共查询到20条相似文献,搜索用时 15 毫秒
1.
2.
3.
本文叙述国内外真空检漏技术动态,着重介绍常用流量计法校准真空漏率的标准装置,结构、原理、最后统观一下氦质谱检漏仪发展与现状。 相似文献
4.
5.
6.
7.
在多功能真空校准装置研制过程中,根据装置需具备的真空计校准、漏孔校准、在线校准、真空度测试、气体成分分析、漏率测试功能,进行校准软件的概要设计,介绍了软件运行环境及属性特点,分析了软件结构及相互关系,阐述了校准软件各子系统工作原理及工作流程图,同时对装置控制系统进行介绍。 相似文献
8.
超高/极高真空校准装置的研制 总被引:6,自引:4,他引:6
超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10Pa的极高真空;提出了分流法校准真空规的方法,使校准下限延伸到10-10Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;提出了采用线性真空计测量激光小孔分子流流导的方法,减小了小孔流导的测量不确定度。校准装置复合了分流法、压力衰减法和直接测量法对真空规进行校准,压力校准范围为10-1Pa~10-10Pa,合成标准不确定度为0.41%~3.5%。 相似文献
9.
组合型真空规校准系统 总被引:2,自引:1,他引:1
组合型真空规校准系统由三种基本的校准方法组成,可完成10^-^4-10^5Pa范围内的校准。用户可根据实际应用选择不同的参考标准和校准方法,但不改变系统的基本结构。校准系统扣作方便,校准效率高,同时可校准4或5只真空规,是一种非常适合于日常校准用的实用性标准装置。 相似文献
10.
介绍了一种实用超高真空相对比对校准系统。该装置具有结构简单、实用、不确定度小等优点,可以满足在10^-7~10^-5Pa范围内超高真空规的比对校准。 相似文献
11.
12.
实用超高真空校准装置应结构紧凑、操作简便、价格便宜.提出了一种新的设想,除采用流行的连续流压力衰减法外,介绍了两种全新结构.一是减压定压型微流量计,工作液体使用硅油,预期流量测量范围可达10~(-3)—10~(-7)帕·米~#/秒.二是小孔拓宽结构,对其可行性进行了探讨.所述结构,可根据实际需要组合成特定的超高真空校准装置. 相似文献
13.
14.
15.
正压漏孔校准装置优化设计 总被引:1,自引:0,他引:1
针对目前正压漏孔校准工作中存在的测量下限指标低、测量不确定度大等问题,提出了正压漏孔校准装置的优化设计方法.采用特殊设计,将定容室的容积减小到10 mL以下,降低了气体累计时间,延伸了测量下限.采用主、被动相结合的恒温方法提高恒温精度,使得测量系统温度变化在校准时间内小于0.02 K,减小了温度漂移引入的虚流量及测量不确定度.在恒压法正压漏孔校准方法中,提出采用直径小于1 mm的精密细活塞及适用的动密封结构.可以将测量下限延伸到10-7Pa·m3/s 量级.通过以上方法,可使正压漏孔校准装置的测量下限优于5×10-7 Pa·m3/s,不确定度小于5%,同时具有较高的工作效率. 相似文献
16.
3.真空阀门的设计(上接1999年第5期第48页)真空阀门是真空系统的重要元件。对于构成管路一部分的阀门,其流导大小是一个重要的性能参数。对于主要用来起开关气路作用的阀门,阀板关闭的密封性能也是重要的性能参数之一。密封性能是用其漏气率来衡量的。对于主要用来调节气流大小的阀门,能够调节气流量的精度及范围,则是一项重要的性能参数。对于全金属超高真空阀门,每次关闭是否性能稳定?使用寿命是否长?是其主要的性能指标。(1)对真空阀门的一般要求①阀门的密封性能要好,阀板密封处的漏气率要小;②阀板开启后应尽可… 相似文献
17.
18.
本文综述了真空电弧炉的发展概况,介绍了炉子的结构与应用,分析了炉子真空系统的气源、漏率、运转与维护,给出了实验室及生产车间真空电弧炉真空系统的分布等。(1 Torr=133 Pa) 相似文献