首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
相似文献
 共查询到19条相似文献,搜索用时 296 毫秒
1.
镶嵌硅纳米晶的SiO2薄膜(Si-nc∶SiO2)是目前主要的硅发光材料.Si-nc发光强度低的缺点阻碍了它的应用,因此寻求一种制备高亮度Si-nc∶SiO2的方法尤为重要.使用氢硅倍半环氧乙烷(HSQ)热退火方法制备高亮度的Si-nc∶SiO2,通过控制腐蚀时间改变Si-nc的粒径和发光峰位.采用透射电子显微镜、X射线衍射、光致发光和拉曼光谱等表征Si-nc∶SiO2的结构和性能.将HSQ热退火方法制备的Si-nc∶SiO2样品与蒸镀方法制备的Si-nc∶SiO2进行比较,得出采用HSQ热退火方法制备的Si-nc∶SiO2样品的性能远高于采用蒸镀方法制备的样品的性能,最终获得了发光波长为570 nm(黄光)、610 nm(橙光)和730 nm(红光)的Si-nc∶SiO2.  相似文献   

2.
冷健  季一勤  刘华松  庄克文  刘丹丹 《红外与激光工程》2018,47(6):621002-0621002(6)
光学薄膜的力学及热力学特性决定了光学系统性能的优劣。采用双离子束溅射的方法在硅110和肖特石英Q1基底上制备了SiO2薄膜,并对制备的膜层进行退火处理。系统研究了热处理前后SiO2薄膜的力学及热力学特性。研究结果表明,750℃退火条件下SiO2薄膜的弹性模量(Er)增加到72 GPa,膜层硬度增加到10 GPa。镀完后未经退火处理的SiO2薄膜表现为压应力,但是应力值在退火温度达到450℃以上时急剧降低,说明热处理有助于改善SiO2薄膜内应力。经退火处理的SiO2薄膜泊松比(vf)为0.18左右。退火前后SiO2薄膜的杨氏模量(Ef)都要比石英块体材料大,并且750℃退火膜层杨氏模量增加了50 GPa以上。550℃退火的SiO2薄膜热膨胀系数(f)从6.7810-7℃-1降到最小值5.2210-7℃-1。  相似文献   

3.
SiO高效减反射膜的蒸镀和监控   总被引:3,自引:0,他引:3  
刘明大  石家纬 《半导体光电》1993,14(2):172-174,184
报道了使用 IL400膜厚速率控制仪监控 SiO 减反射膜的蒸镀,通过对1.3μm 激光器前端面蒸镀 SiO 减反射膜而制成了超辐射发光二极管。  相似文献   

4.
制造激光反射镜TiO2/SiO2多层膜,主要方法是在氦气气压为5×10-3~5×10-2帕的情况下用钛和硅的低氧化物进行反应蒸镀。接着在670 Κ的空气中退火,生成所需化学计量的氧化物。在蒸镀过程中,工作气体中不可能完全避免的水蒸气含量与起始条件和设备状态有关。它往往会使激光反射镜的反射率和损耗发生变化。在蒸镀层形成过程中出现的不良结果,一般认为是因水蒸气所致。反之,在低氧化物受热蒸发时,采用水蒸气作反应气体,退火后可以获得系统参数复现性良好的多层膜系。本文将介绍以水为氧化剂制造激光反射镜的有关结论。  相似文献   

5.
国内外学者对铟锡氧化物膜的各种工艺参数进行了过广泛的研究,然而对低温退火提高ITO膜的透光性还未见报道。文章在研究了低温退火工艺对柔性基上真空蒸镀TIO膜的透光率的影响后,进一步分析了影响透光率的工艺参数。  相似文献   

6.
本文主要介绍如何改造真空镀膜机,使它能应用于增透膜的制备.改造后的镀膜机己用于SiO增透膜的制备.将SiO增速膜蒸镀于发光管的发光面上,能使发光管的发光功率和入纤耦和功率有较大的提高.  相似文献   

7.
本文用蒸镀法制备了Sb_2Se_3。光盘记录介质膜,用背散射分析测定了介质膜的成分。在210℃热退火过程中,Sb_2Se_3膜的光透射率从32%变化到7%。透射电镜分析表明,光学特性的改变与介质膜结构从非晶态向晶态的转变有关。  相似文献   

8.
采用双源电子束蒸发的方法,在K9玻璃基片上蒸镀Si和SiO2得到的混合膜层,折射率不仅可调,而且比Si膜要高.用原子力显微镜(AFM)分别对单纯镀的Si膜与双源电子束蒸发镀的Si/SiO2混合膜层的表面形貌进行了观测,结果表明,前者表面疏松,有明显的孔洞结构;后者膜层表面细密.采用双源蒸发的成膜理论,对该方法提高膜层致密性的原因进行了探讨.  相似文献   

9.
在高能激光系统中,反射膜的损伤生长特性和初始损伤一样重要。对薄膜损伤生长特性的研究将有助于探究反射膜损伤机制,从而进一步有效地提高其抗激光损伤能力。使用电子束蒸发(EB)和离子束辅助(IAD)两种工艺制备了1064nm波长下的HfO2/SiO2反射膜,利用四种尺寸的单分散的SiO2小球形成人工节瘤,来研究薄膜镀制工艺和节瘤尺寸对节瘤损伤生长特性的影响。激光损伤测试结果表明:节瘤损伤生长阈值基本随节瘤尺寸的增加而减小。EB工艺制备的反射膜中,四种尺寸节瘤的损伤生长阈值都高于其初始损伤阈值,而IAD工艺制备的反射膜中结果则相反。另外,IAD工艺要比EB工艺制备的反射膜中的节瘤在发生初始损伤后更易于损伤生长,说明薄膜镀制工艺对节瘤的损伤生长速度有一定的影响。  相似文献   

