声表面波器件用的一种集成化吸声膜

声表面波(SAW)器件,已经被广泛用于通讯、数据处理和传感器中,声表面波在器件基片边缘的反射,将会反过来干扰主信号,并降低器件的性能。因此,在SAW器件基片的边缘,经常涂敷一些■或硅胶之类的吸声物质。现在,SAW器件都用图形光刻工艺来制作,然而,吸声材料仍沿用丝网印刷或手工涂布工艺。集成电路技术中新材料的发展给吸声材料的开发创造了条件。一种非常有用的材料就是聚酰亚胺。这是一种在高温处理后仍可保持其吸声特性的有机材料。聚酰亚胺可以用离心涂布和光刻的方法在基片上作图形。它的厚度可以控制在0.2μm直到20μm以上,这使得它…     

声表面波器件的研究进展

声表面波器件作为一种新型的电子器件，近年来引起了人们极大的关注，在科学研究领域有了较大的进展，在现代无线通讯领域的应用范围日趋广泛。本简述了目前国际上出现的声表面波器件的制备方法、性能研究及其应用，展望了其今后的发展趋势。     

声表面波器件的研究进展

声表面波器件作为一种新型的电子器件,近年来引起了人们极大的关注,在科学研究领域有了较大的进展,在现代无线通讯领域的应用范围日趋广泛.本文简述了目前国际上出现的声表面波器件的制备方法、性能研究及其应用,展望了其今后的发展趋势.     

用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜

采用脉冲激光淀积 (PLD)法在单晶Si(10 0 )衬底上淀积了ZnO薄膜。XRD、TEM和AFM分析表明 ,淀积的ZnO薄膜具有良好的c轴取向性和表面平整度。通过改变淀积气氛或在纯氧中高温退火 ,ZnO薄膜的电阻率提高到 10 7Ω·cm。这些结果表明 ,用PLD法淀积的ZnO薄膜能够满足声表面波(SAW )器件的需要。     

用于信号处理的声表面波器件

本报告简述了声表面波横向滤波器设计的基本原理,并介绍了和信号处理有关的声表面波器件。     

声表面波器件用改性铌酸钠锂陶瓷材料

用少量多元添加物和气氛烧结工艺制得了一种致密度高、性能好、有实用价值的 LNN-20型改性铌酸钠锂陶瓷材料。其抗折强度为2300kg/cm~2,晶粒尺寸为1～2μm,无公害,工艺简便,成本低,介电、压电性能好。用这种改性陶瓷已经制成了37MHz SAW IF 滤波器,其性能达到黑白电视机使用要求,还制成了10.7MHz SAW滤波器,插入损耗<21dB,与 LiNbO_3单晶制作的同类 SAW 滤波器相仿。     

基于COMSOL的声表面波器件仿真

声表面波器件在通信、传感、射频识别等领域有着广泛的应用.以有限元方法为基础,利用有限元软件COMSOL对声表面波器件进行了仿真.从器件的模型建立入手,按由浅入深的顺序对无电极压电基片、压电基片表面沉积叉指换能器、叉指换能器表面溅射薄膜、薄膜上负载液体的4种结构进行了仿真分析.仿真研究表明:叉指换能器的电极效应会产生正、反特征频率,并且两种频率都随着叉指电极的敷金比与高度增加而向低频偏移;薄膜厚度的增加同样会导致器件频率向低频变化;当器件负载液体用于液体密度检测时,可通过器件频率变化对液体密度的灵敏程度来对薄膜厚度进行优化.其研究结果可以为声表面波器件的设计制作提供依据.     

400MHZ带宽声表面波RAC器件

一、引言 声表面波线性调频脉冲压缩滤波器以其卓越的性能在雷达与微波辐射测量系统中得到了广泛应用,随着此类系统对观测目标成像分辨率、清晰度和稳定性要求的提高,宽频带高性能的声表面波线性调频脉冲压缩滤波器的研究工作就显得更为重要.本文介绍我们最新研制可用于雷达、微波辐射测量设备的宽频带声表面波沟槽反射栅脉冲压缩滤波器(简称声表面波RAC器件),其线性调频带宽可作到400MHz.     

金刚石声表面波器件的研究与进展

高频无线通讯系统的迅速发展推动了对高频声表面波 (SAW)器件需求的不断增大。金刚石具有最高的声速和许多优于其他材料的特性 ,因此金刚石声表面波器件受到了越来越多的关注。本文介绍了金刚石声表面波器件的构成、制备方法 ,讨论了金刚石声表面波器件近年来国际上的研究进展 ,包括理论研究与实验进展的概况 ,并讨论了金刚石声表面波器件的未来发展趋势     

离子注入在声表面波器件上的应用

本文以 Ｈｅ＋注入 ＬｉＮｂＯ３晶体表面为例，给出了表面波相违随注入离子剂量和注入离子能量的变化关系曲线，并介绍了离子束注入在声表面波器件上的一些应用。