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采用实验装置产生符合动压特征的压力源列水下爆炸压力传感器的灵敏度进行了标校,与动态实爆标校的结果进行了对比。对比情况表明:实验标校的结果与动态实爆标校的结果相符。 相似文献
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压力传感器动态测量方法的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍一种获得压力传感器动态特性指标的方法,可以利用周期压力波激励压力传感器,测得压力传感器的频率响应,然后,利用计算机采集输出电压,通过软件处理滤波的方法,就可以获得压力传感器的频谱特性。测量结果证明:这种测量方法可以很方便地获得传感器全频程的动态特性,为进一步设计改善压力传感器的动态性能提供实验数据。 相似文献
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扩散硅压力传感器性能优化研究 总被引:4,自引:1,他引:4
本文论述了实现扩散硅压力传感器性能优化的一些技术措施、设计原理和工艺技术.采用矩形双岛硅膜结构等新型微机械结构可提高灵敏度和精度并实现过压保护;通过改善工艺并进行表面钝化、改进封装工艺与结构等可改善稳定性;用恒压源及三极管补偿法和等效电阻最佳耦合法可对其灵敏度、零位温度系数进行补偿;采用各向异性腐蚀工艺技术可实现集成化生产. 相似文献
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针对野外炸点空间三维坐标测量的问题,提出了基于二维PSD位置传感器的炸点位置测量方法,构建了基于二维PSD位置传感器的炸点三维坐标测量系统;基于双目视觉原理建立了炸点空间三维坐标测量数学模型;研究了被动探测系统在野外远距离下的标定技术;通过系统误差分解传递,分析了各参数的误差;在Matlab中分别绘制了炸点位置坐标3个维度的误差分布图,并分析了测量系统误差随炸点实际位置变化的分布情况;根据误差分布图得到了在理论100 m测试距离下X坐标最大测量误差约为0.292~0.303 m,Y坐标最大测量误差约为0.251~0.371 m,Z坐标最大测量误差0.270~0.336 m;最后通过静爆实验对测量方法正确性、被动探测系统标定技术可行性和测量系统功能性进行了验证,结果表明测量系统响应速度快且功能正常,被动探测系统标定技术具备可行性且操作方便,可适用于野外炸点位置的快速测量。 相似文献
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声表面波压力传感器温度误差及补偿方法研究 总被引:7,自引:3,他引:7
要提高声表面波压力传感器的测量精确度,温度补偿是主要难题。尽管目前有许多补偿方法,但其效果不佳。采用软件方法进行温度补偿的研究在国内外已成热点,但选用神经网络对SAW压力传感器进行温度补偿尚罕见报道。本文以CSF-10型SAW压力传感器为研究对象,通过理论分析和实验,得到了SAW压力传感器的温度特性曲线,又经现场实际操作,BP神经网络对SAW压力传感器温度补偿的效果良好,充分表明了应用神经网络在提高声表面波测量精度方面是行之有效的方法。 相似文献
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在研制压阻式扩散硅压力传感器中,除了采用常规的平面工艺以外,还需要几项特殊的、重要的新技术、新工艺,简要地论述真空静电封接技术、异向蚀刻技术以及减少层错的三氯乙烯氧化工艺等. 相似文献