193nm ArF准分子激光器

本文报告高功率紫外光预电离ArF准分子激光器的实验研究。使用F_2+Ar+He混合气体作为工作介质,已获得ArF最大脉冲激光能量219毫焦耳,总效率0.5％左右。本器件并可输出KrF激光,最大脉冲激光能量424毫焦耳,总效率约1％。激光器是由内径为8.4cm的玻璃钢圆筒做成,长94cm。电极采用张氏均匀场型面电极,电极有效平区宽5mm,电极长80cm,两电极之间距离为2.1cm,因此激活体积为80×2.1×0.5cm~3。放电采用LC反转电路,主放电电容为平板电容,电容量分别为C_1=12nF和C_2=     

紫外光预电离闭合循环系统的XeCl准分子激光器

激光器采用集总电容的LC快放电网络。主放电电极由一对铝合金电极组成,间距2厘米。其中一电极面形曲率R=1.5厘米,另一电极R=1厘米。二排由24组火花隙组成的紫外预电离针平行均布于电极二侧,总有效激活长度为72厘米;激光器谐振腔长为100厘米,全反端为镀铝平镜,输出端为GaF_2窗口。总锗能电容量为67000微微法总预电离电容为18720微微法。闭合循环系统采用金属真空系统与循环泵组成。 在电压34千伏,He:Xe:HCl=94.8％:4.7％:0.5％的配气比中,激光器输出能量大于110毫焦耳,脉冲前沿小于10毫微秒;脉宽40毫微秒。以80毫焦耳能量为起点,运转6×10~4次后能量下降50％。     

溅射氧化铁薄膜在透明掩模中的应用

提出了一种制备Fe_2O_3薄膜的工艺,薄膜在6克分子HCl中的溶解速度和透射光谱均适于做透明光刻掩模(为了便于对位,光刻掩模在589毫微米下应是足够透明的,而在360～400毫微米光谱区域是不透明的)。此方法有两种,一种是Fe电极在CO—CO_2混合气氛中射频或直流溅射,另一种是Fe_2O_3电极在CO—CO_2混合气氛中射频溅射。用金属电极时CO含量一定不能超过82％,用氧化物电极时不能超过87％,这样才能得到具有满意透射光谱的薄膜。使用Fe电极和80％CO与20％CO_2的混合气体时,射频输入功率350瓦,得到的最快沉积速度为120埃/分。对抗磨性、缺陷密度和薄膜形态均作了叙述。     

低温烧结BaO-Nd2O3-TiO2陶瓷介质材料的研制

采用固相法制备了BaO-Nd2O3-TiO2( BNT)陶瓷,研究了Bi2O3-SiO2-ZnO-CaO( BSZC)玻璃添加量对所制BNT陶瓷介电性能的影响.结果表明:添加质量分数7％～9％的BSZC玻璃,可使BNT陶瓷在960℃下烧结致密,匹配10Pd/90Ag内电极,获得相对介电常数εr≈88,介质损耗tanδ=...     

1.06微米高效增透膜的研制

本文对双层增透膜的误差进行了分析,指出非λ/4膜系的双层增透膜比λ/4膜系的光学性质有更大的稳定性。用Ta_2O_5和SiO_2作膜料在K_9玻璃基底上制备双层增透膜,其单面反射率小于0.03％,激光破坏阈值大于7千兆瓦/厘米~2(激光波长1.06微米,脉冲宽度1毫微秒)。     

上海光机所激光薄膜五项科研成果最近通过鉴定

1983年10月5日至7日,本市上海技术物理研究所、复旦大学、上海激光技术研究所等21个单位30名同行专家及技术人员对上海光机所几年来所取得的五项激光薄膜研究成果进行了评议,并一致通过了鉴定意见。 这五项激光薄膜成果是: 1.1.06微米高效增透膜 采用Ta_2O_5和SiO_2材料及双层非λ/4膜系镀制,在K_9玻璃镀此膜后,对1.06微米波长的反射率R≤0.03％,对1毫微秒脉宽的激光损伤阈值大于10~9瓦/厘米~2,成品率达80％。     

气体激光器

在紫外波段的高功率连续振荡的离子激光器中，有使用氧化铍等高耐热放电管，由数十安培的强电流进行激励的氩III激光器(波长364，351毫微米，输出为数瓦）和由数十毫安的空心阴极放电进行激励的氦-镉激光器(波长325毫微米，输出功率为十毫瓦)，都能作为紫外区域的相干光源。近来，使用多层介质膜反射镜(波长在160毫微米处反射率为96%)，采用500毫微秒的脉宽，10千安/厘米2的强电流进行脉冲激励的氖、氩、氪、氦等1价到4价的离子，获得了从紫外区域到真空紫外区域的许多条新的激光振荡谱线。其最短波长为氪IV的176毫微米，峰值输出为0.1~1千瓦。此外，在稀有气体-金属离子激光器中，由于空心阴极放电时的电极溅射作用，放电管内蒸气压较低的金属铜II(270~249毫微米)、银(383~224毫微米)、金II(296~253毫微米）以及铝II(359毫微米)可得到连续及准连续振荡，并将可能具有较高的效率。     

