超深亚微米集成电路的铜互连技术布线工艺与可靠性

随着VLSI器件特征尺寸的缩小,对互连集成技术提出了新的要求．铜作为新的互连线材料,能够有效地减小互连延时,提高互连性能．论述了铜互连技术中低k介质材料、势垒层材料以及铜互连布线的大马士革工艺．提出当通孔倾斜角为20°、Ta为势垒材料时,能够有效地改善铜互连技术的势垒性能,并且提高其可靠性．     

废弃玻璃应用于可控低强度材料

为了探究利用废玻璃制备的可控低强度材料(CLSM)的性能,通过玻璃粉替代水泥,玻璃砂替代河砂设计正交试验,对试验结果进行极差分析和方差分析。流动度经时损失与玻璃粉掺量成反比;泌水率主要影响因素为玻璃粉掺量;早期抗压强度主要受到玻璃粉和玻璃砂掺量因素影响,经过28 d水化基本完成后,抗压强度受到玻璃粉掺量和质量浓度因素影响。最优配合比：胶砂比1∶4,GP掺量65%,GS掺量50%,质量浓度84%,粉煤灰占胶凝材料10%,减水剂占胶凝材料0.5%,消泡剂占胶凝材料0.3%。     

低强度相似材料参数敏感性正交试验研究

用相似模拟试验进行低强度相似材料参数敏感性试验,选择铁矿粉、重晶石粉、砂及石膏用量4因素5水平进行正交试验。结果表明,铁矿粉和石膏用量分别对相似材料的容重和抗压强度有显著影响,随铁矿粉用量增大,相似材料容重呈增大趋势,随石膏用量增大,相似材料抗压强度逐渐增大;模拟铁矿体合理配比为：m（重晶石）∶m（铁矿粉）∶m（砂）∶m（石膏）=21∶78∶40∶8。     

金属薄膜力学性能压痕法的有限元分析

目的 为了更精确地计算Si基金属薄膜材料中金属薄膜的弹性模量.提出一种新的计算方法.方法 对Si基体铜薄膜在圆柱压头压入过程中的力学行为进行有限元模拟.结果 通过多次迭代计算,得到了两种压头情况下,基体的弹性模量和金属薄膜弹性模量之间的关系曲线.结论 这两条曲线的交点就是基体材料和金属薄膜材料的弹性模量.通过计算表明了有限单元法计算弹性模量的方法在纳观情况下同样适用,解决了必须依靠实验才能计算金属薄膜弹性模量的问题.     

粘贴纤维布、钢板加固钢筋混凝土T梁试验研究

针对目前我国桥梁加固领域对粘贴纤维、钢板加固适用性认识模糊,以我国20世纪60～70年代修建的16m公路钢筋混凝土T梁桥为原型,以13片钢筋混凝土T梁室内缩尺模型试验为基础,对粘贴碳纤维布、钢板加固钢筋混凝土T梁的力学行为进行了系统的对比试验研究.通过试验分析得出:采用这两种材料加固后的模型梁,屈服荷载和极限荷载均明显提高,但是钢板加固对极限荷载的提高幅度低于纤维加固的;粘贴纤维对梁裂缝发展的抑制作用优于钢板加固;加固后模型梁的延性均有所降低,而且与钢板相比,纤维加固后的模型梁延性降低幅度较大.