硅基PZT压电薄膜微传感器的结构设计和实验研究

对硅基锆钛酸铅(PZT)压电薄膜微传感器进行了结构和版图设计.根据MEMS加工工艺和标准硅基IC工艺的特点,获得了硅基PZT压电薄膜微悬臂梁结构系统工艺流程中的关键工艺技术和典型工艺条件.对PZT压电薄膜的制备和微细图形化进行了较为详细的实验研究,最后成功地制备出硅基PZT压电薄膜微传感器样品.这对集成化芯片系统的进一步发展打下了良好的实验基础.     

硅基PZT压电薄膜微传感器的结构设计和实验研究

对硅基锆钛酸铅(PZT)压电薄膜微传感器进行了结构和版图设计.根据MEMS加工工艺和标准硅基IC工艺的特点,获得了硅基PZT压电薄膜微悬臂梁结构系统工艺流程中的关键工艺技术和典型工艺条件.对PZT压电薄膜的制备和微细图形化进行了较为详细的实验研究,最后成功地制备出硅基PZT压电薄膜微传感器样品.这对集成化芯片系统的进一步发展打下了良好的实验基础.     

光干涉法测量压电陶瓷压电特性

用待测压电陶瓷来控制迈克尔逊干涉仪其中一臂上的全反镜的位置,分析得出由于光学干涉作用,迈克尔逊干涉仪输出的光功率与压电陶瓷伸长量一一对应.又因为带有本征层的光电探测器输入光功率与输出电压成正比,所以再利用双踪数字示波器就可巧妙测量压电陶瓷的压电特性.从数字示波器记录的干涉图可直观地发现在不同电压下压电陶瓷伸长半个光波长所需要增加的电压.从数字示波器记录的数据可得压电陶瓷所加电压与其伸长量的对应关系.     

压电陶瓷光纤相位调制控制系统的研制

压电陶瓷光纤相位调制器是光纤傅里叶变换光谱测量系统中的核心器件之一,压电陶瓷驱动控制系统的输出电压特性决定了压电陶瓷光纤相位调制器的多种性能,如线性、分辨率、动态特性等,从而对光纤傅里叶变换光谱测量系统的光谱分辨率、测量速度和系统噪声等重要指标产生影响.应用复杂可编程逻辑器件(CPLD)、复合高压运放和单片机等先进电子技术设计压电陶瓷光纤相位调制控制系统.实验表明,该系统加载压电陶瓷容性负载后,在设定的频率范围内显示出了较好的动态特性与线形度,能很好地满足光纤相位调制技术对压电陶瓷工作电压波形的要求.     

PZT基压电陶瓷精密控制机理研究

本文论述了压电陶瓷的基本原理及其特性、驱动方法,并设计了压电陶瓷压电特性的开环测量方案.测量过程中应进一步调整光学平台的稳定性.设计了光电接收放大器.还运用共焦腔干涉方案详细分析了压电陶瓷的压电特性.     

PVDF压电系数d31受温度影响的试验测定

为获得PVDF薄膜压电系数d31在不同温度时的值,采用了准静态拉伸的直接测量技术.简要介绍了准静态拉伸的测量方法及其试验装置,给出了试验结果.通过试验,精确地测定了PVDF在温度范围为-20～+70℃内压电系数d31的值,同时试验也表明,准静态拉伸测量薄膜压电特性的试验方法简单可靠,测量结果合理.     

光声检测用压电陶瓷和传感器

本文根据光声效应产生的机理,说明了压电光声检测用于凝聚态物质的优点,详细地介绍了光声检测用压电材料的物理性能和传感器结构,并列出了在不同应用中的选用原则.     

射频溅射c-轴取向氧化锌压电薄膜的研制

ZnO压电薄膜是一种很有实用价值的压电薄膜材料.本文概述了ZnO压电薄膜的特性、用途.着重叙述了ZnO压电薄膜的制作方法及影响因素,还叙述了用这种方法制作的ZnO压电薄膜在器件上的应用情况.     

一种新型的径向振动高频压电陶瓷复合超声换能器

 本文研究了一种新型的径向振动压电陶瓷高频复合超声换能器.该换能器由一个压电陶瓷圆环和一个嵌于其内部的金属圆盘复合而成.首先对压电陶瓷圆环及金属圆盘的径向振动进行了简单分析,推出了其机电等效电路和共振频率方程,分析了压电陶瓷圆环的几何尺寸对其共振及反共振频率的影响.在此基础上,分析了由压电陶瓷圆环和金属圆盘组成的复合换能器的径向振动,得出了其复合机电等效电路和共振频率方程.研究分析表明,对于具有相同外半径的压电陶瓷圆盘和压电陶瓷圆环,压电陶瓷圆盘的径向振动共振频率高于压电陶瓷圆环的径向共振频率,并且,压电陶瓷圆环的内半径越大,其径向共振频率越低.当在压电陶瓷圆环内部嵌入一金属圆盘而组成一径向复合超声换能器时,其径向共振频率高于压电陶瓷圆盘的径向共振频率,从而达到了提高换能器共振频率的目的.研制了一些径向复合高频超声换能器,并对其共振频率进行了测试,测试数据证明了理论结果的正确性.     

加速度和压力传感器

本文叙述利用压电现象构成压电加速度和压力传感器的原理、结构性能.压电加速度传感器主要叙述压电振动加速度表和压电陀螺角加速度表.压电压力传感器主要叙述压电压力表和声表面波压力表.压电压力表主要叙述切削动力表、内燃机汽缸内压表和助听器用的微音器等.     

