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阵列式共焦显微系统超分辨特性的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
针对光学阵列共焦显微系统中存在分辨力的下降,提出引入一种新型三区振幅型光瞳滤波器以提高其三维探测能力。首先根据基尔霍夫衍射理论推导出光学阵列共焦显微系统三维相干成像公式,与现有理论相比,能更准确地定量描述共焦阵列成像过程,进而将共焦阵列显微技术和光学超分辨技术有机结合,利用三维超分辨评价函数对光瞳滤波器的参数进行优化设计,通过压缩各探测光路的横向和轴向半极值宽(HWHM),以提高其三维扫描探测能力,从而为实现快速、超精密三维测量提供了一种有效的技术途径。 相似文献
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用光学信息论本征理论讨论共焦激光扫描显微镜光学系统的成像关系,获得在理想成像及有像差时系统的光学信息量的表达式。 相似文献
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火星探测用的三维MOEMS光束扫描成像系统 总被引:1,自引:0,他引:1
陈高庭 《激光与光电子学进展》2003,40(4):13-17
介绍了一种小型共焦成像仪,它由高性能的双轴硅转矩镜组成,转矩镜协同动态抛物面薄膜反射镜提供三维光束扫描。光束扫描驱动器置于探测火星岩石和土壤用的共焦拉曼光谱仪上.此光谱仪光学分辨率在850nm波长上为1μm,视场为300μm,焦距控制大于200μm。使用双轴扫描仪获得了快速平面扫描,同时抛物面薄膜镜为仪器提供静态和动态聚焦控制(z轴),其中也包括空间场及地表轮廓纠正。本文也描述了MOEM(微光机电)部件以及整体仪器结构,给出了采用转矩镜扫描器获得的原始图像.并且简述了动态聚焦部件的制备、模拟和主要实验表征。 相似文献
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