影响的变化量。结论认为,在生产条件、工作环境和腔体结构相同的情况下,对标度因数进行补偿将有利于大型激光陀螺仪测量精度的提高。  相似文献   

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