首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
相似文献
 共查询到19条相似文献,搜索用时 93 毫秒
1.
提出了基于AlN压电薄膜多层结构的1.8 GHz射频薄膜体声波谐振器(FBAR),并进行了研究。采用修正后的MBVD等效电路模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟。给出了采用半导体加工工艺制备器件的工艺流程,并实际制做谐振器样品,样品的测试结果:器件的串联谐振频率fs和并联谐振频率fp分别为1.781和1.794 GHz,相应的有效机电耦合系数为1.8%;串联谐振频率处和并联谐振频率处的Q值分别为308和246。该谐振器样品实际尺寸为0.45 mm×0.21 mm×0.5 mm,可以用来制备高性能的滤波器、双工器和低相噪射频振荡器等。  相似文献   

2.
提出了一种并联体声波谐振器(BAWR)与Ga_(2)O_(3)基MSM紫外传感器的新型高灵敏度传感器结构,即体声波谐振式日盲紫外光传感器(BAWR-UV Sensor)。设计并制备了MSM Ga_(2)O_(3)紫外传感器和BAWR传感器,将实测的光、暗S参数在仿真软件中封装为S1P数据模型代替MSM等效电路,用MBVD模型代替BAWR等效电路,通过并联两种结构建立了BAWR-UV仿真模型;采用ADS软件仿真了BAWR核心参数对BAWR-UV传感器灵敏度的影响,研究了提高灵敏度的设计方案。仿真结果表明,在0.5~4.5 GHz频率范围内,BAWR-UV的并联Q值越大,阻抗灵敏度越高,同时阻抗灵敏度随频率降低而增大,在并联谐振频率f_(p)=0.533 GHz时获得最佳阻抗灵敏度为100 kΩ/(μW/mm^(2));频率灵敏度随频率的升高而增大,在f_(p)=4.5 GHz时获得最佳频率灵敏度为1.4 MHz/(μW/mm^(2))。最后,开展了高灵敏度日盲紫外传感器的探索。  相似文献   

3.
提出一种新型的折线形哑铃缺陷地结构(FDGS)。该FDGS对普通哑铃形DGS进行了改进,加入折线结构,从而在不增加蚀刻面积的情况下,大大增加其等效并联电容,获得较低的谐振频率。仿真结果显示,当某一特定尺寸的普通DGS的谐振频率位于4.7GHz时,同样大小的FDGS的谐振频率只有2.25GHz。制作了一个由三个相同的FDGS级联构成的带阻滤波器。结果表明:该带阻滤波器在1.8~2.78GHz之间,对信号的抑制从-26dB到-41dB。  相似文献   

4.
纳米晶PZT薄膜体声波谐振器的研究   总被引:2,自引:1,他引:1  
采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,在Si基Pt电极上沉积了PZT压电薄膜,并研制了以SiO2为声反射层的体声波谐振器.用X-射线衍射、电镜扫描及原子力显微镜测试表明,PZT薄膜具有(110)择优取向,良好的短柱状自行晶结构及平滑的表面,晶粒平均尺寸为50~60 nm.介电性能测试结果表明,介电常数保持约800,损耗角为0.02.用网络分析仪测试体声波谐振器得到较好的频率特性,即串、并联谐振频率分别为2.91 GHz和3.01 GHz,机电耦合系数为8.18%.在敏感元电极上加载1 μL浓度为0.2 μg/μL的磁性微球溶液,谐振频率降低了0.09 GHz.  相似文献   

5.
借助时域有限差分法(FDTD)对微带宽缝天线的频率和带宽特性进行了分析讨论.采用高斯脉冲激励,对计算空间采用非均匀网格划分,通过FDTD,一次计算就可得到天线谐振频率和带宽的参数.研究了微带宽缝天线的频率和带宽特性随着缝宽变化的规律.发现当缝宽从1mm增加到30mm时,天线的谐振频率从3.4GHz降低到2.3GHz,天线的10dB带宽可从9%增加到28%.  相似文献   