室温TEA CO激光器

实验装置比较简单,用φ165×5×830毫米的玻璃圆管作外壳,两端用铜法兰盘封装,两法兰盘中央开孔以安装腔片。全反镜为R=5米的镀金凹面玻璃镜,输出窗口为锗平片,双面镀上增反、增透介质膜,在5～6微米处透过率为7％。采用火花紫外光预电离结构,主放电电极为两个铝制Rogowski电极,长600毫米,背宽100毫米,厚19毫米,平行放置,间距20毫米。     

紫外微微秒高功率激光脉冲的产生

采用被动锁模染料激光器作为振荡器,其输出为2～10微微秒的锁模脉冲系列,单脉冲能 量为5～10微焦耳。用XeCl准分子激光器泵浦的染料激光放大器放大,同时利用染料激光器可调谐特性,将其准确地调到616毫微米处,倍频后刚好落在XeCl准分子激光器的最大增益带宽中心,再经XeCl激光器放大后,可获得波长为308毫微米,带宽0.2毫微米,脉宽小于10微微秒,能量为8～10毫焦耳的紫外激光单一脉冲输出。     

EPMA对Nb_3Sn超导材料研究Ⅴ:Cu-Nb-Sn定量分析标准曲线方法

七十年代前生产的电子探针大都没有配上电子计算机,定量分析计算多采用脱机校正或手算查表的方法。本文给出Cu—Nb—Sn三元合金及Cu—Nb、Cu—Sn二元合金的校正计算标准曲线,使这三种合金样品的定量分析能够快速、准确地从曲线上查出。标准曲线是在设定Cu的浓度C_(Cu)为某一个值时,对Nb和Sn的浓度C_(Nb)和C_(Sn)进行组合,采用ZAF校正后反算出相应的X射线强度比K_(Nb)和K_(Sn)。将K对C作图。以5％的浓度间隔,设定20个Cu的浓度,制作了Cu—Nb-Sn三元合金的K_(Nb)～C_(Nb)和K_(Sn)～C_(Sn)标准曲线各20根。同时制作了Cu—Nb和Cu—Sn二元合金的K—C标准曲线,如图1和2。标准曲线使用条件为:出射角20°、加速电压25KV、测量线系Cu—K_α、Nb—L_α、Sn—L_α。使用步骤:(1)假设K_(Cu)为C′_(Cu),由K_(Nb)、K_(Sn)直接从Cu—Nb—Sn合金的K～C曲线上查出一次校正浓度值C~1_(Nb)和C~1_(Sn)。(2)从Cu—Nb合金的K_(Cu)～C_(Cu)曲线上查出C_(Cu)(Nb)以及从Cu—Sn合金的K_(Cu)～C_(Cu)曲线上查出C_(Cu)(sm),将C~1_(Nb)和C~1_(Sn)归一化为C~0_(Nb)和C~0_(Sn)由下式计算Cu的一次校正浓度值为:     

连续染料激光器波长可调谐到250毫微米

据斯坦福大学化学教授R.泽欧说,一台连续波染料激光器可调谐到250毫微米这样的短波长。用5厘米长的磷酸二氢铵进行腔内倍频的香豆素-30激光器，在接近其调谐曲线中心的254毫微米处产生30微瓦之功率。     

一种可拆卸的脉冲离子激光器

激光器的结构 激光器的结构如图1所示,采取了可拆卸的装配式结构。 石英放电管内径为7毫米,长1米。光学谐振腔为平凹结构,凹镜曲率半径3米。两镜均镀多层介质膜,输出平面镜在4880埃处的透过率为10％。电极为铝筒,放电管端部的各部件由尼龙和有机玻璃加工制成,真空密封使用橡皮圈。此系统易于加工,装配和拆卸均很方便。     

含氢硬碳膜的射频等离子体淀积

本文介绍在电容耦合射频放电中用碳氢化合物、如CH_4、C_2H_4及C_6H_6来制备硬碳膜。这种硬碳膜呈电绝缘(电阻率为10~(12)Ωcm),透红外,很硬(克氏硬度为1400kp/mm~2),折射率为1.8～2.0,可淀积于玻璃、石英、硅、锗、SiC、GaAs、Gd_3Ga_5O_(12)上,淀积速率很高(1000/min)。锗衬底上的这种单层膜在10.6μm处的反射小于0.2％。     

