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相似文献
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1.
本文对新型基于水银为介质的微流体加速度开关进行了理论可行性分析研究。在理论上说明了水银加速度开关的原理。在分析了水银加速度开关可行性及其潜在的优点的基础上,本文对于在不同加速度作用下,水银运动的方程进行了理论探索,这对于整个开关的研究具有重要意义。  相似文献   

2.
光致弯曲薄膜是一种可遥控供能的新型微执行器驱动元件.介绍了光致弯曲薄膜的驱动原理,综述了光致弯曲薄膜微执行器的开发和研究现状,重点介绍了光致弯曲薄膜微执行器在微液体控制系统和微马达中的应用,并对光致弯曲薄膜在微执行器中的应用进行了展望.  相似文献   

3.
微电铸技术及其工艺优化进展研究   总被引:3,自引:2,他引:3  
随着微机电系统(MEMS)和微影微电铸微模铸(LIGA)两种技术的发展,微电铸工艺正逐渐展现着其独特的魅力和发展潜力。然而,现有工艺中存在的缺陷也严重阻碍了其进一步发展。因此,对微电铸工艺进行深入研究,突破其工艺瓶颈,将对微加工工艺的应用和推广起着重要作用。着眼于目前微电铸工艺中存在的不足,从工艺缺陷的理论形成机理出发,总结了近期微电铸领域在工艺缺陷的改进方面所做出的努力及成果,并对微电铸工艺未来的发展趋势提出了一些看法。  相似文献   

4.
未来的传感器和执行器   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文简单地评述了微传感器和执行器的发展概况。  相似文献   

5.
对静电驱动微继电器、热驱动微继电器和电磁驱动微继电器的驱动原理和特点分别进行了分析, 介绍了国内外具有代表性的几种微继电器的结构、制作工艺、关键部件的尺寸, 并探索了静电驱动、热驱动和电磁驱动微继电器的发展前景。  相似文献   

6.
光致弯曲薄膜是一种可遥控供能的新型微执行器驱动元件.介绍了光致弯曲薄膜的驱动原理,综述了光致弯曲薄膜微执行器的开发和研究现状,重点介绍了光致弯曲薄膜微执行器在微液体控制系统和微马达中的应用,并对光致弯曲薄膜在微执行器中的应用进行了展望.  相似文献   

7.
微技术中使用的液体夹钳   总被引:1,自引:0,他引:1  
大舟 《光机电信息》1997,14(6):13-13
微系统工程的开发中,主要难题是制作极其微小的元件以及它们的装配。其中,夹持工艺起着决定性的作用,因为使用通常的技术,可能会损坏这些微小的结构。最近,夫琅霍费生产技术与自动化研究所研制出一种用于微系统的粘附钳手,用酒精作为粘附液。  相似文献   

8.
微课教学设计事关整个微课课程的教学效果,十分重要。文章从微课的教学设计出发,阐述了微课教学方式对于高校教学成果的重要性以及微课的发展策略,对教师的微课教学设计提供参考。  相似文献   

9.
微机电系统的研究内容与发展现状   总被引:4,自引:0,他引:4  
李国平  陈子辰 《微电子学》2001,31(6):389-391
概述了微机电系统(MEMS)的定义和特征,从理论基础、技术基础和工程应用三方面,阐述了微机电系统的研究内容,简要介绍了MEMS基础技术及MEMS器件的研究现状。  相似文献   

10.
本文简要地评述了微机构、微传感器、微执行器的发展,提出了微机械电子学系统的概念,指出了微机械电子学系统的发展前景。  相似文献   

11.
12.
微流体系统中微阀的研究现状   总被引:1,自引:0,他引:1  
依据微流体系统中微阀的驱动机理,将微阀分为有源微阀和无源微阀两大类,然后对这两大类进行细分,将有源微阀分为压电、磁、静电驱动、热驱动、相变、双稳态、外部驱动等类型,将无源微阀分为悬臂梁式、薄膜式、毛细管、扭矩驱动等类型。分别讨论了各种微阀的工作原理和性能,介绍了各类微阀的实验研究进展,指出了这些微阀的特点,突出了微阀作为微流体系统的主要元件之一,起到径流调节、开/关转换、密封生物分子和微/纳粒子等作用。回顾了微阀的发展历程,分析了目前研究过程中存在的问题,提出了微阀今后的研究方向。  相似文献   

13.
为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计。理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约为56Hz/g;由有限元仿真分析也得出了相似的结论。  相似文献   

14.
为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计。理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约为56Hz/g;由有限元仿真分析也得出了相似的结论。  相似文献   

15.
本文介绍了微系统及其技术的一般含义,并对微系统的典型结构作了详细阐述,最后对其应用前景进行了简要分析。  相似文献   

16.
一种新型谐振式微加速度计设计和分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计.理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约为56 Hz/g;由有限元仿真分析也得出了相似的结论.  相似文献   

17.
微流体系统驱动技术的研究进展   总被引:1,自引:1,他引:0  
沙菁 《微纳电子技术》2006,43(12):586-591
微流体驱动大致可以分为两类:一类是从宏观流体驱动移植过来的驱动方式;另一类是根据微尺度下流体特性设计的驱动方式。对两类不同的驱动方式进行了介绍与比较,前者原理成熟,基本都符合经典流体理论,在亚微米以上级微流体流道尺寸中的应用较广;相比之下,后者设计原理新颖,常用于微米甚至纳米级的微流体系统中,具有更好的发展前景。  相似文献   

18.
为了改善移动网络的覆盖,提高网络容量,体积小巧、安装方便的微基站成为日益成为各大运营商青睐的基站形式。文章分析了各种类型微基站的组网和部署方式,通过Lampsite在实际网络中的应用案例和实测结果印证了微基站优势。希望能对未来4G网络中微基站组网和建设有所帮助。  相似文献   

19.
微流体在压电基片上输运往往偏离声表面波传播方向,尤其是当压电基片表面疏水层不很均匀时,给微流体诸如混合等操作带来不便。在1280旋转Y切割X传播方向的LiNbO3基片上研制了集成有聚二甲基硅氧烷为材料T型微通道的微混合器,压电基片上采用光刻工艺制作相互垂直叉指换能器及反射栅。待混合的两微流体采用微量进样器分别进样到声路径微通道中,依次在两叉指换能器上加RF电信号,它激发的声表面波驱动其声路径上微通道中的微流体沿微通道输运、合并,并快速混合。对2μl水-2μl蓝色染料微流体和2μl甘油-2μl蓝色染料微流体进行混合实验,结果表明,声表面波的作用可以提高微通道中微流体的混合速度,且混合程度更高。  相似文献   

20.
随着LTE网络成熟度提升的需求,宏站站址资源获取越来越困难,首先实际站址与规划站址有偏差,导致网络覆盖存在空洞;其次,越来越多的高层建筑、密集小区等对宏站信号的遮挡造成弱覆盖或覆盖空洞;最后,在没有室分系统的情况下,室内建筑物的深度覆盖无法保证。这些实际问题导致传统的宏站组网只能完成基础覆盖,密集区域的深度覆盖无法保证,严重影响用户体验。  相似文献   

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