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本文介绍一种采用外差频方案提高高频相位特性测量的分辨率和精度的测量系统。其测量频率范围达几十兆赫,相位的测量精度达0.1°以上。 相似文献
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采用S偏振光和大入射角激光束干涉测量技术,检测LSI圆片表面的芯片调平和调焦精度的方法已获得成功,在圆片上各层均能保持良好的调平调焦精度。这种检测方法的试验型,已实现了±1.0×10^-5的弧度调平精度和±0.1μm的调焦精度。 相似文献
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介绍了一种新的可用于绝对距离测量的波长扫描光纤干涉仪,建立了测量系统及波长扫描的模型,分析了波长扫描的随机漂移对测量的影响,提出了对光源扫描性能的要求.实验结果表明,测量系统的精度可达到0.05μm. 相似文献
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叙述运用CWCO2相干激光雷达测量运动目标速度的原理和实验装置,并给出了实验结果,测速精度为0.01m/s速度分辨率为0.05m/s,外场实验表明,对于漫射目标,作用距离200m。 相似文献
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激光镜镜面粗糙度的干涉测量 总被引:3,自引:1,他引:2
开发了一种激光镜镜面粗糙度的全场、非接触干涉测量方法。测量了两面不同粗糙度的铜镜,测出的数据和用6JA型显微干涉轮廓仪测量的结果相吻合。测量的范围为0.01~0.12μm,理论上测量的精度可达0.002μm。它对镜面抛光过程的控制有实际意义 相似文献
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报道了Nd:YAG倍频激光的光纤传输整形研究,实现了发散角为60°的均匀片光输出。研究表明,该系统可满足0.6m及1.1m风洞的测量要求。 相似文献