MPX型低压数字式压力计的研制

压阻式传感器是近年来发展应用很广的一种压力传感器，本文介绍了美国摩托罗拉公司（ＭｏｔｏｒｏｌａＣｏ．）生产的ＭＰＸ横向扩散型硅压力传感器的主要特性。利用它作为转换元件研制成测量范围为２００ＫＰａ的数字式压力计，这种仪器体积小，准确度高，显示直观明确，具有实用价值。     

用MAX1457实现对硅压阻式加速度计的温度补偿

本文介绍了传感器信号处理器MAX1457的主要功能及其用于对硅压阻式加速度计进行温度补偿的系统组成、补偿方法等。并通过实际补偿结果表明．利用MAX1457对硅压阻式加速度计进行热零点漂移补偿和热灵敏度漂移补偿．有效提高了压阻式加速度计的温度稳定性。     

基于MAX1452的硅压阻压力传感器数字补偿设计与拟合分析

随着现代科学与技术的高速发展,高精度传感器的应用日趋成熟。MAX1452作为一种高度集成的模拟传感器信号处理器,具有16引脚SSOP封装、全模拟信号通道、低功耗、温度范围宽等特点,可用于硅压阻压力传感器的数字补偿。硅压阻压力传感器输出的信号经过MAX1452校准补偿版输出模拟信号,再经过A/D转换器输出数字信号,在这个过程中,MAX1452全模拟信号通道没有引入量化噪声,利用16位DAC实现数字化校正,16位DAC对信号的偏移量和跨度进行校准,实现硅压阻压力传感器的数字补偿。     

集成微型压力传感器

本文介绍了微型电子机械系统的发展，基本制作工艺及在传感器领域的应用。介绍了利用ＥＭＭＳ技术制造压力传感器的研究现状，重点描述了基于硅压阻效应的集成微型压力传感器及其封装技术。这种传感器通过Ｐ－Ｎ结电化学自停止腐蚀技术制作硅膜片，扩散电阻作为压电阻并形成桥路，且带有补偿电路。     

“小型固态压阻式压力传感器”通过技术鉴定

为满足航空发动机研制中对各种压力参数测量的需要，三○四所组织技术人员，在原固态压阻式压力传感器系列产品的基础上，进行了微型化技术研究。通过近三年的研制，目前，已研制成功性能稳定的直径为o25mm的小型固态压阻式压力传感器系列产品。并于1996年12月26日通过了由中国航空工业总公司科技局主持的技术鉴定。来包总公司、研究所、院校、部队的九名专家认为，该项目已完成了课题预定任务，并在小型化传感器的材料工艺、结构设计、实验研究等方面做了大量的具有特色的工作。该传感器的主要性能指标：不重复性可达02％F．S，非线性可达…     

耐高温小型压差传感器的研制

小型耐高温压差传感器主要用于高温状态下测量发动机活塞两腔压力差。采用SOS(硅-蓝宝石)材料制作硅压阻式压力敏感芯片,两只压力敏感元件,分别测量高压端和低压端的压力输出,再利用精密的信号处理电路,将微弱的电信号进行放大处理,实现标准的模拟信号输出。     

一种硅芯片/玻璃环静电键合的简易装置

随着微机电系统(MEMS)技术的发展,促进了半导体硅压阻式压力传感器低成本和集成化,使其得到了广泛应用;在压阻式压力传感器无应力封装工艺中,硅芯片/PYREX7740玻璃环静电键合起着重要的作用.本文论述了静电键合基本原理,以此研制了适合于大批量生产的静电键合简易装置,实践表明此装置易操作,施加键合静电电压降为160V,键合时间缩短为约2分钟,键合界面具有较大的封接强度和耐高温冲击性,满足了压力传感器制作的无应力封装的需要,具有实用性.     

瞬态超高压压阻式传感器技术研究

针对现有压力传感器不能满足高压、高温、高冲击等恶劣环境下高膛压测试的现状,提供了一种瞬态超高压压阻式传感器。该传感器利用惠斯通半桥式工作原理,选用具有良好压阻效应的硅锗锰铜丝作为敏感元件材料,通过改进制作工艺和装配方式,使该传感器能够承受瞬态高压、高温,实现对0~800 MPa动态压力测试。对比分析表明:在高、低、常温状态下,该传感器非线性误差均不大于0.5%,具有灵敏度高、体积小、安装灵活方便的特点,可广泛应用于高膛压火炮及高压密闭爆发器试验装置的压力测试与研究。     