10.
减反膜制备工艺及其应用   总被引:2,自引:0,他引:2  
减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位,其研究依赖于制备工艺。本文结合近几年来国内外研究现状,叙述了几种不同的减反膜制备方法,分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的优缺点,如真空蒸镀法、溅射镀法、溶胶一凝胶法等。并提出了相应的改进方法,分析了这些工艺在减反膜制备中的应用前景,为减反膜的制备提供了参考。  相似文献   

11.
Evaporation duct effects on sea clutter   总被引:1,自引:0,他引:1  
Existing sea clutter models are in general agreement on the trends and magnitudes of sea reflectivity at low (1°-10°) grazing angles. However, at extremely low grazing angles (<1°), models, theory, and measurements show considerable differences. The effects of the oceanic evaporation duct on grazing angle are investigated. Significant changes in grazing angle due to the evaporation duct are found and the illumination of the sea surface by the radar is shown to extend well beyond the standard (4/3 earth) radar horizon range. A series of sea clutter model comparisons shows that much of the difference between models can be attributed to evaporation duct effects  相似文献   

12.
Evaporation of aluminium film induces corrosion on YZ-LiNb03. Both low and high evaporation rates of Al evaporation are effective. The reaction product, of Al ad-atoms and crystal surface, due to local heating caused by heat of condensation may be the primary reason for the observed corrosion.  相似文献   

13.
在太阳能电池、微电子等半导体工艺制程中,液态源以生产效率高、成膜特性好、气压小不易泄漏等优点,广泛应用于扩散、氧化、化学气相沉积等工艺。如:在太阳能电池PN结制程中,掺杂用的液态磷源、液态硼源,以及在湿氧氧化工艺中使用的蒸馏水;在光电子、微电子行业中,化学气相淀积设备(CVD)使用的HMDSO、TEOS、SiHCl3等。实验数据显示,这些液态源的输送对各种掺杂、氧化、淀积工艺的质量具有很大影响。对液态源输送的技术现状进行阐述,分析了现有技术的特性和缺点,并结合未来工艺对装备要求的趋势,在此基础上提出了一种液态源可控蒸发输送系统。  相似文献   

14.
Human skin shows self‐adaptive temperature regulation through both enhanced heat dissipation in high temperature environments and depressed heat dissipation in cold environments. Inspired by such thermal regulation processes, an interfacial material system with self‐adaptive temperature regulation in the solar‐driven interfacial evaporation system, which can exhibit automatic temperature oscillation to enable pyroelectricity generation while producing water vapor, is reported. The bioinspired interface system is designed with the combination of a thermochromism‐based temperature regulator consisting of tungsten‐doped vanadium dioxide nanoparticles and a polymeric pyroelectric thin film of polyvinylidene fluoride. Under the simulated solar illumination with power density of 1.1 kW m?2, the bioinspired interfacial evaporation system achieves a self‐adaptive temperature oscillation with the maximum temperature difference of ≈7 °C and this system can simultaneously generate water vapor as well as electricity with an evaporation efficiency of 71.43% and a maximum output electrical power density of 104 µW m?2, respectively. The study demonstrates a design of thermal management at the interface of solar‐driven evaporation system to exhibit a self‐adaptive temperature oscillation and offers an alternative approach for the multifunctional harvesting of solar energy.  相似文献   

15.
针对现有蒸发波导数据采集的问题,从硬件和软件出发,构建一个无线数据采集处理系统。系统以PIC16F877单片机为核心,采用多传感器采集和无线数传远距离传输数据,并利用PC机进行数据分析处理。该系统可以克服天气和人员的限制,实现单人、随时、随地的数据采集处理。  相似文献   

16.
Semiconductors - In this work, research is carried out to analyze the possibility of fabricating nanostructured antireflection coatings based on ZnO. The dependence of structural features of the...  相似文献   

17.
介绍了半导体激光器电极的蒸发技术。改进了焊接技术即蒸铟技术,并对使用的铟量、铟的厚度、蒸发电流、蒸发源与被蒸镀的电极之间的距离及铟表面的均匀度进行了实验。最后蒸发出了表面均匀、有金属光泽、厚度合适的理想电极。  相似文献   

18.
本文在理论上,用角谱法分析了1.3μm InGaAsP/InP 半导体激光器腔面镀膜后的剩余反射率,并对 TE 波算出了单层近似结果。在实验上,较详细地讨论了 SiO 减反射膜的蒸镀。并通过对1.3μm 激光器前后腔面蒸镀 SiO 减反射膜而制成了超发光二极管。  相似文献   

19.
郭谊  王江安  李恪 《激光与红外》2007,37(11):1141-1143
无论沿海或远洋,蒸发波导现象的存在使雷达传播变得复杂.在蒸发波导确定且其散射特性固定条件下才能精确描述微发射角雷达电磁波特性.利用拉曼激光雷达模型,对不同的大气环境进行研究和分析,得到所需的高精度海上蒸发波导特性.  相似文献   

设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号