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V2O5气敏光学薄膜的制备及其光学性能研究 总被引:3,自引:1,他引:2
本文介绍了用溶胶凝胶法制备纯V2O5二维光学薄膜的方法,并研究了它在氨气氛中的气敏航向光谱,发现对低浓度非常敏感且敏感区可扩展开整个可见光波段。这是一种有实用价值的气敏光纤传感材料。 相似文献
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SnO_2-Sb薄膜材料的制备及气敏性能 总被引:3,自引:0,他引:3
利用等离子体化学气相沉积法制备了SnO2-Sb导电薄膜,测试了SnO2-Sb的气敏效应。结果表明,该薄膜对NO2气体有较好的气敏特性。当测试温度升高,其气敏响应时间相差无几,但恢复时间变短,同时气敏灵敏度相对提高,当温度达到200℃以上时,灵敏度基本恒定。同时还可看出,不同阻值的薄膜其气敏灵敏度相差不大。 相似文献
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对镀Pt的Fe2O3/SnO2双层气敏薄膜进行了SEM和XPS分析,表明贵金属表面修饰技术对敏感薄膜的改性作用。对制成的元件进行了测量,证实了表面技术对敏感薄膜的灵敏度,选择性及稳定系数等主要性能指标都有一定程度的改善。 相似文献
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Fe2O3:SnO2薄膜的气敏透射光学特性 总被引:1,自引:0,他引:1
用溶胶--凝胶法制备Fe2O3:SnO2薄膜,研究了它的气敏透射光学特性,分析了实验结果,并解析了气敏光学透射机理。 相似文献
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SnO2气敏电阻在含CO空气中的振荡机理,给出了气敏电阻在含CO空气中的热学方程式,获得了振荡周期τ的近似表达式,气敏电阻起振的必要条件及振荡周期τ与CO气体浓度N、工作电压V的关系。 相似文献
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田敬民 《固体电子学研究与进展》1996,16(3):284-288
采用静电喷雾高温分解工艺制备SnO2气敏膜,并与Si3N4-SiO2集成多层介质膜,用催化金属Pt作栅电极,制成新型的MSIS结构气敏电容。通过检测平带电压的变化,研究对H2和O2的气敏特性,分析其气敏机理并提出了检测的物理模型. 相似文献
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本文作者利用SnO2:TiO2气敏光学薄膜设计制成气敏光纤传感器,并用它测定氨蒸汽浓度,传感器的灵敏范围为150 ̄6000ppm,灵敏度为200ppm。 相似文献
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A strain sensing material based on carbon nanotubes-polymer hybrid film has been fabricated by the vacuum filtration and poly(dimethylsiloxane) (PDMS) molding transfer methods. The density and thickness of the film is tuned by simply controlling the volume of dilute suspension filtered through the membrane. These composites are resilient under large strain and there is a wide linear range of resistance-strain dependence. We demonstrate that the thin films with thicker CNTs networks exhibit more significant resistance-strain sensitivity under the same stain and the strain sensing material shows reproducible resistance-strain sensitivity depending only on the initial CNTs suspension volume. It may be possible to fabricate strain sensing material in large volume for future smart device applications. 相似文献
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激光武器的迅速发展使得激光防护技术研究成为必要,目前,破坏卫星上的遥感仪器是激光反卫星的一个主要可能途径。为了有效防护星载遥感仪器,利用光学薄膜方法,可以对氧碘激光进行防护的薄膜,在不影响遥感仪器正常工作的条件下,可将遥感仪器的激光损伤或致盲阈值提高80倍,大幅度提高了遥感仪器的生存能力。 相似文献
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提出了一种基于钯金(Pd/Au)复合膜的亚波长圆孔阵列结构的氢气传感模型,用于氢气泄漏及氢气浓度检测。利用时域有限差分法(finite-difference time-domain, FDTD)对该Pd/Au复合膜亚波长圆孔阵列结构进行模拟仿真,计算其复合膜的横纵截面电场能量分布及透射特性,并进一步分析在不同结构参数下该传感结构的异常光 透射(extraordinary optical transmission,EOT) 特性和传感特性。模拟结果表明:Pd/Au复合膜亚波长圆孔阵列结构可产生明显的EOT效应,形成两个突出的异常透射峰,记作峰Ⅰ、峰Ⅱ。当通入氢气时,钯(Pd)膜会吸收氢气引起Pd介电常数的变化,导致EOT特性发生改变,具体表现为波长和透射率的改变。氢气浓度由0%上升至4%时,峰Ⅰ和峰Ⅱ的透射率变化量分别可达到0.16和0.24。由于其透射率强度变化比较明显,因此可通过透射峰强度变化来实现对氢气浓度的监控和检测。本文所提出的基于Pd/Au复合膜的亚波长圆孔阵列结构的氢气传感器的圆孔结构加工简单,所镀的Pd膜很薄使传感器响应速度快,EOT效应使该结构信噪比(signal-to-noise ratio,SNR) 高,可利用光电集成技术进行批量生产,具有很强的实用价值。 相似文献
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纳米薄膜与光纤的结合为新型感测提供了各种潜在可能。为了分析温度敏感薄膜的膜系设计及其对光纤温度传感器传感特性的影响,根据光学薄膜理论和光纤传感器的温度感测原理,探讨了光纤温度传感器中敏感薄膜的膜系设计,并构建了薄膜型光纤传感器的温度传感特性模型。以测试系统的参数、性能以及其对干涉光谱的要求为基础,设计了对称性较好的法布里-珀罗薄膜腔。通过对比不同膜层厚度法布里-珀罗结构膜系的传感特性,筛选膜系,分析了高、低折射率薄膜材料的热光系数和热膨胀系数分别对温度传感特性的影响权重,为光纤温度传感器敏感薄膜的镀制及工艺制定提供理论依据。 相似文献
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Dipak L Gapale Pranav P.Bardapurkar Sandeep A.Arote Sanjaykumar Dalvi Prashant Baviskar Ratan Y Borse 《半导体学报》2021,42(12):69-78
In the present work,ferrite (Fe) doped TiO2 thin films with different volume percentage (vol%) were synthesized us-ing a spray pyrolysis technique.The effect of Fe doping on structural properties such as crystallite size,texture coefficient,mi-crostrain,dislocation densities etc.were evaluated from the X ray diffratometry (XRD) data.XRD data revealed a polycrystalline anatase TiO2 phase for sample synthesized up to 2 vol% and mixed anatase and rutile crystalline phase for sample synthesized at 4 vol% Fe doped TiO2.The crystalline size was observed to decrease with increase in Fe dopant vol% and also other structur-al parameters changes with Fe dopant percentage.In the present work,electrical resistance was observed to decrease with a rise in Fe dopant vol% and temperature of the sample.Thermal properties like temperature coefficient of resistance and activa-tion energy also showed strong correlation with Fe dopant vol%.Humidity sensing properties of the synthesized sample altered with a change in Fe dopant vol%.In the present paper,maximum sensitivity of about 88.7% for the sample synthes-ized with 2 vol% Fe doped TiO2 and also the lowest response and recovery time of about 52 and 3 s were reported for the same sample. 相似文献