论材料高温出气与电真空器件寿命的关系

本文首先评述了残余气体的量和质对电真空器件性能和寿命的影响,根据电真空器件是静态真空器件的特点,指出降低气源是改进残余气体的重要途径。分析了漏、渗透、出气、表面化学反应各种气源因素,并做了数字比较。认为出气是最根本、最首要的。文中概述了对于电真空器件主要应考虑高温出气。介绍了目前国内外高温出气研究中选择的物理参量、加温方式,出气机理中的问题,以及如何把高温出气数据运用在电真空器件中。     

示波管内残余气体的研究

用HZP-1回旋质谱计对示波管在整个寿命过程中残余气体的变化规律进行了研究,分析了吸气剂蒸散前后,老炼过程,存放和寿命各个过程中管内残余气体的变化,从而为合理选择材料,制订工艺提供了依据。采用开管取样技术对寿终管进行了管内气氛的分析,判明了器件的失效原因,为进一步提高质量,延长器件的寿命指出了方向。     

非蒸散型锆-铝16合金消气剂的研制及其在电真空工业中的应用

前言消气剂是一种装在电真空器件内用来吸收管子封离后的残余气体,以及吸收管子工作时放出的气体的材料。它是电真空器件中的重要部件,对于提高管内真空度,延长寿命及高度可靠的工作起着重要的作用。     

显像管阴极早期发射衰落原因

本文介绍采用电真空器件残余气体分析、表面分析、离子色谱分析等技术,找出了显像管阴极早期发射衰落的原因是由于 S、Cl 元素对阴极的污染所致,而 S、Cl 元素源于煤气。     

示波管内残余气体的研究

通过用回旋质谱计对示波管寿命过程中管内残余气体的分析,找出了示波管在排气封离前后、吸气剂蒸散前后、老炼过程中以及整个寿命过程中残气的变化规律。为改进工艺提供了依据。     

电真空器件

0617005谐振腔发光器件的胶质合成半导体纳米晶体=Col-loidally synthesied semiconductor nanocrystals in resonantcavity light emitting devices〔刊,英〕/J.Roither,W.Heiss//Electronics Letters.—2002,38(22).—1373(E)0617006显像管残余气体分析及离子轰击研究〔刊,中〕/张晓兵//真空科学与技术学报.—2006,25(增刊).—115-117(L)显像管中的残余气体是影响显像管质量和寿命的重要因素,通过四极质谱残余气体分析系统,可以对显像管中的残余气体进行有效的分析,对带消气剂的真空器件,本底要考虑扣除消气剂作用的影响。在此基础上…     

残余气体对阴极的作用

一、引言氧化物阴极,钡钨浸渍阴极或压制阴极,以及它们的改进型铱膜钡钨浸渍阴极在各种电真空器件中得到了广泛的应用。在真空器件的性能改进和增长寿命问题上、管内残余气氛对阴极性能和寿命的影响,仍然是一个重要因素。不论是化学活泼气体如O_2、H_2O、CO_2等或是例     

闭空间气源对器件真空性能的影响

在电真空器件的设计制造过程中,可能会遇到一种缺陷--管壁中闭空间气源,闭空间中的气体将通过微漏孔对器件真空性能产生重大影响.针对这一缺陷,建立了几种可能状态下器件的真空模型,指出了解决该缺陷的方法和依据.     

从电真空器件两用技术浅析军民融合式发展

我国微波电真空器件经过十几年的快速发展,成果显著,有力地保障了武器装备的需求。近年来随着固态器件的发展和竞争,电真空器件军品需求增长速度出现放缓趋势,电真空器件研制生产企业面临发展瓶颈。作者对国内外微波电真空器件领域的两用技术的发展历史和现状进行了对比分析,从军民融合发展的角度阐述了电真空器件军民相容、军民相济、持续快速发展的必要性和紧迫性。作者还指出:必须在思想、体制和制度方面进行持续变革,通过规划发展战略、专项支持等手段,实现电真空器件军民两用技术有效融合,并实现可持续发展。     

电真空器件的气密性检测

随着经济不断发展,社会各个领域取得了进一步发展,对各类器件性能提出了更高要求,电真空器件作为工业生产的重要设备,在提高生产工作效率和质量等方面具有重要作用,但是,受到各类因素的影响,电真空器件极易出现漏气现象,直接影响企业可持续发展。本文将对电真空器件气密性检验注意事项进行分析和研究,并提出电真空器件气密度检验具体流程,旨在为我国相关领域健康发展提供支持和参考。     

一种电真空器件的失效研究

电真空器件的失效期表现为浴盆曲线,可分为早期失效期、偶然失效期和耗损失效期三个阶段。本文分析了电真空器件的失效因素,指出各个因素对电真空器件失效的影响大小。提出了用电真空器件管内真空度的变化来计算电真空器件偶然失效期的模式。并以速调管为例说明电真空器件管内压强的测量方法。     

