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SnO2纳米颗粒多孔薄膜气敏传感器对CO气体的敏感性 总被引:3,自引:0,他引:3
在适当的条件下分解有机金属前驱体[Sn(N(CH3)2)2]2制备了尺寸分布集中的SnO2纳米颗粒.二氧化锡纳米颗粒胶体沉积到气体传感器的硅基础结构上形成纳米颗粒多孔薄膜传感层,并对传感层进行金属Pt元素原位掺杂.在专用实验台上测定了SnO2纳米颗粒传感器对CO 气体的敏感性,结果显示此传感器对CO气体表现出较好的敏感性和稳定性. 相似文献
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本文在小瓷管上用MOCVD技术沉积SnO2气敏薄膜,研究了Pd,Th掺杂对该SnO2元件气敏性能的影响。掺杂Pd使元件对乙醇,汽油的灵敏度均增大,而掺杂Th则仅提高对了对乙灵敏度,对汽油的灵敏度反有所降低。因此有希望开发为不肥汽油干扰的乙醇敏感元件。 相似文献
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厚膜SnO2气体传感器的嗅觉特征提取与处理 总被引:2,自引:0,他引:2
用一组厚膜SnO2气体传感器阵列模拟人的嗅觉形成过程,对5种不同体积分数乙醇溶液进行分析。详细叙述了实验过程,分别从每个气体传感器与气体反应的曲线中提取4个特征,用BP神经网络对样本特征值的处理,对不同体积分数乙醇溶液进行识别。神经网络对训练集的回判正确率为100%,对测试集测试正确率为90%。 相似文献
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以纳米TiO2为基料掺杂适量SnO2作为气敏材料,通过传统的气敏传感器制备技术,制作出旁热式气敏传感器,研究了此类传感器对有机挥发气体甲醇、甲醛、乙醇、丙酮的气敏特性,并利用Gaussian03软件,对各被测气体的分子轨道进行了计算分析,对TiO2-SnO2气敏元件的选择性机理做了定性分析.结果表明:TiO2-SnO2传感器对甲醇、甲醛、乙醇等有机挥发性气体具有极高的灵敏度,在不同工作电压下对各类气体表现出较好的选择性,气体分子轨道能量的差异是元件气敏选择性的定性因素. 相似文献
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随着工业的发展和城市交通的拥挤,工业废气和汽车尾气对环境生活的影响越来越大,此外,液化石油气和城市煤气的广泛应用,存在可燃性和有毒性气体泄漏,因此,气体传感器的研制和应用受到社会各界的关注。气体传感器是化学传感器的一种主要类型,它涉及到化学晶界理论、吸附理论和催化理论等,也与物理学的半导体理论和各种物理效应密切有关。目前应用最广泛、工艺最简单的仍属烧结型 SnO_2或 ZnO 等金属 相似文献
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为了改善气体传感器的敏感性能,分别采用SnO2外涂Y沸石的涂覆法和Y沸石与SnO2混合法,用Y沸石对SnO2气体传感器进行改性.用X-射线衍射(XRD)、电子扫描显微镜(SEM)对混合法制备的Y沸石/SnO2复合材料的结构和表面进行了表征与分析.将这两类敏感元件进行了VOC气体的气敏测试.结果表明,与纯SnO2相比,Y沸石与SnO2直接混合的复合材料提高了对丙酮的响应值,而对其他气体响应值基本不变;涂覆法制备的气敏元件不仅提高对丙酮的响应值,而且减小了对乙醇的响应值,对乙醇起到一定抑制作用.初步分析了Y沸石对SnO2气敏特性改善的机理. 相似文献
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金属氧化物半导体SnO2气敏传感器 总被引:2,自引:0,他引:2
SnO_2具有金红石型的晶体结构,禁带宽度约为 3.6 eV.由于Sn的电子亲合力不太强,晶态SnO_2都具有氧空位,故属于N型金属氧化物半导体.作为施主的氧空位,其能 相似文献
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本文研究了Pd掺杂的SnO2材料对于甲烷气体的敏感特性。首先从机理上说明掺杂Pd金属的原因;然后,采用简单的混合研磨工艺制备了Pd掺杂SnO2复合材料;其次,采用刷涂工艺在加热型平板电极上制备了气敏层。研究了所制备的Pd掺杂SnO2气体传感器在不同温度对甲烷气体的敏感特性。结果表明,Pd掺杂在提高SnO2的气敏性能的同时还能降低其工作温度;其中,2 wt%Pd掺杂SnO2的传感器气敏性能最优,在最佳工作温度(200°C)下对500 ppm甲烷的气敏响应可达3.43,灵敏度提升了45.67倍(50–1000 ppm)。 相似文献
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SnO2纳米棒一维纳米材料气敏特性研究 总被引:1,自引:1,他引:1
在NaCl KCl熔盐介质中,在610~760℃焙烧利用室温固相反应合成的SnO2纳米棒前驱物,成功制备了SnO2纳米棒.利用TEM、XRD和XPS对SnO2纳米棒形貌、成分进行了表征和分析,SnO2纳米棒直径为10~60 nm,长度从几百个纳米到十几个微米.以SnO2纳米棒为原料,分别制备了厚膜气敏元件,考察了其气敏特性.在工作温度为300℃左右时,660℃焙烧制备的SnO2纳米棒元件对乙醇具有较高的灵敏度、好的选择性和响应恢复特性. 相似文献
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平面工艺SnO2薄膜甲醛气敏元件的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用ANSYS仿真软件得到最优化的气体传感器电极结构,采用平面工艺在硅衬底上制作了3 mm×2 mm的直热式Sn02薄膜甲醛气敏元件.用溶胶凝胶(sol-gel)法制备了掺Pd的纳米SnO2薄膜,材料的平均粒径约为15nm.元件的最佳工作温度约为230℃,在该加热温度下测试了元件对体积分数为50×10-9的甲醛气体的灵敏度以及响应恢复时间.实验证明:元件的灵敏度随气体浓度的增大而增大,元件的响应和恢复时间均约为50s. 相似文献
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CMOS SnO2气体传感器模型与热仿真 总被引:1,自引:0,他引:1
为了分析CMOS SnO2气体传感器的工作,有必要建立合适的模型,采用晶粒边界的肖特基势垒模型和固体表面对气体的Freundlich等温吸附很好地解释了SnO2的电导与检测气体体积分数工作温度之间的关系,利用ANSYS7.0对实际设计的传感器进行了热仿真,这便于在CMOS后加工工艺中很好地对其控制。 相似文献