6.
基于时域有限差分法的谐振腔分析   总被引:1,自引:1,他引:0  
王长华  王秩雄 《现代电子技术》2011,34(2):103-105,108
用时域有限差分算法处理Cuccia腔圆周边界时,提出了一种圆周边界多边形网格近似处理技巧,与台阶近似相比,提高了计算精度。通过对谐振频率随腔体尺寸变化定性关系的研究,分别得到了谐振频率.f=2.5GHz时的几组Cuccia腔的尺寸,并用微扰法算出了固有品质因数Qo,Cuccia腔在尺寸大小、固有品质因数以及场的均匀性良好。根据优化得到的参数设计制作了Cuccia腔,通过实验测得谐振频率f=2.24GHz,与计算结果基本相符。  相似文献   

7.
通过对常规圆环孔单元加载金属贴片得到改进的开口圆环单元。分析结果表明:TE模入射时,与封闭圆环频率选择表面(FSS)相比,圆环开口对传输特性几乎没有影响,谐振频率稳定在12 GHz,–3 d B带宽为8 GHz;然而TM模入射时,单开口圆环FSS结构使谐振频率降低到5.5 GHz,并在16.6 GHz出现二次谐振,而双开口圆环FSS结构使谐振移向更高的频率21.5 GHz。  相似文献   

8.
一、问题的提出 众所周知,如果压电振子例如石英振子的频率间隔的相对宽度等于(f_p—f_s)/f_s≤0.35%,则压电滤波器的通带受频率间隔(或称谐振间隔)的相对宽度的限制。式中f_s=1/2π(L_sC_s)~(1/2)是串联谐振频率,f_p=1/2π((C_s+C_p)/L_sC_sC_p)~(1/2)是并联谐振频率。而L_s和C_s是振子的动态电感和动态电容,C_p则是它的静电容。  相似文献   

9.
该文研究了一种薄膜体声波谐振器(FBAR)采用并联电感和外匹配电路的拓扑结构实现宽带滤波的方法。使用Comsol软件对FBAR进行三维结构仿真,并提取最优电极形状(变迹五边形)对应曲线到ADS中联合外匹配电路进行频带拓展,外匹配电路中的电感Ls取值直接影响滤波器带宽。经调节,最终在谐振器串联谐振频率fs=1.97 GHz,并联谐振频率fp=2.03 GHz的情况下实现了21.15%的相对带宽,此时对应的3 dB带宽为419 MHz,1 GHz处的带外抑制为11.616 dB。  相似文献   

10.
研究了一种新型的、应用于X波段的高隔离度RF MEMS电容式并联开关结构。相比于普通的并联结构,该开关通过共面波导(CPW)传输线与地平面之间的衬底刻槽结构将隔离度提高了7dB,关态时在13.5GHz谐振频率处的隔离度为-54.6dB,执行电压为26V。弹簧梁结构开关的执行电压下降为14V,在11GHz处其隔离度为-42.8dB。通过两个并联开关级联与开关间的高阻传输线构成的π型调谐开关电路,在11.5GHz处的隔离度为-81.6dB。  相似文献   

11.
对瘦素与肿瘤的最新研究进展进行综述,并阐明瘦素参与调节肿瘤发生、发展的可能机制,它可能有望成为早期诊治肿瘤的一个关键点。  相似文献   

12.
研制了一种采用氮化硅/二氧化硅/氮化硅复合膜作为支持薄膜的高Q薄膜体声波谐振器.当采用单层氮化硅膜或二氧化硅膜作为谐振器的支持薄膜时,由于残余应力的作用,释放完的薄膜往往会出现褶皱的现象,极大地降低了薄膜体声波谐振器的Q值;上述复合膜结构有效地解决了这个问题.采用直流磁控溅射法制备了氧化锌压电薄膜,X射线衍射结果表明制备的氧化锌薄膜具有很好的c轴择优取向,意味着氧化锌薄膜具有较好的压电性.S参数测试结果表明该薄膜体声波谐振器在0.4~2.6GHz的频率范围内具有3个明显的谐振模式,计算了这些谐振模式的串联谐振频率、并联谐振频率、有效机电耦合系数和Q值.在这3个模式中,第3个谐波模式的工作频率约为2.4GHz,具有最高的Q值(约为500),可用来制备2.4GHz的低相噪射频振荡源.  相似文献   

13.
The equivalent circuit modelling technique is used to study the resonant frequency and Q factor of plane parallel Fabry-Perot cavities with square aperture metal mesh mirrors. Comparison of different models found in literature with experimental data in the 60 GHz band is given for thin and thick cavities. Chen's model is shown to give a good agreement with measurements, as long as the cavity is not too selective and for large enough cavity.  相似文献   

14.

