全金属小型超高真空气动阀的研制

一、概述 随着科学技术的发展,真空阀门的应用范围日趋广泛,尤其是国防、冶金、电子等工业发展的需要和加速器等科学技术发展的需要,高真空阀门已不能满意,其发展趋势已向超高真空阀门发展。由于超高真空系统特性的要求和应用条件的需要,全金属超高真空气动阀被重视和应用。我所已经研制成功我国第一台小口径超高真空全金属铟密封的气动阀门。并已经应用在高能加速器上,使用效果良好,满足技术要求。 这种阀是由阀体、密封阀盖、传动部分和摆动气缸四部组成。阀的材料用 1Cr 18Ni9Ti制成,可防腐蚀,阀口密封材料采用金属铟作为密封垫圈,可在…     

新型真空装置用的材料

近来,由于新材料开发的增进和真空装置的多样化,各种新材料都开始在真空方面使用。作为超高真空装置结构材料,也开始试用铝合金、离子镀膜,高真空材料也开始使用纤维强化塑料,为了提高真空装置的性能,作为高真空装置的材料,有效地利用了高分子材料及陶瓷之类的特点。 1. 前言 由于高能物理实验、核反应、表面科学及半导体工业的进步,最近各种新材料都被用在其真空装置中。大致可分为两类:其一是利用了以前惯用的铁、不锈钢所不具备的特色的新材料;另外是为了得到清洁的真空而用的新结构材料。 铝合金作为超高真空材料被用在高能粒子加速器中…     

GoRotec-真空密封专家 苏州高洛特电子科技有限公司/超高真空陶瓷密封产品

正美国SST(Solid Sealing Technology)公司的超高真空陶瓷密封产品广泛应用于半导体设备、分析仪器、航空航天、高能物理、低温超导、医疗设备、粒子加速器等超高真空领域。SST公司超高真空陶瓷密封产品主要包括:陶瓷电极、航空插头、同轴连接器、视窗、热电偶、真空隔断、晶振接头、光纤接头及真空内外附件,能承受极端的工作条件且能保持高信赖性和产品等级。苏州高洛特电子科技有限公司作为SST公司在中国大陆的独家代理商,与国内各设备厂商、著名大     

口径φ200毫米超高真空氟橡胶插板阀

大口径插板阀,使用氟橡胶密封。由于氟橡胶有可凝物挥发出来,且出气率较高,会影响系统的极限真空,也可能会污染系统;因此在无油超高真空系统的设计中采用氟橡胶阀时往往很谨慎。分子束外延系统由分子筛吸附泵、升华泵(抽速7000升/秒)和三极式溅射离子泵     

超高真空重离子加速器冷却储存环的焊接

结合超高真空对焊缝的要求,通过对板厚为2 mm的超高真空重离子加速器冷却储存环中一个零件的焊接工艺分析,总结了不锈钢超高真空容器薄壁件的焊接要点.     

不锈钢材料在真空炉高温除气后的出气性能比较

根据兰州重离子加速器冷却储存环真空系统(HIRFL-CSR)材料处理工艺要求,需要对所有不锈钢元件进行真空炉高温除气处理以降低材料出气率.本文通过一组实验测试数据,介绍了采用除气处理工艺和未经除气处理的不锈钢材料出气情况对比,证明采用真空炉除气处理工艺可以使材料内部的H2、CO、CO2等组分大幅度减少,从而获得较低的材料出气率.     

强流重离子加速器BRing-HFRS超高/极高真空过渡研究

针对强流重离子加速器(HIAF)中增强器(BRing)和放射性次级束流分离器(HFRS)之间的BRing引出线真空系统进行极高真空到超高真空的过渡研究。研究表明,为不使处于极高真空状态下的BRing环真空系统受到来自HFRS和高能束运线的影响,通过烘烤段加非烘烤段的方式以及快关阀的作用,可有效地解决真空系统从极高真空到超高真空的过渡问题,并且能够有效地起到对BRing主真空的保护作用。通过对BRing引出线真空系统进行真空压力分布的模拟计算,从侧面更加验证了真空过渡方案的可行性。     

