测量薄膜折射率的光栅衍射干涉方法

根据光的干涉理论,讨论了条纹周期数对测量薄膜折射率不确定性的影响,推导出干涉条纹错位量与薄膜折射率和厚度的关系式。由此提出采用光栅衍射干涉测量薄膜折射率的方法和实验方案。实验表明:该方法的干涉条纹测量精度达λ/10~λ/20,薄膜折射率测量精度可达 0.01 以上。     

聚合物光纤梯度折射率测定方法和误差分析

研究了测量聚合物光纤径向折射率分布的相移干涉法,建立了数学模型,并采用数字模拟法进行了误差定量分析.     

一种液体折射率的薄膜干涉测量方法

理论分析表明在镀有金属分光膜的玻璃介质和金属介质构成的几何楔形成的斐索干涉条纹中,相长干涉并不位于相邻的两相消干涉的中央,而是存在一明显偏移,这一偏移与引入几何楔中待测液体的折射率相关.基于该原理,提出了一种新的折射率测量的方法,并对该方进行了实验验证.该方法不需要利用标准液对光学几何量进行标定,测量范围广.     

用Interphako干涉显微镜测量离子交换玻璃薄片中的梯度折射率分布

本文用 Interphako 干涉显微镜测量了经 NaNO_3盐浴处理的玻璃薄片中的梯度折射率分布。将剪切微差干涉测得的结果与剪切干涉的结果进行了比较,并讨论两种测量方法的特点和误差。     

高精度激光干涉测量中环境误差因素的综合补偿

分析了高精度激光干涉测量中环境误差因素对测量的影响,针对不同情况,提出了两种对空气折射率进行实时误差补偿的方法。     

无色光学玻璃折射率温度系数与平晶等厚干涉条纹

本文通过平晶折射率温度系数和热膨胀系数对其等厚干涉条纹影响的定量分析,找出了温度变化影响平晶等厚干涉条纹的主要因素.从理论上论证了平晶表面形状判断的新方法,证明了新方法短时局部外围温升法(阶跃温升法)的合理性和可操作性.最后对标准平晶和高精度工作平晶玻璃的材质提出了特殊要求,以满足其平面度的热稳定性要求.     

用多光束干涉实现纳米级阵列图形的长焦深光刻

用多束相干光适当组合干涉曝光,得到的图形与基片在干涉场内的纵向位置z无关,与x、y位置呈周期关系,光的相干长度对应传统光学光刻的焦深。该方法适合大尺寸基片上纳米级孔、锥阵列图形的制作。模拟了双光束双曝光、三光束单曝光和四光束单曝光的干涉场光强分布,用波长为441.6nm的激光曝光得到尺寸为200nm的孔阵和点阵的图形。     

光干涉甲烷测定器干涉条纹漂移及故障分析与处理

一、干涉条纹漂移（或称干涉条纹跑正、跑负）仪器干涉条纹漂移是由仪器空气室的空气折射率（na）和甲烷室被测气体的折射率（nc）变化引起的,产生的原因有以下几种：     

气体折射率的测试光路--用激光干涉条纹计数原理

本文阐述两种气体折射率的测试光路。它们是用白光干涉“O”级条纹定位，激光干涉条纹计数原理作光程差补偿测试。便于自动测量。     

干涉法研究硅酸镓镧单晶的基本性质

用全息干涉法研究了新型压电材料硅酸镓镧的折射率均匀性,利用干涉透过率谱法研究了双折射率.并通过测量透过率,计算了吸收系数.确定了吸收系数与光子能量的变化关系.     

会聚偏光干涉测量晶体双折射率

光轴平行表面的晶片的会聚偏光干涉对晶体的双折射率非常敏感。干涉图的对称中心对应于正入射光线,双折射率正比于此点的干涉级md,md的小数部分主要由中央暗条纹的位置决定,md的整数部分由自洽的办法求出。干涉条纹可以用双曲线很好地拟合,使干涉图特征点的提取更为精确。用不同厚度的铌酸锂晶片作了测量,双折射率不确定度为1×10-4。     

基于双路多光束干涉的光程微变动实时监测技术北大核心CSCD

介绍了一种基于多光束干涉原理,采用双通道的微光程测量系统。该系统具有较高的测量灵敏度,可以实现诸如空气折射率变动引起光程微变的测量。采用简单方法对测量灵敏度实验进行验证,利用声波改变空气折射率进而改变光学光程,将系统的测试结果与迈克尔逊干涉方法的测试结果进行了比较,结果表明,本系统能够在较小干涉臂情况下实现只有当迈克尔逊干涉大干涉臂才能具备的测量灵敏度。由于光程变动的测量具有较多的应用,本测量实验系统具备微型化的结构特点,可以为相关领域的应用提供技术基础。     

