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四氯化硅作为西门法高纯多晶硅生产中产量最大的副产物,是一种具有强腐蚀性的毒害物质。目前,国内多晶硅的大规模生产即将兴起,解决其副产物四氯化硅的最有效的方法是转化为三氯氢硅。着重介绍了热氢化、冷氢化、氯氢化、等离子体氢化等国内外四氯化硅氢化技术的工艺特点和研究进展。 相似文献
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介绍了目前国内外电子级多晶硅生产技术的发展状况,重点说明了改良西门子法电子级多晶生产技术原理及其工艺流程,主要包括:氢气制备及纯化、氯化氢合成、低压氯化(三氯氢硅合成)、低温氢化(四氯化硅转化)、精馏、CVD还原、尾气回收和后处理等工序。结合电子级多晶硅生产技术的成功工程应用实践,介绍了电子级多晶硅项目的技术特点。 相似文献
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四氯化硅利用:氯氢化技术最理想 总被引:1,自引:0,他引:1
近两年,采用改良西门子法技术建造大型多晶硅装置受到了国内投资者的热捧,但随着产生的多晶硅副产物--四氯化硅的处置却成为多晶硅产业发展一道难以迈过的"槛",让多晶硅行业戴上了高污染的"帽子".为此,国内外都在努力探索有效利用四氯化硅的理想途径.其中,氯氢化技术作为一条实现多晶硅产业密闭循环的有效途径,开始得到越来越多业内人士的认可. 相似文献
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近年来太阳能行业的快速发展带动太阳能级多晶硅行业高速增长,我国太阳能级多晶硅产业进入了一个发展平台期。价格大幅回落让多晶硅产业告别了暴利时代,因为多晶硅生产的高能耗、产能过剩、四氯化硅处理困难等原因,国家出台了一系列准入制度,抬高了多晶硅生产的准入门槛。多晶硅利润不断被压缩,多晶硅企业之间从产能之争慢慢转变为质量竞争。因此多晶硅产品的质量好坏直接决定了企业的命运,如何提高多晶硅质量成为业内关注的焦点。本文在氢气压缩机对多晶硅质量影响方面进行探讨,并给出几点改进意见。 相似文献
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甘棠 《精细与专用化学品》2009,17(22):3-3
9月26日发布的国发38号文件引起的争议仍在继续。
该文件明确提出.“新建多晶硅项目规模必须大于3000吨/年,占地面积小于6公顷/千吨多晶硅,太阳能级多晶硅还原电耗小于60千瓦时/千克,还原尾气中四氯化硅、氯化氢、氢气回收利用率不低于98.5%、99%、99%”,同时提出“引导、支持多晶硅企业以多种方式实现多晶硅-电厂-化工联营,支持节能环保太阳能级多晶硅技术开发,降低生产成本”,“到2011年前,淘汰综合电耗大于200千瓦时/千克的多晶硅产能”。 相似文献
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还原高频电源技术、硅烷流化床法和气液沉积法,可与改良西门子法工艺技术有机结合生产多晶硅,对解决目前国内多晶硅所面临的生产成本高、产品质量低下等问题具有非常重要的意义。本文总结了改良西门子法、硅烷流化床法和气液沉积法生产多晶硅的工艺技术,分析了各自的优缺点和发展方向。指出了目前的改良西门子法核心设备的改进方向和应用还原高频电源技术、硅烷流化床技术需在加热方式上做进一步开发研究,气液沉积法可与现有的多种工艺技术相结合形成多种工艺路线,其中二氧化硅经碳热氯化法制备四氯化硅后,与氢气还原四氯化硅法相结合制备多晶硅,是值得研究开发的一种新工艺路线。该工艺路线不仅工艺流程大大缩减,而且四氯化硅的提纯比其他氯硅烷更容易,生产的多晶硅产品质量更高、成本更低。 相似文献