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以高纯三氟化氮为原料气,分别使用红外光谱法及质谱法对其进行定性分析,再利用气相色谱仪及露点仪对其中的杂质进行定量检测,通过质量平衡法测定了原料气的纯度。通过重量法制备氦中三氟化氮气体标准物质,并通过均匀性实验、稳定性实验、重量法定值和不确定度评定对氦中三氟化氮气体标准物质进行了研究。结果表明,其均匀性和稳定性满足F检验和t检验要求,符合标准物质的技术规范,所制备的氦中三氟化氮标准物质具有良好的均匀性和足够的稳定性,相对扩展不确定度为2. 0%(k=2)。该系列气体标准物质可望用于相关仪器的检定校准及半导体生产等相关行业的气体报警器的标定和检测。 相似文献
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针对汽车排放污染检测要求,分析了NDIR分析仪的检测原理,设计了基于热释电器件的NDIR分析仪传感系统。对红外传感器件进行了选择和等效电路分析,进行了传感系统总体设计。该系统精度和灵敏度高,响应速度快,测量范围宽,选择性、稳定性和可靠性好,可以实现快速和在线连续式检测,能较好地满足各种用户的需要。 相似文献
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在对电解法制三氟化氮(NF_3)的粗气采样检测中,采用负压式自动采样装置并选用合适的干燥器采样,避免了用双联球采样方式中双联球被腐蚀而堵塞的缺陷。实验结果表明,采用负压式采样检测可有效提高采样效率和分析结果的准确性,且分析结果重复性良好,适用于电解法制备NF_3电解槽粗气的快速取样分析。 相似文献
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《化学推进剂与高分子材料》2016,(5):94-99
正黎明院三氟化氮产能跻身全国第二日前,黎明化工研究设计院有限责任公司(简称黎明院)与韩国大成公司合资建设的1 000 t/a三氟化氮(NF3)项目,全面建成并达到设计能力,再加上原有200 t/a的中试装置,黎明院拥有NF_3总产能1 200 t/a,成为中国第二大NF3生产商。 相似文献
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《精细与专用化学品》2000,(18)
至2002年三井化工公司NF_3 产能将扩大1倍 1999年全球三氟化氮(NF_3)的需要量约为400t,预计到2000年将翻一番,达到800t。针对市场旺盛需求,日本三井化工公司决定采用一步电解法扩大NF_3的生产能力。今年2月,该公司已将其美国安得松(Anderson)开发分公司NF_3装置改造扩大至50t/a。今年7月,又将其日本下关装 相似文献
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胡长诚 《化学推进剂与高分子材料》2002,(6):1-6,9
介绍了国外各有关公司近年来三氟化氮(NF_3)生产发展概况;介绍了三氟化氮主要制备方法——氟氨直接化合法和氟化氢铵熔融盐电解法的基本原理、工艺技术以及研究开发进展;介绍了高纯三氟化氮典型质量指标及精制提纯方法研究进展。主要介绍国外专利技术。 相似文献
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最近,气体等离子处理技术明显进步,在SF_6和CF_4气体蚀刻剂的基础上,又开发了NF_3蚀刻剂。用NF_3蚀刻能耗低,因为N-F结合能比S-F和C-F结合能小;蚀刻反应产物是气体,所以可以真空操作,没有污染;对感光树脂的蚀刻速度也比CF_4大。会成NF_3的方法有化学法和电解法。化学法是在130~150℃F,将氨和氟直接通入熔融的氟化铵中,直接氟化制得产品。产品纯度大于99.5%;比电解法节能20—25%;过程中没有氢发生,生产安全;副 相似文献
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随着工业品的广泛应用,环境应急事故的处理也越来越多地摆在各级政府、事故处理队伍的面前。如何在事故发生之前对有毒有害气体进行监控、在事故发生过程中对有毒有害气体进行跟踪,在事故发生后对环境和人员残留进行检测,科学合理地指导现场及周边人员进行有效的个人防护,这也是气体检测仪器在环境应急事故中的最基本的应用。本文从电化学传感器工作原理的角度出发,介绍了电化学传感器在应急救援方面的应用及特点,并从电化学传感器与纳米技术相结合、电化学传感器的微型化和集成化以及结合有毒有害物质对人体伤害原理研制生物电化学传感器等三方面阐述了电化学传感器在应急救援方面的应用发展前景。 相似文献
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根据NF_3和HF在红外光谱上的差异性,建立利用傅里叶变换红外(FTIR)法测定NF_3中HF的分析方法。HF有8个特征吸收峰,为避免检测过程中水蒸气的掩盖作用,选定在4038.96cm~(–1)处的红外光谱吸收峰作为HF分析的定量标准峰。并据此建立起HF吸光度–浓度的标准曲线,通过测定NF_3成品1、2、3的数据,得到测定结果的相对偏差分别为0.88%、0.72%、1.00%,相对标准偏差分别为1.18%、0.95%和1.38%,均低于2%。由此可知方法的准确度和精密度均可满足分析要求,从而建立起准确可靠的测定NF_3中微量HF的分析方法。 相似文献
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《化学推进剂与高分子材料》2021,(3)
简要介绍了新型电子气体三氟化氯(ClF_3)的发展历史及其物化性能,主要介绍了ClF_3的制备方法及其在电子工业中的应用,指出ClF_3作为一种新型含氟电子气体,可用于化学气相沉积反应室原位清洗,以替代传统上使用的全氟烃及在某些场合下替代NF_3;ClF_3的高化学活性提高了其对半导体材料的蚀刻速率,在第三代半导体材料(如Si)中也具有应用前景。 相似文献
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离子液体作为一种新型电解质,有着优良的电化学性能,有望解决电化学气体传感器在高温、高湿下使用寿命短、稳定性差等问题。本文按照被检测气体种类对离子液体作为电解质的电流型电化学气体传感器进行了综述,就其在不同气体中的灵敏度、电化学响应、稳定性、气体传质、反应机理等方面的研究加以阐述。从灵敏度、响应时间、稳定性、选择性、抗干扰性等方面介绍了离子液体电化学气体传感器的优缺点,并对目前离子液体电化学气体传感器研究中存在的不足做了评述。同时指出未来应该加强在大气条件下电化学气体传感器性能、响应机理和电化学反应历程的研究。 相似文献
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本文通过对现有红外气体传感器的结构、光学系统的分析,结合矿井的实际情况,提出了适合煤矿井下使用的红外气体传感器的结构及光学系统的设计,以及实现方法,对矿井红外气体检测仪器的研发具有重要的指导作用. 相似文献
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三井东压化学工业公司1989年12月14日发表正式开始生产高纯三氟化氮。按“化审法”该产品日本全国限量生产仅有一吨,最近限制解除后,公司考虑建立稳定供应体制,在彦岛工厂内,投资2—3亿日元,建立生产能力为5吨/年的装置。 NF_3是干蚀剂用气体,与历来用的四氟化碳、六氟化硫相比,蚀刻速度快,没有炭、硫固体挥发物的污染。作为下一代气体材料引人注目。超LSI集成线路的高精度化,要求气体材料高纯化。为此三井东压公司提供样品的 相似文献