微波ECR氧等离子体参数测量

利用双探针对微波ECR氧离子体参数进行了诊断研究,测量了等离子体的双探针伏安曲线并计算出电子温度和离子密度,分析了气压、微波功率、氧气流量等参数对等离子体参数的影响．结果表明：a．随着气压的升高,等离子体密度先增大后减小,电子温度逐渐减小．b．等离子密度随微波功率的增加先增加后达到饱和,电子温度受微波功率影响很小．c．随着氧气流量的增加,等离子体密度和电子温度都减小．     

微波ECR氧等离子体参数测量

利用双探针对微波ECR氧离子体参数进行了诊断研究,测量了等离子体的双探针伏安曲线并计算出电子温度和离子密度,分析了气压、微波功率、氧气流量等参数对等离子体参数的影响.结果表明:a.随着气压的升高,等离子体密度先增大后减小,电子温度逐渐减小.b.等离子密度随微波功率的增加先增加后达到饱和,电子温度受微波功率影响很小.c.随着氧气流量的增加,等离子体密度和电子温度都减小.     

微波ECR等离子体溅射沉积TiN薄膜的研究

用微波电子回旋共振（ＥＣＲ）等离子体溅射法在常温下制备出优质的ＴｉＮ薄膜．采用静电探针技术，对ＥＣＲ等离子体进行了诊断，研究了等离子体参数与装置运行参数之间的关系，探讨了等离子体参数对成膜工艺过程的影响．     

多晶硅的ECR等离子体刻蚀

报道了用CF4作工作气体的ECR刻蚀poly－Si技术，研究了微波功率、气体流量、气压和射频偏置功率对刻蚀速率的影响，并对实验结果进行了讨论，实验中微波等离子体功率范围在100－500W，CF4气体流量在10－50cm^3/min（标准状态下）范围，气压在0.25-2.5Pa范围，射频偏置功率在0－300W范围，对应的刻蚀速率为10.4-46.2nm/min。     

微波ECR等离子体中铝合金的全方位氮离子注入

使用微波ECR等离子体对LD10铝合金材料进行全方位氮离子注入。AES深度分布结果表明,在30KV注入电压下,注入深度约有150mm。对相互垂直的两不同表面进行的硬度分析表明,全方位氮离子注入对试样的不同表面改性效果相同,硬度均获得明显提高。     

ECR等离子体刻蚀对玻璃光学和润湿性能的影响

为了提高太阳能电池盖板玻璃的透过率和自清洁性能,采用电子回旋共振( ECR)等离子体刻蚀与金属颗粒掩膜结合的方法刻蚀硼硅酸盐玻璃,采用扫描电镜( SEM)对刻蚀后玻璃表面形貌进行了观察,采用分光光度计测量了刻蚀前后玻璃透过率变化,并用接触角仪测定了刻蚀前后玻璃表面润湿性变化. 结果表明:经过ECR等离子体刻蚀后,在玻璃表面形成多山峰状纳米结构,平均尺寸约在80～140 nm,并有效提高了玻璃的可见光透过率,尤其是在有偏压刻蚀后透过率由原来91%提高到94. 4%,同时,玻璃表面亲水性增强,接触角θc由原来的47. 2°变为7. 4°,自清洁性能得到提高.     

微波电子回旋共振等离子体溅射法沉积ZnO薄膜

ＺｎＯ薄膜具有强的压电和光电效应，广泛用于制作各种声电和声光器件中．本文报道了用微波ＥＣＲ等离子体溅射法沉积了ＺｎＯ薄膜，并研究了该法制备ＺｎＯ膜的工艺．结果表明，所形成的ＺｎＯ膜的性质强烈地依赖于溅射沉积条件．     

真空波导磁场控制型ECR溅射法的实验研究

微波电子回旋共振（ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｃｙｃｌｏｔｒｏｎ ｒｅｓｏｎａｎｃｅ，ＥＣＲ）等离子体溅射法是能在低温下制备高质量薄膜的最高镀膜技术。在该技术中，微波输入窗口易受金属粒子污染，导致微波在窗口反射，从而影响装置的正常工作。本文初步探讨了在ＥＣＲ溅射装置中，采用真空波导与共振腔连成一体，在连接处配置磁轭（纯铁），通过改变共振腔与波导连接处的磁场分布，能有效地避免微波窗口污染的技术途径，并较细致的     

ECR等离子体刻蚀对玻璃光学和润湿性能的影响（邀请论文）

为了提高太阳能电池盖板玻璃的透过率和自清洁性能,采用电子回旋共振(ECR)等离子体刻蚀与金属颗粒掩膜结合的方法刻蚀硼硅酸盐玻璃,采用扫描电镜(SEM)对刻蚀后玻璃表面形貌进行了观察,采用分光光度计测量了刻蚀前后玻璃透过率变化,并用接触角仪测定了刻蚀前后玻璃表面润湿性变化.结果表明:经过ECR等离子体刻蚀后,在玻璃表面形成多山峰状纳米结构,平均尺寸约在80~140 nm,并有效提高了玻璃的可见光透过率,尤其是在有偏压刻蚀后透过率由原来91%提高到94.4%,同时,玻璃表面亲水性增强,接触角θ_c由原来的47.2°变为7.4°,自清洁性能得到提高.     