In this paper, a rectangular triple-band microstrip antenna has been designed for Bluetooth application by successively loading notches and slots of different dimension in radiating patch. The conventional microstrip antenna suffers with narrow impedance bandwidth. The current work affords an alternate option to enhance the bandwidth of antenna that resonates in triple-band operation. Initially, the antenna is resonating in single-band but after loading slots, the bandwidth of microstrip antenna has been obtained 1.97% (lower band), 10.35% (middle band) and 33.16% (upper band) resonating in triple-band with three resonant frequency at 1.422 GHz (lower resonant frequency), 1.791 GHz (middle resonant frequency) and 2.467 GHz (higher resonant frequency). The suggested antenna has upper frequency band in the range of 2.045–2.858 GHz resonating at 2.467 GHz frequency and it is appropriate for Bluetooth applications (2.40–2.48 GHz) and both lower band useful for other wireless (L-band) applications. The return loss of upper band is ??34.52 dB at 2.467 GHz. The suggested microstrip antenna is directly fed by 50 ohm microstrip line feed. The suggested antenna has been designed, simulated and analyzed by IE3D simulation software.

  相似文献   

15.
6~18 GHz超宽带微带均衡器设计与实现   总被引:1,自引:0,他引:1  
6~18GHz超宽带微波组件幅频特性起伏比较大,采用幅度均衡器可有效改善增益平坦度,使其满足指标要求。根据谐振理论和传输线理论进行了6~18GHz超宽带微带幅度均衡器设计。利用ADS和HFSS仿真,采用λ/4的开路微带线和薄膜电阻构成谐振频率可调、品质因数可调、带宽可调以及均衡量可调的谐振单元,同时增加适当的调节块对谐振频率进行微调,设计出满足指标要求的小尺寸样件,得到了所需的均衡曲线。实验表明,可以在这个频段上高效、准确、灵活地设计出所需均衡器。  相似文献   

16.
研究了一种应用于铷原子频标的磁控管腔,其中包括磁控管腔的主要特征和参数计算,测试结果与计算理论吻合较好,所设计的磁控管腔能够满足铷原子频标的设计要求。  相似文献   

17.
高Q超导谐振腔的实验研究   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
针对频率标准用超导腔的设计,通过理论分析及CST仿真优化得到了一种高Q纯铌超导谐振腔的设计。所设计超导腔工作模式为TM010模,谐振频率为4.452GHz,Q值在液氦温度4.2K时达到3.4×107,在减压降温到2K左右时达到1.9×109,实验结果与设计结果一致,验证了设计的正确性和实验装置的可行性。  相似文献   

18.
采用直流磁控反应溅射,在Pt电极上沉积了AlN压电薄膜,并制备了以SiO2为声反射层的体声波谐振器。用X-射线衍射(XRD)、电镜扫描(SEM)、原子力显微镜(AFM)测试表明,制备出的AlN薄膜具有高c轴择优取向、良好的柱状晶结构以及平滑的表面;用网络分析仪测试体声波谐振器得到较好的频率特性,即串、并联谐振频率分别为1.22 GHz1、.254 GHz,机电耦合系数为6.68%,带宽20 MHz。  相似文献   

19.
席锋 《激光与红外》2013,43(6):663-667
一维异质结光子晶体包含两个基本单元结构,其中每个单元都由一种特异介质和常规介质层叠构成.利用传输矩阵法,通过数值模拟得出两种不同异质结光子晶体的透射谱.在1.0 ~ 10.0 GHz频率范围内,(AB)6(CD)4结构的透射谱中出现了三个光子带隙,但带隙中没有谐振模;而在(《AB)6(CD)4)2结构的透射谱中,在三个光子带隙内均出现谐振模.在第一带隙内,随着入射角的增大,TE波和TM波的谐振模数目均减少且谐振模发生频移.其中对于TE波,在2.40 GHz附近出现了全向谐振模.  相似文献   

设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号