共查询到20条相似文献,搜索用时 109 毫秒
1.
2.
3.
4.
5.
《洁净与空调技术》2017,(3)
臭氧氧化和紫外辐照工艺组合联用的高级氧化技术几乎可以无选择性将有害有机化学污染物氧化成二氧化碳、水或矿物盐等无害的无机物,被广泛应用于难降解有机物的消除净化。基于185 nm和254 nm两种波长的UV灯组合进行室内有害化学污染物降解实验研究,实验表明:UV灯组合能有效降解室内低浓度甲醛(0 mg/m~3~1.000mg/m~3);254 nm UV灯协同作用下甲醛降解效果得到加强,在本实验中CADR增幅达11.95%;湿布加湿中UV灯组合协同降解CADR值可达39.2280 m~3/h。实验中臭氧氧化仍起主导作用,O_3-UV-H_2O协同高级氧化作用有限,仍需进一步优化工艺以提高净化效率,对简便实现室内有害化学污染物高效降解的高级氧化工艺研究具有指导意义。 相似文献
6.
《电子科技文摘》2006,(9)
0622598医用空气灭菌净化装置的灭菌净化效果实验检测[刊,中]/谢森林//洁净与空调技术.—2006,(5).—55-57 (G) 0622599重症监护病房环境控制依据与实施[刊,中]/沈晋明//洁净与空调技术.—2006,(5).—48-51(G) 0622600洁净室气态分子污染物的监测技术[刊,中]/田世爱//洁净与空调技术.—2006,(5).—12-17(G)随着微电子工业工序复杂性的增加和产品尺寸的不断缩小,气态分子污染物(AMC)对产品的影响成为洁净室环境控制中重点关注的问题。文章介绍了洁净室中AMC的定义,重点阐述了AMC的监测技术。参10 相似文献
7.
8.
介质阻挡放电与脉冲电晕放电净化气态污染物的试验研究 总被引:5,自引:0,他引:5
利用自行研制的介质阻挡及脉冲电晕放电低温等离子体发生器对空气中氨、硫化氢、甲苯等5种气态污染物进行净化,并探讨了两种放电方式的原理和特点。试验结果表明:与介质阻挡放电相比,脉冲电晕放电具有更好的净化效果。 相似文献
9.
10.
11.
Tobimatsu H. Inoue Y. Seto T. Okuyama K. Fujii T. Shibahara K. Yokoyama S. Hirose M. 《Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on》1998,11(1):9-12
We have previously reported that UV/photoelectron method, in which particles are charged by photoelectrons emitted from the UV irradiated metal surface and collected on the electrodes by the electric field, is effective to collect particles in the gas phase. This paper represents that the UV/photoelectron method is effective not only to collect particles but also to reduce the gaseous contamination such as hydrocarbon or organic compounds and water molecules. By using the UV/photoelectron method the carbon atom concentration on the Si surface is reduced to 1/4 compared with that stored in the clean room for the storage period of about 40 h. The oxygen concentration is reduced to 1/7 in the same condition 相似文献
12.
针对高功率固体激光装置反射镜表面的颗粒引起的损伤问题,分别进行离线实验和在线实验,采用风刀及暗场成像系统相结合研究表面颗粒去除率。研究结果表明:当风刀偏转角度为0°且风刀距离大口径反射镜镜面10 mm时,对灰尘颗粒的去除效果最好,可达96.5%,而对相同尺寸的Al2O3颗粒和Fe颗粒效果次之,对SiO2颗粒效果最差,在线平均去除率可达84.9%。通过对反射镜表面颗粒污染物的在线沉积规律研究表明采用风刀吹扫技术一周洁净一次可实现反射镜表面长期洁净,该技术可推广至大口径高能激光装置及未来超大型高功率激光装置中。 相似文献
13.
