一种新型光刻系统的研究

介绍了一种新型的光刻系统－－全内反射全息光刻系统。着重讨论了设计该系统时的几个重要因素,给出了用该系统开展的实验研究结果。     

基于衍射光栅和空间光调制器的点阵全息光刻方法

讨论了现有各种点阵全息光刻系统的基本原理。提出了一种基于衍射光栅和空间光调制器数字微反射器(DMD)的点阵全息光刻系统和方法。实现了飞行曝光加工方式,相比现有的步进曝光方式,其加工效率和定位精度获得了大幅度的提升。基于频域分析理论讨论了影响所述光刻系统的分辨率、图形质量和焦深的主要因素。阐述了在该光刻系统中实现飞行曝光加工方式的基本原理。     

用于高分辨大视场激光刻的全息照相技术研究

介绍一种全息光刻技术的基本原理,全息掩模复位精度的影响,全息光刻技术的优点及其应用,并对全息光刻系统的设计考虑作了详细介绍,并给出部分实验结果。     

影响全息光刻图形质量的因素

使用矩阵转换方法,对全息光刻中全息掩模衍射效率进行了数值模拟计算,讨论了记录介质显影前后特性的改变和再现时全息掩模复位精度对光刻图形质量的影响,并找出了影响图形质量的主要因素.在此基础上设计了实验系统,最后得到了分辨率基本上只受初始光掩模分辨率限制的光刻图形.     

影响全息光刻图形质量的因素

使用矩阵转换方法,对全息光刻中全息掩模衍射效率进行了数值模拟计算,讨论了记录介质显影前后特性的改变和再现时全息掩模复位精度对光刻图形质量的影响,并找出了影响图形质量的主要因素.在此基础上设计了实验系统,最后得到了分辨率基本上只受初始光掩模分辨率限制的光刻图形.     

全内反射全息光刻技术

介绍了全内反射（ＴＩＲ）全息光刻技术的发展情况、基本原理以及其中的关键技术。     

点阵全息图中的光斑整形与加密

在点阵光刻系统中引入光斑整形技术,依据成像系统的成像原理,将制作在透明掩膜版的任意形状物体成像在光刻面,以实现点阵刻蚀光斑的整形。实验结果表明,通过光斑整形后的图像刻蚀光栅亮度明显优于普通点阵刻蚀系统,光斑的任意整形也可对刻蚀图像进行某些特定的加密。     

基于计算全息的斜面和曲面光刻

斜面和曲面微结构元件在微电子学、微光学、微流体学等领域有着重要的应用,为了实现快速、低成本的斜面和曲面光刻,提出了利用基于液晶空间光调制器的纯相位计算全息技术投影目标图案到斜面和曲面进行曝光的方法。生成了斜面和球面全息光场,对光场进行消散斑和杂散光去除的处理,完成了斜面和球面光刻实验验证。实验结果表明:该方法加工效率高、设计灵活多变,不受单一结构限制,是一种极具潜力的三维微纳加工方法。     

激光全息光刻技术及其应用

论述了激光全息光刻技术的基本原理、发展状况和在制备衍射光栅及场发射平板显示器等光电子器件方面的应用。     

一种制做点阵全息图的优化算法

本文提出用于制做点阵全息图的优化算法。该算法可以自动优化光刻图案的寻找范围,节省计算机在寻找光刻像素时的运算时间。根据该算法编制的点阵全息图制做系统控制软件能令系统在完成一个像素的光刻后迅速寻找出下一个光刻过程耗时最短像素,从而有效地提高了系统的工作效率。     

天线/RCS近场测量系统的研究

给出了由ＨＰ８５３０Ｂ组成的天线／ＲＣＳ近场测量系统的有关技术指标。利用该系统对典型天线进行了分析测量。结果表明,所研制的近场系统可提供各种天线的精确测量结果。     

基于MVC模式的教学质量评测系统的设计与实现

为了高效快捷地实现教学质量评测,采用J2EE中JSP,Servlet,Javabean等技术,基于MVC的设计模式,开发出基于MVC设计模式的教学质量评测系统。首先介绍MVC模式的结构,阐述MVC模式的工作原理,然后分析教学质量评测系统的功能模块和详细实现,最后着重阐述系统开发过程中采用的关键技术。高效的数据库设计是本系统的突出特点。立足于不同用户角色、准确分析其操作流程,并在此基础上进行系统的逻辑层设计。     

