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MEMS技术及其在军事中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
微电子机械系统(MEMS)是多种学科的交叉融合,应用领域极为广泛。文章主要阐述了MEMS的设计、加工、封装与测试等技术及其在微/纳卫星、微型飞行器、微型机器人和纳米科技战士等方面的军事应用。 相似文献
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微电子机械系统(MEMS)及其在军事领域的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
微电子机械系统(MEMS)技术是继微电子技术后又一项重要的新兴技术。介绍了MEMS的基本概念和特点、MEMS的技术基础和制造技术及典型的MEMS产品,并在此基础上重点论述了MEMS在军事领域尤其是在军事电子信息系统中的应用和发展前景。 相似文献
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【引文】小i机器人成立于2001年,长期专注于智能机器人技术研究和开发,在自然语言处理和人机交互技术方面已经获得了多项国家发明专利。业务涉及通信、金融、政府、电子商务、智能家电和汽车等行业,经过十多年实际项目的不断验证和优化,小i机器人在智能人机交互(文本、语音等)的全渠道整合应用上领先中国,已成为中国智能机器人第一品牌。 相似文献
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智能机器人主要是依靠信息融合、传感器控制技术以及传统机器人一同组建完成的,随着工业化的发展,智能机器人在多个行业中的引用不断完善,发展迅速,因此,基于以上,本文主要研究智能机器人在信息融合中的技术核心和应用范围,以及信息融合技术在人工智能方面的应用和具体实践中遇到的问题等。 相似文献
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内容导读,当前人工智能、智能机器人、人机交互理论与技术发展迅猛。随着传感器、集成电路设计和智能算法的进步带来机器人感知能力的快速提升,人工智能中柔性传感器、智能机器人、人机交互算法的应用不断取得进步。基于柔性传感器的人与机器人的交互、机器人与机器人的交互以及人机协同作业等领域已有一定的成功应用,因此学术界掀起了柔性传感器、柔性共形天线、人(机)-机交互智能感知系统与智能算法的研究热潮。 相似文献
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基于MEMS技术的微波滤波器研究进展 总被引:1,自引:1,他引:0
基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点。对利用MEMS技术制作的滤波器做了分类总结,综述了近几年MEMS滤波器的研究进展,包括硅体微加工滤波器、LIGA传输线型滤波器和基于MEMS开关/电容实现的可调滤波器。指出可调滤波器的开发适应微波、毫米波波段的多频段、宽带无线通信系统的迫切需要,具有重要的现实意义。 相似文献
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微机电系统(MEMS)是由微加工技术制造的微型传感器、微型执行器及集成电路组成的器件或系统.介绍了MEMS技术的研究背景和发展历程,着重阐述了微机电系统的核心技术和商业应用,其中特别提到了单芯片系统方面的前沿研究,最后就MEMS技术的前景和研究方向进行了探讨和展望. 相似文献
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硅MEMS器件加工技术及展望 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了几种典型的硅基MEMS加工技术以及应用,并简单展望了MEMS加工技术发展趋势。硅基MEMS加工技术主要包括体硅MEMS加工技术和表面MEMS加工技术。体硅MEMS加工技术的主要特点是对硅衬底材料的深刻蚀,可得到较大纵向尺寸可动微结构,体硅工艺包括湿法SOG(玻璃上硅)工艺、干法SOG工艺、正面体硅工艺、SOI(绝缘体上硅)工艺。表面MEMS加工技术主要通过在硅片上生长氧化硅、氮化硅、多晶硅等多层薄膜来完成MEMS器件的制作,利用表面工艺得到的可动微结构的纵向尺寸较小,但与IC工艺的兼容性更好,易与电路实现单片集成。阐述了这些MEMS加工技术的工艺原理、优缺点、加工精度、应用等。提出了MEMS加工技术的发展趋势,包括MEMS器件圆片级封装(WLP)技术、MEMS工艺标准化、MEMS与CMOS单片平面集成、MEMS器件与其他芯片的3D封装集成技术等。 相似文献
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智能机器人技术为近年来研究热点,机械手在智能机器人教学研究与工业机器人领域占据很大比例,本文设计实现了基于STM32为控制平台的四自由度机械手控制系统,系统可以调试,存储机械手动作,并且使用语音控制模块,使机械手具备人机对话,语音控制功能。系统高效,灵活,使用方便,对于智能机器人研究教学,工业机械人控制系统研发具有重大意义 相似文献
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基于微机电系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)技术的微型超级电容器是一种以微纳米结构形式实现储能的微型能量存储器件,具有高比容量、高储能密度和高抗过载能力等特点,在MEMS微电源系统、引信系统以及物联网等技术领域具有广泛的应用前景。分析了超级电容器的基本原理和种类,系统综述了MEMS超级电容器的国内外研究现状,重点讨论了基于MEMS加工技术的超级电容器制造方法和优势,从材料、结构设计、加工工艺方面分析了MEMS超级电容器存在的技术瓶颈问题,并展望了其未来的发展趋势和应用需求。 相似文献
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移动机器人路径规划方法研究 总被引:3,自引:0,他引:3
移动机器人技术研究中的一个重要领域是路径规划技术,它分为基于模型的环境已知的全局路径规划和基于传感器的环境未知的局部路径规划。综述了移动机器人路径规划技术的发展现状指出了各种方法的优点与不足,最后对移动机器人路径规划技术的发展趋势进行了展望。 相似文献
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MEMS开关技术的研究与进展 总被引:1,自引:1,他引:0
开关是信号变为现实.在MEMS技术的基础上,分析了MEMS开关技术及其在电路系统中的应用,并着重阐述了射频MEMS的结构及其相关技术特点. 相似文献