一种新型聚合物微透镜阵列的制造技术 总被引:4,自引:1,他引:3
提出了一种利用软模压印制备微透镜阵列的技术.采用传统的光刻胶热熔方法制备微透镜阵列母板,利用复制模具的方法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)上得到一个和母板表面图形相反的模具,最后通过压印的方法把PDMS模具上的图形转移到涂有紫外固化胶的玻璃基片上,待紫外胶完全固化后可得到和母板一致的微透镜阵列.经过测试微透镜阵列的焦点图像和表面形貌可发现最后制备的微透镜阵列表面形貌均匀、聚焦性能良好、光忖强均匀. 相似文献
14.
针对单组分毒气痕量浓度检测,采用透射式吸收光谱检测手段,改进了单纯基于Beer-Lambert定律的检测机理,以金属卟啉为气敏材料设计了阵列式毒气反应腔体,并将其与USB4000光谱仪配接,实现了毒气痕量浓度的检测;最后应用检测仪测得了单组分气态甲基磷酸二甲酯(DMMP)毒气模拟品的吸收光谱,对光谱数据进行了Savitzky-Golay卷积平滑法滤波和一阶导数法寻峰,并以最大吸收波长进行了仪器标定和DMMP痕量浓度预测实验,实验结果表明DMMP在0~1050ppm浓度区间预测效果满足要求,预测值和参考值线性相关。 相似文献
15.
16.
This experiment was required the base technology's of micro packaging technology, micro fluidic technology, micro optical technology and electricity signal processing technology. This experiment emphasizes Bio-MEMS (micro electro mechanical system) technology and application. Material of chip was used the hydrophilic properties of good glass more than that of PDMS (poly dimethylsiloxane) and PMMA (poly methyl methacrylate). Method to use in chip manufacture is the BOEM (buffered oxide etchant method), ECDM (electro chemical discharge method) and UVAM (UV sensitive adhesives method). It is possible to measure the characteristics of various DNA. Therefore, those applications may be useful in other MEMS technology and optical science of biotechnology field [H.M. Shapiro, M.D, Practical Flow Cytometry, third ed., 1995; Z.D. kiewicz, J.P. Robinson, H.A. Crissman, Flow Cytometry, second ed., 1995]. 相似文献
17.
Christopher James Bool Gary Bond Mike Richardson Jun Qiao 《The Journal of microwave power and electromagnetic energy》2007,41(3):14-20
This paper describes the development of a microwave plasma reactor for the oxidation of gaseous organic contaminants in air. The reactor was designed such that plasma could be sustained at atmospheric pressure or greater with an effluent gas flow rate of up to 2000 l/min. The oxidation of methane was chosen as the test reaction for laboratory studies. 相似文献
18.
19.
利用原子光刻的方法制备纳米结构的光栅已经成为了一种较为成熟的工艺。通过原子与激光驻波场的相互作用,利用原子自生在势能场中的偶极力对原子的密度进行调制,从而得到所需要的光栅结构。利用此种工艺所制备的光栅相对于传统工艺来说具有精度高,光栅常数直接溯源于原子能级。希望能够通过对激光的改良来提升原子沉积结果。通过双层驻波场来提高原子沉积质量已经被多次提到。实验中利用几何光学的方法实现了所需要的新型激光驻波场。并对其汇聚,相干等特性进行了研究,取得了较为满意的结果。为利用双层驻波场来沉积原子打下了基础。 相似文献
20.
针对表面沾染探测中存在的不足,提出亮温光谱法。通过高灵敏度红外遥测光谱仪非接触探测获得沾染物的辐亮度光谱,利用光源和沾染本底的高发射率特性,通过普朗克公式转换得到亮温光谱,直接获得沾染物特征信息。无需预测沾染本底,特别适合已中毒事故现场。首先讨论该方法的探测原理,然后分别使用亮温光谱法和背景扣除法对铝板表面的沾染物二甲基硅油(Poly(dimethylsiloxane),PDMS)和磷酸三乙酯(Triethyl phosphate,TEP)进行探测。结果表明,亮温光谱法提取出的沾染物的特征与背景扣除法的相同,可准确识别沾染物类型,同时避免了背景扣除法对背景光谱的依赖。该方法简单可靠,测试迅速,有很大的应用潜力。 相似文献