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相似文献
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1.
文章对高温超导薄膜红外探测器进行了基本理论分析,给出了器件设计思想,并报导了用高TcGdBa2Cu3O7-x薄膜制备的单元红外探测器,2×2阵列红外探测器的实验结果。在液氮温度下得到的最好结果是噪声等效功率NEP(500,10,1)=3.8×10-12WHz-1/2,探测率D*=1.7×1010cmHz1/2W-1,响应度Rv=3312VW-1。器件经过十多次的冷热循环,并在室温下保存一年以上。所得测量结果基本不变。  相似文献   

2.
高温超导GdBa2Cu3O7—δ薄膜双晶晶界结及光探测器   总被引:1,自引:0,他引:1  
姚久胜  周燕 《激光与红外》1998,28(2):104-106
在晶界夹角为24°的Zr(Y)O2人工双晶基片上制备高温超导双晶Gd-Ba2Cu3O7-δ薄膜,用光刻技术在晶界上刻出10×10m2的双晶晶界结,它与外电路一起构成光探测器。在80K用He-Ne激光和500K黑体作为辐射源测量了光探测器的响应特性。探测结果:噪声等效功率NEP分别为6.7×10-14和3.8×1014WHz-1/2,归一化探测率分别为1.4×1010和2.6×1010cmHz1/2W-1;响应度分别为1.8×107和3.2×107VW-1。  相似文献   

3.
万云  张湘云 《激光与红外》1998,28(4):215-216,219
研制了具有约瑟夫逊效应的高TcGdBa2Cu3O7-δ薄膜双晶晶界结,按照光助隧道效应的原理我们用双晶结进行光探测,光源是波长为0.6328μm的He-Ne激光器,系统观测了高Tc GdBa2Cu3O7-δ双晶结的光响应特性,最好的结果为:噪声等效功率NEP=4.3×10^-14WHz^-1/2,归一化探测率D^8=1.2×10^10cmHz^1/2W^-1,响应率Rv=3.5×10^7V/W,  相似文献   

4.
采用准分子激光扫描消融法淀积性能均匀的YBa_2Cu_3O_(7-δ)高温超导薄膜,用离子束刻蚀进行器件的图形制备,获得了非均匀性小于10%的YBa_2Cu_3O_(7-δ)高温超导薄膜8元线列探测器.测试了器件在8~14μm波段的性能及光响应特性,单元探测器为40×100μm2的微桥结构.器件的平均归一化探测率为1.44×109cmHz1/2w-1,平均噪声等效功率为4.4×10-12WHz-1/2,D的非均匀性小于10%.研究结果表明:该线列探测器具有良好的均匀性,证实了该工艺适用于制备均匀性良好的高温超导薄膜红外探测器阵列.  相似文献   

5.
文中报导了用分子束外廷工艺在GaAs(211)B衬底上生长了较高质量的中、长波HgCdTe薄膜材料。生长后的材料通过退火进行转型和调节电性参数。选择的组分分别为x=0.330和0.226的两种材料,77K时载流子浓度和迁移率分别为p=6.7×1015cm-3、up=260cm2V-1s-1和4.45×1015cm-3、410cm2V-1s-1。研制了平面型中、长波线列光伏探测器,其典型的探测器D分别为5.0×1010cmHz1/2W-1和2.68×1010cmHz1/2W-1(180°视场下),其中64元线列中波探测器与CMOS电路芯片在杜瓦瓶中耦含后读出并实现了红外成像演示。  相似文献   

6.
本文通过对光导红外探测器的基本理论进行分析,给出了获得高性能红外探测器应具备的晶片参数和工艺设计的理论依据。实践证明,在此理论指导下开展长波线列光导器件研制,能重复制备出昏性能、高均命性的32元、48元和60元红外探测器,其D ̄*_b>1×10 ̄(10)cmHz ̄(1/2)W ̄(-1)、R_V>1×10 ̄4VW ̄(-1)、λ_p>11μm和λ_c>12μm。  相似文献   

7.
制作光伏型碲镉汞(MCT)探测器PN结常用的方法是离子注入法。近几年的研究发现,低能离子束成结更适合制作长波光伏型MCT探测器。本文报导了低能离子束成结的10.6μm光伏型碲镉汞探测器的性能,衬底为载流子浓度在0.8~6×10 ̄(16)cm ̄(-3)范围的P型MCT材料,离子束能量范围为100~600eV,通过离子束处理,可在P型MCT表面形成一薄层较低载流子浓度的N型区,而制成NP结,利用该技术成结制作的大面积、四象限10.6μmMCT探测器,在-20mV的偏压,80K的温度下,器件的峰值响应率和峰值分别为324.5V/W和1.13×10 ̄(10)cmHz ̄(1/2)/W,每元光敏面积为6.88×10 ̄(-3)cm ̄2。  相似文献   

8.
选用高Tc超导薄膜YBa2Cu3O7-8,引用半导体集成工艺,制出2×8元列阵红外探测器,其探测率D均达到10^8 ̄10^9cm·Hz^1/2·W^-1,工作温度为89K。  相似文献   

9.
用高TcGdBa2Cu3O7-δ薄膜设计并研制了单元及2×2阵列型红外探测器。其中2×2阵列型器件的四个单元探测器的Tc值及R-T特性相差≤3%。使用500K黑体及He-Ne激光作为辐照源。单元及阵列器件最好的结果为噪声等效功率NEP(500,10,1)分别为3.6×10-12和4.1×10-12W/Hz1/2,归一化探测率分别为1.6×1010和1.2×1010cmHz1/2/W;响应率分别为8.2×104和7.2×104V/W。  相似文献   

10.
高性能高温超导红外探测器   总被引:1,自引:0,他引:1  
选用高温超导体YBCO薄膜,利用集成微加工工艺,制成高温超导红外探测器。测得器件的等效噪声功率NEP达到10-12W/Hz1/2,探测率D为109cmHz1/2/W,其中最好的器件性能为D=1.8×1010cmHz1/2/W,表明这类探测器已进入实用阶段,成为红外探测技术发展的新方向之一。  相似文献   

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