液芯光波导溶液浓度传感器

提出一种用大直径液芯光波导作为溶液浓度传感器的新方案，其优点是可获得较高的测量灵敏度．对系统的工作原理，灵敏度与系统结构参数的关系作了分析和讨论．实验结果与理论分析基本一致．     

分布式无线移动通信系统中远端天线单元动态选择方法研究

分布式无线移动通信系统是由多个远端天线单元（RAU）通过有线或无线传输方式连接到基站组成的系统，其远端天线单元的选择方案将影响移动通信系统的性能。该文在分析移动通信系统容量、信号传输可靠性和系统传输业务质量（QoS）保障的基础上，研究动态选择RAU的基本准则，探讨分布式无线移动通信系统中RAU的动态选择方法，并在蜂窝小区场景和曼哈顿场景中对一种面向系统容量优化的动态选择RAU方法的系统容量分布和RAU数量的选择结果进行仿真，仿真结果表明，采用此动态选择方法的系统具有较高的系统容量和平稳的小区容量分布。     

对雷达敌我识别系统中若干问题的研究

本文从系统角度出发，分析了雷达敌我识别系统的工作使命、约束条件和应用环境；并在此基础上，结合其体制特点以及与其它系统之间的相互关系，深入研究和分析了该系统中的若干核心概念和关键指标，对一些容易引起混淆的问题进行了探讨，以期澄清。     

基于激光成像雷达制导系统的仿真设计

介绍了激光成像雷达应用于制导系统中的优势，提出应用仿真技术辅助外差式激光成像雷达制导系统设计的方法。分析了激光成像雷达制导仿真系统的四个主要组成部分：光学部分、数据处理部分、通用库部分和稳定跟踪部分。结合不同环境、器件性能对系统的影响，具体分析各部分的模块并给出多种数学建模方案。最后指出该系统需要进一步完善的功能。     

无透镜Z—扫描测量系统及其在高阶非线性研究中的应用

本文在理论上计算了超短激光脉冲经过光不部件的展宽效应并实际给出了一种基于镀铝反射镜的小色散Z－扫描测量系统,同时也对实验中的其他重要参数进行了讨论。对该系统在材料高阶非线性光学特性测量中的应用进行了研究,实验显示测量曲线与理论拟合曲线吻合较好,所求得非线性参数值与报道值也较吻合。最后给出了对一种个有较大三阶非线性光学特性的新型发光材料的测试结果。     

网络音像传输系统的软件设计-发送端

首先介绍了系统的方案,该方案采用G．729A标准和H．263标准分别对音频和视频数据进行压缩,并通过UDP协议对数据包进行网络传输。其次对系统的组成和工作流程做了简单概述,最后对语音传输系统中常见的问题,提出了相应的解决办法。     

数字相控阵下多波束的ESM 系统信号处理方法

伴随着宽带雷达系统的发展,信号带宽越来越大,从而对于电子支援侦察ESM 系统的要求也越来越高。现代ESM系统需要瞬时带宽大且瞬时方位覆盖范围大。为满足ESM 系统新需求,天线阵面由原有模拟阵面逐渐转变为数字阵面。文中首先介绍了数字相控阵多波束体制下ESM 系统的特点;之后,提出了针对多波束ESM 系统的信号处理系统设计方法;分析了系统设计中的关键技术以及系统性能提高的方法;最后,介绍了工程实现和实测效果。     

A CONDITIONAL RANDOM FIELDS APPROACH TO BIOMEDICAL NAMED ENTITY RECOGNITION

Named entity recognition is a fundamental task in biomedical data mining. In this letter, a named entity recognition system based on CRFs (Conditional Random Fields) for biomedical texts is presented. The system makes extensive use of a diverse set of features, including local features, full text features and external resource features. All features incorporated in this system are described in detail, and the impacts of different feature sets on the performance of the system are evaluated. In order to improve the performance of system, post-processing modules are exploited to deal with the abbrevia- tion phenomena, cascaded named entity and boundary errors identification. Evaluation on this system proved that the feature selection has important impact on the system performance, and the post-processing explored has an important contribution on system performance to achieve better re- sults.