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相似文献
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1.
医用级三氟化硼及其在使用中的安全注意事项   总被引:1,自引:0,他引:1  
详细介绍了三氟化硼的物化性质以及安全技术。  相似文献   

2.
三氟化硼是一种具有重要意义的高附加值电子气体,随着半导体产业的高速发展,对电子气体的纯度提出了更高要求,文中详细论述了三氟化硼合成制备及纯化的研究进展,以此根据实际生产制备条件,选择不同纯化方法进行提纯.  相似文献   

3.
瓶装三氟化硼的大规模生产   总被引:2,自引:0,他引:2  
介绍了我国BF3科研、生产的历史与现状,综合介绍了BF3的各种生产工艺及其相关的物性。  相似文献   

4.
进行了以工业氯为原料,取化学处理的沸石为致附剂,用吸附冷凝法,制取优于99.995%的电子级高纯氯的试验研究。测定了H2O、COx的穿遥吸附容量和CO2的穿透曲线,介绍了吸附剂的筛选,再生、冷凝与尾气氯处理等试验结果。  相似文献   

5.
一引言高纯氯化氢是电子工业中制造大规模集成电路所需的重要材料之一。我国电子工业所用高纯氯化氢过去大多是从美、日等国进口。由于进货不及时,且价格昂贵,国内只好采用硫酸洗涤除氯化氢中的水,或用盐酸脱析制得纯氯化氢气体,这就使水份等杂质含量高,严重影响了电子元件的质量。1983年,我所接受了研制高纯氯化氢的任务。经过3年努力,已于1986年制得合格产品,即  相似文献   

6.
对电子级丙烯的性质和用途进行了简述,着重介绍其纯化技术。自主研发的电子级丙烯生产纯化工艺得到的产品符合相关行业使用要求。  相似文献   

7.
使用氦离子化色谱仪对电子级六氟乙烷进行分析,结果显示本实验方法很好的实现了电子级六氟乙烷杂质的色谱全分析,并且为建立电子级六氟乙烷标准提供实验基础。  相似文献   

8.
电子级多晶硅的生产工艺   总被引:21,自引:0,他引:21  
就建设1000t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氯氢硅法、四氯化硅法、二氯二氢硅法和硅烷法生产的多晶硅质量、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电耗和价格进行了对比;对还原或热分解使用的反应器即钟罩式反应器、流床反应器和自由空间反应器也进行了比较。介绍了用三氯氢硅钟罩式反应器法生产多晶硅三代流程。第三代多晶硅流程适于1000t/a级的电子级多晶硅生产。  相似文献   

9.
在高技术或超大规模集成电路的开发中,对电子级气体中痕量水含量的要求不断提高。从表1说明了这种趋势。  相似文献   

10.
电子级气体中的粒子   总被引:1,自引:0,他引:1  
本报告的目的是研究,气体主流及气体输配系统中的粒子和粒子源;对粒子原的控制及消除方法,在线实际过滤器的使用,保护必需设置的输配系统,预防污染,作为污染源的过滤器。  相似文献   

11.
12.
使用AGC Nova CHROM 1000气相色谱仪,搭载放电离子化检测器(DID),采用中心切割的方法检测电子级三氯氢硅中氯硅烷杂质。  相似文献   

13.
马建修 《低温与特气》2014,(2):17-20,34
随着太阳能、半导体、微电子等行业的快速发展,用作等离子刻蚀及清洗气体的电子级氟碳类气体的工业化研究与生产已成为国内外广泛关注的焦点。而生产设备工艺的选材是该类产品能否实现工业化的关键。结合自主研发的成功经验,介绍了氟碳类电子级气体工艺的设备选材原则,着重针对各个工段的生产要求,对设备、管件的选材、阀门选择进行了详细地阐述,同时对生产过程中的其他注意事项进行了补充和强调。  相似文献   

14.
孔祥芝 《低温与特气》1987,(4):i002-i002
电子级高纯氯是我国电子工业当前急需的特种气体,主要用于半导体元、器件和大规模集成电路制造工序中的热氧化、反应离子蚀刻、晶体生长和MCVD法生产单膜光导纤维预制件,以及有关工业、基础科学研究等尖端技术。我国过去使用的电子级高纯氯全部依赖进口。  相似文献   

15.
针对电子级三氯化硼充装时面临的轻组分含量偏高及尾气处理时产生的盐酸浓度低、无法回收等问题,对电子级三氯化硼充装系统中的尾气处理装置进行了优化。优化后的新型尾气处理装置不仅使充装系统管道内的气体置换更加彻底、提升了电子级三氯化硼品质,还实现副产盐酸和硼酸的分离与回收,使盐酸浓度从12%提升至31%,达到工业盐酸的标准。  相似文献   

16.
研究了以各种无机材料与聚丙烯共混制备电镀级聚丙烯塑料。经电镀试验,结果表明以25%的超细CaCO3粉及5%的自制增强剂A与聚丙烯共混制备电镀级聚丙烯塑料,可以获得结合力良好的电镀层。  相似文献   

17.
本文针对平面指北导航的问题,阐述了电子罗盘的研制,重点介绍了硬件资源分配和软件设计方法,探讨了电子罗盘的应用.  相似文献   

18.
巨化股份近日发布公告:拟设立全资子公司并由其投资1.5亿元实施高纯电子气体项目(一期),以加快电子化学品业务培育,促进转型升级,优化产业结构。该项目拟新建1000 t/a医药级氯化氢、1000 t/a高纯氯化氢、500 t/a高纯氯气等系列产品的生产装置及相关配套设施。其中,高纯氯化氢主要用于半导体芯片生产过程中的清洗和外延生长工艺;高纯  相似文献   

19.
电子级玻璃纤维纱、布(以下简称“电子纱与电子布”)是电绝缘玻璃纤维系列产品中的一支新秀,是覆铜板及印制电路板必不可少、不可替代的基础材料。  相似文献   

20.
晶体管功放由于一般不需使用输出变压器,成本较低,所以比较适合音乐爱好者自制。其中,纯甲类放大器不存在交越失真,音色温暖、耐听,深受发烧友的喜爱;但甲类功率放大器特点也包括静态功耗大、发热量大,对元器件制作工艺要求高,尤其对电源变压器的要求很高,否则听感甚至比不上高偏流甲乙类功放。为了尽量解决好上述问题,设计了如附图的电路,实际使用效果良好,该电路的特点  相似文献   

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