兰州重离子冷却储存环10-10 Pa 大型超高真空系统

形成并成功地实施一套完整的超高真空获得方案,以满足兰州重离子加速器冷却储存环(HIRFL-CSL)6×10-9Pa超高真空度的要求.这套方案包括合理选择和配置真空排气系统及其他设备、合理选择材料、采用真空炉除气及在线烘烤等有效措施及大幅度降低材料出气率等.首先在样机上获得了5×10-10Pa的超高真空度,然后将样机的成功经验应用于HIR-FL-CSR大型超高真空系统.目前,已建成的各子系统真空度达到了(2×10-9～4×10-10)Pa.     

大型重离子加速器真空系统及其挑战

中国科学院近代物理研究所从历次的大科学装置建设中,积累了大型真空腔体、超高/极高真空系统以及强流重离子加速器真空系统等设计经验。为了获得超高/极高真空系,从真空设备选择、材料处理、密封形式以及在线烘烤等方面形成了一套完整的工艺流程;在强流重离子加速器(High Intensity Heavy ion Accelerator Facility,HIAF)真空系统研制过程中,为了减小磁铁气隙尺寸,大幅度降低磁铁造价及电源运维成本,提出陶瓷内衬薄壁真空室新方法,并研制了原理性样机;为了有效控制HIAF未来运行过程中的动态真空效应,设计了束流准直器,开展了真空材料解吸率测量研究;为了解决高放射性区域真空系统的维护问题,提出了自重密封结构,同时研制了充气膨胀密封法兰;为了进一步优化高精度环形谱仪真空度,开展低温极高真空系统研究。     

真空炉高温除气工艺对降低不锈钢出气率的作用

真空炉高温除气工艺可以大大降低不锈钢出气率。通过应用实例,给出了真空炉高温除气和现场烘烤除气及二者结合除气的结果,分析了真空炉高温除气的有利因素,证明采用该工艺对于降低不锈钢出气率,从而获得超高真空具有显著的效果。     

用氧化还原反应气体清洗不锈钢超高真空系统

对粒子加速器和储存环的超高真空系统，消除其表面污染的标准方法是化学清洗、真空炉焙烧、辉光放电清洗及原位烘烤真空系统，本文介绍一种可替代辉光放电的清洗方法；用一氧化氮反应气体进行清洗，它已被用于处理几种不锈钢制作的加速器真空室，用ＮＯ气体处理的效果与其它方法相比，优于普通化学清洗和真空炉焙烧，完全可以和辉光放电清洗相比较，却避免了溅射情况下可能引起的表面损伤。     

全金属超高真空气动闸板阀的研制

一、概述 近年来,随着科学技术的发展,真空阀门的应用范围日趋广泛,尤其是国防、冶金、电子等工业发展的需要,其发展趋势已向超高真空阀门发展。由于超高真空系统特性的要求和应用条件的需要,全金属超高真空闸板阀已被重视和较多的应用。我所已研制成功直径为 150毫米和 200毫米两种超高真空全金属铟密封的气动闸板阀。 这种阀是由阀体、密封阀盖、摆动气缸三部组成(如图1所示)。阀的材料采用1Cr18Ni 9 Ti制成,可防腐蚀,阀口密封铟垫圈采用水冷却方法,可使阀烘烤至300,经过试验证明这种阀具有结构简单,占空间位置小(尤其是采用摆动形式,结…     

超高真空装置中铝制构件的设计和制造工艺

回顾真空技术中使用的材料,不锈钢一直被认为是比较理想的。但是,近年来由于某些特殊要求,真空技术上开发铝及其合金面方有了巨大的进展。开始人们先是从节约的目的出发,在高真空设备中使用喷铝代替不锈钢制造真空容器取得了成功,进而发现铝及铝合金在真空中使用在许多性能方面超过了不锈钢。特别是高强度铝合金和耐热铝合金的出现更加推动了铝合金在真空技术上的应用。目前美国、日本已出现和使用铝合金制造超高真空容器和构件;许多超高真空系统上使用铝合金阀门、法兰、管道、波纹管组件、紧固件、垫,甚至溅射离子泵的阳级、涡轮分子泵的…     