内石墨真空性能的初探

在显象管,示波管等电子束器件内一般涂复大面积的石墨作为导电层。用于电真空器件内的石墨,对其物理、化学性能有特定的要求。特别对它的电气、真空性能的要求更为严格。目前,国内有不少厂家引进日本显象管生产线,用国产内石墨代替日本内石墨是各厂急需解决的问题。因此,国产内石墨的质量和性能能否达到或超过日本内石墨为大家共同所关心。 根据理化分析的结果(见表1),国产石墨乳在主要技术指标上,与日本石墨乳接     

W波段带状注电子枪的仿真研究

随着电真空器件向更高频段的发展,传统电真空器件的发展受到了限制,而带状电子注器件相对于传统的电真空器件有很多优点,有很好的发展前景,对该种器件来说重要的一点就是如何产生带状电子注.本文对传统的轴对称收敛型皮尔斯电子枪进行变形,设计了一种用于W波段的带状注电子枪,进行了理论分析,推导出计算公式,然后用3D电磁仿真软件CST进行了仿真计算,并对电子枪结构进行调整优化,得到了符合预期要求的高质量电子注.     

干法刻蚀设备中真空系统的相关问题

讨论了干法刻蚀设备真空系统中水汽／氧等残余气体的危害，反应室真空系统工作压强的精确控制以及真空排气系统的几个问题。结合作者从事刻蚀工艺实践，对这些问题进行了定性分析，并探讨了解决这些问题的可行方案。     

锆铝吸气剂在内腔式He-Ne激光器中的应用

吸气剂在真空技术中是相当重要的。它可以吸收电真空器件在封离后内部构件放出的残余气体以及微小漏孔渗进的外部杂气,维持器件的真空度,提高器件的寿命。 吸气剂有蒸散型(如钡类吸气剂)和非蒸散型两种。武汉地震大队等单位曾在He-Ne管中使用过蒸散型的钡类吸气剂。钡类吸气剂的缺点是钡膜常在激光管内升华和爬迁,容易引起极间漏电、污染阴极和膜片,对外观也有影响。     

消气剂及其新应用

在电真空器件生产中,为了保持电子管在排气、封下后所具有的真空度以及吸除电子管在工作时处于高温状态下的各电极所放出的气体,维持电子管工作时必需的真空度,人们习惯使用消气剂。随着电真空器件的飞速发展,消气剂亦已从最初在白炽灯泡生产中所使用的赤磷,发展到现在的蒸散性及非蒸散性两大类消气剂,而且消气剂已不仅广泛地应用于电真空器件领域     

痕量气体分析质谱计的研究

常用残气分析质谱计和色谱—质谱联用仪並不能满意解决真空工艺流程和电真空充气器件内的痕量气体要求。本文研制的痕量分析离子源克服了质谱计真空系统残气本底和热灯丝反应生成物的干扰,能较满意解决ppm量级的杂质分析、     

电子束管内残余气压的测定

一、引言电子束管在排气、封离后的管内残余气体是影响管子寿命的一个决定性因素。这种残余气体的来源主要是由于排气不良、封接部分慢性漏气以及真空材料在使用时放气,等等。因此研究残余气体的成分和压强以及在使用过程中它们的变化具有极为重要的意义。它有助于确定最佳的排气规范和阴极分解激活规范,鉴定电真空工艺和卫生的有效程度,研究消气剂的吸气量及其持续作用,合理选择管内零件的材料等。     

磁控管不同工作状态时的残余气体分析

使用迴旋质谱计分析了磁控管起振前,起振后各种工作状态下的残余气体的变化。磁控管中分别装有镍海绵氧化物阴极和钡钨浸渍阴极。阴极预热可使磁控管内各种气体大量增加,管内真空度下降2个数量级以上。支取直流或脉冲电流时惰性气体大量减少,但活性气体有所增加。阳块通水冷却对活性气体减少有明显效果。加上临界磁场后,电子回轰加激了残余气体的变化。磁控管起振后不论惰性气体,还是活性气体都有大小不同的增加,而且残余气体的变化规律与器件的输出功率,脉冲宽度以及重复频率有密切关联。在脉宽大到一定值后磁控管打火增激,工作不稳定,输出功率下降,频谱畸变等性能的恶化和气体的大量增加有一定关系。起振后降低灯丝加热功率对改善真空组成有利。镍海绵氧化物阴极的磁控管在静置存放11个月后管内残余气体有所增加,但除通过玻璃渗透的氦之外数量不大,不足以对器件和阴极性能有明显作用。对比了钡钨阴极和镇海绵阴极管子中的气氛差异。本工作的结果表明迴旋质谱计可以适用于研究大多数微波器件在工作状态时的气氛变化,展示了使用气体分析工具探索改进工艺措施,提高器件性能和寿命的可能性。讨论了今后的工作。     

用残余气体分析仪测量和计算分压强

残余气体分析仪可以得到真空系统残余气体的质谱图,并给出各个质荷比峰的离子流值,但不能直接测量残余气体中各组分气体的分压强。在考虑到组分气体对某个峰的贡献可以线性叠加的基础上,本文介绍了峰的离子流与分压强、仪器灵敏度、传输几率和丰度之间的关系,从而得到了利用RGA质谱峰的离子流计算残余气体分压的公式。