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一引言高纯氯化氢是电子工业中制造大规模集成电路所需的重要材料之一。我国电子工业所用高纯氯化氢过去大多是从美、日等国进口。由于进货不及时,且价格昂贵,国内只好采用硫酸洗涤除氯化氢中的水,或用盐酸脱析制得纯氯化氢气体,这就使水份等杂质含量高,严重影响了电子元件的质量。1983年,我所接受了研制高纯氯化氢的任务。经过3年努力,已于1986年制得合格产品,即 相似文献
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对电子级丙烯的性质和用途进行了简述,着重介绍其纯化技术。自主研发的电子级丙烯生产纯化工艺得到的产品符合相关行业使用要求。 相似文献
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电子级多晶硅的生产工艺 总被引:21,自引:0,他引:21
就建设1000t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氯氢硅法、四氯化硅法、二氯二氢硅法和硅烷法生产的多晶硅质量、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电耗和价格进行了对比;对还原或热分解使用的反应器即钟罩式反应器、流床反应器和自由空间反应器也进行了比较。介绍了用三氯氢硅钟罩式反应器法生产多晶硅三代流程。第三代多晶硅流程适于1000t/a级的电子级多晶硅生产。 相似文献
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随着太阳能、半导体、微电子等行业的快速发展,用作等离子刻蚀及清洗气体的电子级氟碳类气体的工业化研究与生产已成为国内外广泛关注的焦点。而生产设备工艺的选材是该类产品能否实现工业化的关键。结合自主研发的成功经验,介绍了氟碳类电子级气体工艺的设备选材原则,着重针对各个工段的生产要求,对设备、管件的选材、阀门选择进行了详细地阐述,同时对生产过程中的其他注意事项进行了补充和强调。 相似文献
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电子级高纯氯是我国电子工业当前急需的特种气体,主要用于半导体元、器件和大规模集成电路制造工序中的热氧化、反应离子蚀刻、晶体生长和MCVD法生产单膜光导纤维预制件,以及有关工业、基础科学研究等尖端技术。我国过去使用的电子级高纯氯全部依赖进口。 相似文献
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电子级玻璃纤维纱、布(以下简称“电子纱与电子布”)是电绝缘玻璃纤维系列产品中的一支新秀,是覆铜板及印制电路板必不可少、不可替代的基础材料。 相似文献
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晶体管功放由于一般不需使用输出变压器,成本较低,所以比较适合音乐爱好者自制。其中,纯甲类放大器不存在交越失真,音色温暖、耐听,深受发烧友的喜爱;但甲类功率放大器特点也包括静态功耗大、发热量大,对元器件制作工艺要求高,尤其对电源变压器的要求很高,否则听感甚至比不上高偏流甲乙类功放。为了尽量解决好上述问题,设计了如附图的电路,实际使用效果良好,该电路的特点 相似文献