次级电子倍增器型离子泵

一、前言近年来,以半导体工业为主,超高压电子显微镜,加速器,表面物理研究等许多领域越来越需要清洁的超高真空。为达到这一目的,将注意力多集中在涡轮分子泵和低温泵方面。两者的优点是均比较容易获得清洁超高真空,而缺点是都需要烘烤出气,安装方向受到限制和需要辅助泵,要获得完全无油的超高真空排气系统似乎还存在一些问题。看来,一定需要清洁超高真空的装置的抽气,目前还是使用在上述方面问题较少,而且使用简便的离子泵。离子泵存在的问题是按容积计算泵的抽速小,特别是达到高真空后真空度越高抽速下降得越显著。抽速下降是因为气体压强在10~(-6)帕以上时电离空间的电子数几乎保持不变,而到更高真空时电子数随着气体压强的下降而减少。     

φ40全金属密封闸阀

一、引言 通径φ40毫米全金属密封闸阀是为强流短脉冲电子直线加速器的栅控电子枪与大气隔离而设计、研制的。电子枪的束流传输要求该问阀的厚度尽量薄,能直接通过电子束流。由于电子枪的烘烤排气和阴极分解激活的工艺要求,以及加速器真空系统需获得超高真空,要求该闸阀内部结构简单,能耐可靠,关闭时闸板的主密封对大气的泄漏率不大于10-9-10-10托·升/秒。配上这样闸阀的电子枪在制造的工艺过程中能获得很高的超高真空,并在靠闸阀与大气隔离而移出排气台后一段较长的时间内,枪内仍能维持相当高的高真空,已激活的复合阴极不致中毒,阴极发射…     

高温真空除气对材料磁导率的影响

为了满足真空材料出气率的要求,HIRFL-CSR工程超高真空系统制定了高温真空除气工艺,此工艺在明显降低了材料的体出气率的同时,对降低真空室材料在机加工、焊接等过程中所产生的磁性有显著的作用.     

铝合金材料的真空性能

在第九届国际真空会议上,不少科学家认为:超高真空用的新型铝合金材料的研制是现代真空技术所取得的重要进展之一。铝合金材料之所以引起人们的重视,是因为它具有重量轻、表面清洗容易、机械加工方便、价格低廉、无铁磁性、热传导率高、出气率低等优点。铝合金材料在真空容器中的应用是继不锈钢真空容器出现之后的一件大事。本文将根据有一定代表性的资料向大家介绍一下关于这类铝合金材料的真空性能方面的研究结果。所介     

用于超高真空的铝合金──兰宝石密封窗

KEK TRISTANe+e-存储加速器(1)的真空系统中采用了观察官,采用了全铝合金的真空系统(包括真空室、波纹管、法兰、离子泵等)。市场上可以买到的窗玻璃为科伐-兰宝石或科伐-7056玻璃。真空系统的铝合金法兰和这种玻璃窗之间需要铝-不锈钢过渡。而使用任何铝-不锈钢过渡都是昂贵的,”不太可靠的。在TRISTAN的设计中尽量避免了使用普通不锈钢和不锈钢-铝的过渡,因而设计和制作了铝合金-兰宝石密封窗用于超高真空系统。 如图1所示,观察窗由铝合金筒(A3003)和主宝石片(A12O(2)3单晶)组成。铝合金筒和金属化兰宝石是用铝合金焊条BA4047(10…     

超高真空法兰金属密封方法

随着粒子加速器技术、航天技术的发展,对于真空的要求越来越高,进而发展而来了多种超高真空密封形式,以适应不同的工作环境。本文着重介绍当前主要应用于超高真空的金属密封方法。     

CCQ-400型超高真空闸板阀的研制

CCQ-400型超高真空闸板阀的研制是根据兰州近代物理研究所建造的重粒子加速器的要求,作为3500升/秒的分子泵配套的主阀门被提出来的,要求阀门具有高度的可靠性,不允许阀门在中途出现任何一点故障。 我们针对着阀门的结构、性能、可靠性展开了研究试制工作。 一、超高真空阀门的