双路差分白光干涉谱数据处理的新方法

差分白光干涉法测量极薄金属带材厚度时,为了克服传统极值法在白光干涉谱数据处理中抗噪声能力差的缺点,提出了一种基于最小均方差(MMSE)意义下的小波变换处理方法.该方法首先对干涉谱测量值进行归一化处理,消除低频光强变化的影响,并用极值法求得光程差(OPD)的初值.然后求归一化后的干涉谱与基于初值的理想干涉谱之间的均方差,当干涉谱的光程差的某个估计值与实际值最接近时,对应的干涉谱的均方差最小.通过逼近法获得均方差最小时对应的估计值.数值仿真和实验结果表明,利用该方法处理差分白光干涉谱数据,可以获得优于极值法的更高的数据精度,而且有效地提高了信噪比.     

五轴数控加工中刀具干涉处理的特征投影法

提出了一种适用于五轴数控加工刀具干涉处理的特征投影法。该方法以刀具系为检测基准，以曲面特征点为检测对象，判断特征点是否落入刀具系表面内部来进行干涉检查；以干涉量最大的方向确定干涉消除平面，以此来计算旋转刀轴所需的消除角度。并将刀具系和曲面特征点投影到一个特定平面上，只对可能发生干涉的曲面特征点进行干涉检测，从而大大提高干涉处理效率。     

SMS光纤结构特性的数值模拟分析

采用光束传播法(BPM),对单模-多模-单模(SMS)光纤结构内部传输光场分布情况,进行数值模拟;分析了SMS光纤结构中不同的多模光纤长度,多模光纤纤芯直径和输入光波长对光纤结构内部传输光场分布情况的影响,以及所得透射谱的变化规律;进一步探讨了基于多模干涉理论的SMS光纤结构传感器在各传感领域的应用潜力.最后,以基于多模干涉理论的SMS光纤结构折射率传感器为例,分析了多模光纤纤芯外界折射率的改变对光纤结构输出透射谱的影响,并进行实验加以验证.实验结果与仿真模拟结论一致,从而验证了模拟的准确性.     

相移干涉三维形貌纳米检测及算法研究

基于相移干涉理论设计并实现了微平面三维形貌测试系统，针对三维形貌检测解包裹过程中出现的问题，改进了现有的残差点判断法，能够更加准确、快速地确定残差点的存在．对相位解包裹算法进行了系统研究．分析了干涉图中残差对相位解包裹的影响，提出了一种基于二阶导数的区域增长解包裹算法．在实际测量中，最终结果得到了明显的改善，证明了该方法的有效性，提高了系统精度、采用此算法，系统的纵向测量误差小于2nm．     

激光自混频干涉法测量表面粗糙度的理论分析

设计了一种半导体激光自混频干涉法测量表面粗糙度的实验，对半导体激光自混频干涉法测量表面粗糙度中的干涉效应进行了理论分析，推导了干涉信号与表面粗糙度的数学关系式，讨论了影响测量信号的因素。实验结果表明，随着加工表面粗糙度的降低，反射光的强度逐渐增加，被测物体表面的反射率越高，越有利于测量。     

微纳Taper光纤干涉传感器的折射率测量理论研究

利用微纳taper光纤干涉方程和微纳光纤传输模式函数关系,建立了微纳taper光纤干涉波长随环境折射率变化的数学模型,指出微纳taper光纤干涉波长的响应规律由基模高阶模有效折射率差、色散因子和环境折射率3个因素所决定.详细研究了微纳taper光纤传感器的灵敏度变化规律,结果表明,传感器的灵敏度随光纤半径变小而急速增大,并随环境折射率的增大而非线性增加,而且探测波长越长,其灵敏度越大.     

弹流油膜光学测试系统的特性分析

光干涉法是弹流润滑膜厚度测量的最有效的方法之一。传统的理论认为光弹流干涉主要是双光束干涉，即光干涉强度是油膜厚度的余弦函数，通常应用该余弦关系分析弹流干涉图象。然而，几个光弹流实验均表明干涉强度随油膜厚度的变化同科弦规律有明显的偏离。应用薄膜光学理论对光弹流测试系统进行了分析，干涉强度的计算结果和实验数据吻合一致，弹流光学系统的多光束干涉本质和金属膜的光吸收特性是干涉强度偏离余弦分布的原因。     

平板剪切干涉法检验激光准直性的改进

本文提出了利用平板剪切干涉法检验激光束准直性的一种改进方案。以两组干涉条纹的平行作为准直性判据,既简化了检测过程,又可使检验灵敏度提高一倍。