真空波导磁场控制型ECR溅射法的实验研究

微波电子回旋共振（delectroncyclotronresonance．ECR）等离子体溅射法是能在低温下制备高质量薄膜的最新镀膜技术．在该技术中,微波输入窗口易受金属粒子污染,导致微波在窗口反射,从而影响装置的正常工作。本文初步探讨了在ECR溅射装置中．采用真空波导与共振腔连成一体,在连接处配置磁轭（纯铁）．通过改变共振腔与波导连接处的磁场分布,能有效的避免微波窗口污染的技术途径,并较细致的研究了该装置的放电特性。     

The response of plasma parameters and energy transport in the plasma sheet to interplanetary magnetic field Bz

Science China Technological Sciences - We use 9 years data of Cluster to study the dependencies of plasma parameters and energy transport in the plasma sheet on the lasting time of...     

电子回旋共振等离子体技术新进展

叙述了电子回旋共振（ＥＣＲ）微波等离子体技术的基本工作原理，主要特点以及发展概况，着重从ＥＣＲ等离子体实验系统、工艺应用、诊断技术和机理研究等方面对ＥＣＲ技术进行了讨论。由于ＥＣＲ微波等离子体技术具有密度高、电离度大、工作气压低、表面损伤小等特点，在反应离子刻蚀（ＲＩＥ）、等离子体化学气相淀积（ＣＶＤ）和溅射方面具有广阔的应用前景。     

磁场对大鼠血清营养相关生化指标的影响

报道了旋转恒定磁场对大鼠血液生化指标的影响.在强度为0 4T,旋转速率为8Hz的磁场条件下,鼠龄3周的大鼠,磁场每天处理2h,共持续10周,导致血清葡萄糖水平显著下降;鼠龄为10周的大鼠,每天磁场处理2h,共持续4周,则引起血清甘油三酯水平的显著降低,血清高密度脂蛋白水平则显著上升.     

非对易空间中的泡利方程及其能级

非对易空间的量子效应是出现在弦的尺度下的一种物理效应,近年来对于它的研究引起了物理学界极大的兴趣和关注。本文从Moyal—Weyl乘法出发,考虑了坐标-坐标的非对易性,利用非对易空间量子力学的代数关系（Bopp变换）,给出了非对易空间中的泡利方程。在重新定义了消灭产生算符的基础上,在粒子数算符和自旋算符的共同本征态下,计算了非对易空间中电子在电磁场中运动的能级。     

静磁场对鲤鱼冷冻过程影响的实验

实验研究了鲤鱼在静磁场中的冷冻过程,所有样本质量为600～800g,腹部最厚处的尺寸为46～ 52mm。冷冻过程在速冻冷库中进行,冷冻方式为鼓风式冷冻,冷库温度设定为-35℃。施加的磁场强度分别为0G、3.6G、7.2G、10.8G,测量并连续记录冷冻过程中样本表面和热中心的温度。实验结果表明,磁场对鲤鱼不同冷冻阶段的影响规律不同。磁场对鲤鱼冷却阶段的影响较小,对相变阶段有着明显的促进作用,对冻结阶段有延缓作用。     

Preparation and Characterization of DLC Films by Twinned ECR Microwave Plasma Enhanced CVD for Microelectromechanical Systems （MEMS） Applications

Diamond-like carbon ( DLC ) films have recerntly been pursued as the protection of MEMS against their friction and wear. Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique is very attractive to prepare DLC coating for MEMS. This paper describes the preparation of DLC films using twinned electron cyclotron resonance (ECR) microware PECVD process. Raman spectra confirmed the DLC characteristics of the films.Fourier-transform infrared (FT-IR) characterization indicates the carbon is bonded in the form sp^3 and sp^2 with hydrogen partciputiag in bondiag. The surface rougbness of the films is as low as approximately 0.093nm measured with an utomic force microscope. 4 CERT mierotribometer system is employed to obtain information about the scratch resistance ,friction properties, and slidiag wear resistance of the films. The results show the deposited DLC films have low friction and good scratch/wear resistance properties.     

磁悬浮旋翼驱动磁场对支承磁场的影响

通过理论分析以及有限元仿真分析，研究磁悬浮旋翼盘式电机的驱动磁场、磁悬浮系统的支承磁场以及二者之间的相互影响，得到影响的主要因素L₀。提出当关键临界尺寸L₀=11.87 mm时，驱动磁场对支承磁场的影响处于临界状态使其不失稳。通过等效试验对临界尺寸进行了试验验证。根据临界尺寸L₀提出磁悬浮旋翼的设计准则，和一套可行的磁悬浮旋翼设计方案。     

磁悬浮旋翼驱动磁场对支承磁场的影响

通过理论分析以及有限元仿真分析,研究磁悬浮旋翼盘式电机的驱动磁场、磁悬浮系统的支承磁场以及二者之间的相互影响,得到影响的主要因素L₀。提出当关键临界尺寸L₀=11.87 mm时,驱动磁场对支承磁场的影响处于临界状态使其不失稳。通过等效试验对临界尺寸进行了试验验证。根据临界尺寸L₀提出磁悬浮旋翼的设计准则,和一套可行的磁悬浮旋翼设计方案。