关于新材料科技发展的思考

材料是在社会改革与进步中具有重要的作用,不仅使其物质基础,还是社会进一步发展的先导.在现代化科学技术的发展中,新材料技术得到较好的发展.并且,传统产业技术的发展与完善,也需要新材料技术的支持.我国对新材料的研究比较重视,在科技发展的规划中均得到体现.新材料的科技发展能够为我国的国民经济与社会的发展提供较好的依据,因此需要对新材料科技发展进行详细的分析,以便促进其发展.本文就新材料科技发展的重要性进行阐述,并对其发展趋势进行分析,从而探讨新材料科技发展的措施,有效的促进新材料科技发展水平的提高,为了我国经济与社会的发展提供贡献.     

基于SOA体系结构的软件开发方法研究

与传统的体系结构相比,SOA体系结构具有不可忽视的优越性,SOA体系结构更有利于软件开发。随着技术的不断发展,软件开发方法研究项目日益深入。SOA体系结构的软件开发方法逐渐增多,减弱了软件开发程序的复杂程度,简化了许多步骤,进一步提高了软件开发的质量。为了更好地运用SOA体系结构进行软件开发,文章对基于SOA体系结构的软件开发方法进行了研究和分析。文章对基于SOA体系结构的软件开发方法进行了分析和研究,对SOA体系结构的基本概念和优点进行了讨论分析。之后对在SOA体系结构基础上的软件开发中的问题进行了分析和研究,并对SOA体系结构的高效性举例进行说明。     

瀑布开发与敏捷开发中测试与开发的配合

传统的瀑布开发方式对于如何应对频繁变化的软件需求有明显的不足,部分电力行业或工控行业的软件开发公司正转向使用敏捷开发方式。而敏捷开发方式中对测试工作的要求不能从互联网企业的敏捷开发方式中生搬硬套过来。本文对比了瀑布开发方式中测试与开发的配合流程,提出了适用电力或工控等传统行业的敏捷开发方式中测试如何与开发配合的建议。     

基于J2EE的网络信息系统轻量级开发方案的研究

随着信息化的发展,基于大型网络信息系统的复杂性与应变能力弱的特点,出现了许多相应的解决方案。在研究目前系统开发技术和规律的基础上,分析和阐述一种轻量级开发的概念和原则,给出系统实现的技术模式,并以Spring,Struts,Hibernate技术框架的整合构建系统整体的工作流机制,展示轻量级开发的优势。实践证明,轻量级开发降低了系统开发的难度,提高了代码复用性,使系统具有良好的可维护性和可扩展性。     

分层技术在计算机软件开发中的应用

计算机软件开发属于目前我国计算机技术发展中的重要工作,合理开展计算机软件的开发是促进国家网络技术领域快速发展的核心举措。分层技术属于当前较为先进的软件开发技术,可为软件开发提供更多帮助。因此,我国的具体软件开发应该积极使用分层技术,在诸多分层技术的帮助下提升整体的软件开发水平。     

智能终端跨平台应用开发技术研究

目前智能手机和平板电脑等主流智能终端使用的操作系统包括Android、iOS、Windows Phone等,各类操作系统平台在开发语言、开发工具等方面存在差异,导致应用移植困难、开发周期长等问题。跨平台应用开发技术可以让开发者一次开发应用,运行在多终端平台下,降低了应用开发周期和成本,促进移动互联网应用产业链快速发展。本文分析主流跨平台开发技术现状,提出下一代跨平台开发构想,并深入探讨其实现方案,最后展望其后续发展前景。     

中国有线数字的发展对策研究

随着社会经济和科学技术的不断发展,我国的有线数字电视的发展速度也越来越快,但是因为我国还处于有线数字电视发展的一个初级阶段,所以,在其快速发展的同时也伴随着一些问题的出现.本文通过析详细分析我国有线数字电视的发展状况,以及在发展过程中存在的各类问题,探讨解决问题的对策和方法.旨在为我国有线数字电视的发展、管理等提供参考.     

一种改进的Scrum敏捷软件开发方法

文章首先根据软件开发过程控制发展趋势,介绍在现代软件开发中敏捷开发在提高软件质量和开发效率方面发挥的作用,进而着重介绍一种敏捷方法Scrum.通过使用Scrum方法,使得在实际应用中的项目成本、质量、客户和员工满意度都得到了改善和提高.但是,随着Scrum使用的深入,作者发现Scrum有一些缺陷和不太清晰的方面,文章即...     

基于过程控制的导引头系统软件开发流程

提出一种新的导引头系统软件开发流程,强化了软件开发的分阶段过程控制和管理,建立了相对稳定的软件开发过程,改变了传统软件开发"说做就做"的初始级软件开发模式,克服了传统软件开发无序、混乱的开发状态。在缩短系统软件开发周期的同时,提高了整个系统软件的可靠性和稳定性。     

我国城市在信息多元化发展中的体育经济作用研究

发充分发挥体育产业的积极作用服务于经济社会发展就要求把发展全民健身奥运争光等体育事业与推动体育产业的快速健康发展并举,而体育产业与体育事业的结合就是体育经济体育经济是一种经济发展类型是一种经济运行模式是一种特殊经济运行体系城市是育产业发展的腹地城市发展与体育经济相互促进(体育经济与国家发展战略社会发展需求和城市发展紧密联系其科学发展意义深远。