工作物质为空气的OIII 559.2毫微米激光

放电管中充入少量空气获得氧离子的一些激光谱线已有报导,OIII的559.2毫微米激光谱线已见于文献。我们以空气为工作物质研究了OIII559.2毫微米的激光特性。激光器放电管长1米,直径7毫米。由曲率半径3米的全反射镜和559.2毫微米处透过率2％的平镜组成激光腔。放电电容器容量为0.1微法。用     

Ge-Sb-Se玻璃的红外透过特性

为了探讨限制Ge-Sb-Se玻璃的航空红外系统和CO_2激光窗特性的非本征和本征吸收效应,研究Ge-Sb-Se玻璃的红外透过特性。已经发现非本征吸收是由氧化物和碳杂质引起的,采用通过石英蒸馏以及添加Al俘获剂的制备材料技术,消除了这些有害杂质。消除了强的非本征吸收,较弱的本征吸收就呈现出来了。长波长红外截止看来就由某些基谐振动型的较高次激发所决定,对于 Ge-Se键是在245厘米~(-1)附近,而对于Sb-Se键是在180厘米~(-1)附近。改变玻璃的成分,也能使8～12微米大气窗区吸收系数发生变化。这些变化是由于分子结构的畸变以及Ge、Sb和Se间键混合而产生的。在10.6微米处,吸收系数从0.024厘米~(-1)变化到0.008厘米~(-1)。     

超脉冲二氧化碳激光和铜蒸气激光对神经组织的作用

作者曾报导过相同能量密度连续渡二氧化碳激光和氢激光对鼠脑组织作用的比较研究。他们采用相同的模型，评价了超脉冲二氧化碳激光和铜蒸气激光的作用。所用的脉冲激光的平均能量密度为5000焦耳／厘米^2。超脉冲CO2激光的脉冲宽度为0．1-0．9毫秒，重复频率为每秒1-999个脉冲，输出功率为500瓦。工作波长为510毫微米（70％）与578毫微米（30％）的铜蒸气激光的脉冲宽度为30毫微秒，脉冲间隔200微秒，每个脉冲2毫焦耳，总功率达10瓦。     

相对论电子束激励的准分子激光器

我们建立了一台相对论电子束发生器,电子束能为1.2兆电子伏,束流千安,束宽25毫微秒,上升前沿<10毫微秒。用这台电子束装置横向激励准分子激光器,激光盒腔长150毫米,输出口径φ16毫米。采用镀介质膜的平凹腔。输出腔片在351毫微米处透过率T(?)12％,全反镜R=1米。在气压比为NF_3:Xe:Ar=2.5托:19托:2.8大气压,充电电压为25千伏时,成功地实现了XeF准分子激光器B(~2∑_(1/2))→X(~2∑(1/2))态跃迁,获得波长为351毫微米和353毫微米的激光发射。输出能量约为5毫焦耳,用2米光栅光谱仪摄得这二条强激光谱线。     

K_xRb_(1-x)TiOPO_4——一种新的非线性光学材料

制备一种新的非线性光学材料K_xRb_(1-x)TiOPO_4,它的系数可与Ba_2NaNb_5O_(15)相比,作为一种理想的单晶,透射350～4500毫微米波长,该材料在整个透射范围内是可相位匹配的,而且1060毫微米辐射在倍频时,射束离散最小,功率容度达150兆瓦/厘米~2时,材料无光学损伤。另外,该材料是化学稳定的并且容易抛光。     

用于新型荧光字符平板显示器的银浆料

针对新型荧光字符平板显示器件的工艺特点，研制出了能满足其工艺要求的电极银浆料。该浆料的最佳峰值烧成温度为５５０～５８０℃，玻璃相含量５．５％～６．５％（质量分数）。用它制作的电极具有阻值低、附着力强、分辨率高等优点，可替代进口的同类浆料。     

玻璃/Al_2O_3系MLCI介质材料的微观结构与性能研究

采用烧结法制备了一种低温共烧(LTCC)K_2O/Na_2O-B_2O_3-SiO_2玻璃/Al_2O_3介质材料。系统研究了玻璃/Al_2O_3比例和烧结温度对介质材料结构与性能的影响。结果表明,材料烧结后只有Al_2O_3晶相,材料烧结属于液相烧结机制。介质的相对介电常数ε_r随Al_2O_3含量的增加而升高,Al_2O_3质量分数为35%时,经860℃烧结材料的性能最优:ε_r=5.93,tanδ=3.1×10~(–3),收缩率为16%,抗弯强度为159 MPa。所制备的介质材料能够用于高频MLCI领域。