箔式锰铜传感器的新进展

箔式锰铜传感器主要应用于动高压的测试中,现有的箔式锰铜传感器采用有机物作为绝缘层,其测压上限为40GPa。而采用绝缘封装层为Al2O3薄膜的箔式传感器,可拓宽其测压上限。动高压测试结果表明,该传感器所承受的压力为55．32GPa,压阻系数为0．0272,传感器的延续时间可达2．5μm。     

新型复合硅微传感器的设计

为了解决弹药武器系统的高温、高压、强冲击振动和紧凑设计条件的测试问题，提出了一种以半导体压阻效应、极间电容变化以及PN结温度效应为基本原理的加速度、压力与温度多参数硅微复合传感器．介绍了复合传感器的工作原理、系统构成以及有限元分析仿真模型．给出了传感器的微结构照片及其性能参数．     

一种应用于超小型无人机的新型定高传感器

使用美国ICSENSOR公司的压阻硅式绝压传感器，对静压进行测量，并设计出适合超小型无人机使用的新型定高传感器，这种定高传感器具有灵敏度高，重量轻，单电源供电，板式结构。可靠性高，重复性好的特点，填补了应用于超小型无人机的定高传感器产品的空白。     

金属流密封方式介绍

在压力传感器应用领域,压阻式传感器的发展是当今最为迅速的。而面对日益巨大的市场价值,传感器的制作工艺变得尤其重要。压力传感器的结构设计和制作工艺对传感头的封装、密封尤为重要。该文介绍了一种名叫"金属流"的新型密封承压方式,具有许多优势应用于压阻式压力传感器,也适合推广到其他应用领域。     

二维纳米材料在柔性压阻传感器中的应用研究进展

随着柔性压力传感器在可穿戴电子设备、电子皮肤等领域的快速发展,研究制备高灵敏度、低检测限、宽感应范围的高性能柔性压阻传感器成为一种必然趋势.为了获得高性能的柔性压阻传感器,需要在导电敏感材料的选择和传感器微纳结构的设计上进行一系列的创新.二维纳米材料凭借其独特的结构和优异的性能,成为柔性压阻传感器导电敏感材料的良好选择.本文综述了几种类型的二维纳米材料压阻传感器,介绍了二维纳米材料柔性传感器的微纳米结构的创新及发展,最后针对当前研究面临的问题提出了解决方法并对其今后的发展方向进行了展望.     

柔性纳米复合材料压阻式应变传感器的研究进展

柔性纳米复合材料,由于其优异的传感性能、良好的延展性,在压阻式应变传感器方面,受到研究者们不断的关注,主要应用于智能可穿戴,结构健康监测等领域.本文主要从结构设计、制备方法、应用前景三方面,综述了近年来国内外对复合材料压阻式应变传感器在材料选取及结构设计下传感器性能的研究成果及研究进展.首先分析了压阻式传感器的性能参数...     

硅微谐振式压力传感器测试方法研究

为了解决硅微谐振式传感器输出信号测试设计周期长,费用高;测试过程时间长,误差大的问题引入了了组合是敏感方法和压阻变换的原理。作为测试压力传感器的重要方法,本文介绍了上述方法的相关验证实验,最后针对实验结果做了简要分析。     

MEMS压力传感器原理及其应用

MEMS压力传感器是基于MEMS技术的小型化、低功耗、低成本、高准确度的压力测量器件,广泛应用于各行业领域。本文首先介绍了压阻式、电容式和谐振式压力传感器的工作原理,然后研究了三种压力传感器的关键技术,并针对应用做了简要分析,最后给出了MEMS压力传感器研究方面的几点建议。     

静电伺服型三轴硅加速度计

静电伺服型三轴硅加速度计ＫｅｉｊｉＪｏｎｏ１．前言加速度计在先进的汽车和机器人中获得广泛应用，但这些应用对加速度计提出了高精度、宽动态范围和频率范围的要求。目前，三种工作原理的硅加速度计已经研制成功，即压阻式、电容式和静电式。商品化的压阻加速度计频率...     

基于质心识别对阵列式触觉系统的压力和温度信息研究

机器人触觉是机器人在非视觉传感器领域里获取环境信息的重要知觉形式,本文利用硅压阻式压力传感器组成阵列式触觉系统,将采集到的压力和温度信息组成灰度图像,经过对图像的预处理、区域分割、质心识别后,判断出物体的滑移情况,并将结果利用图像形象化的显示出来.实验结果表明,该方法可以快速有效的对物体滑移做出判断,并且可以直观的显示出物体表面温度分布情况.     

YZ-111型压阻真空计的研制

介绍了一种基于扩散硅传感器的低真空测量仪表YZ-111型压阻真空计.仪表由传感器单元、信号调理单元、A/D采集单元、中央处理单元、按键和显示单元等组成.该仪器采用进口扩散硅压阻式传感器.信号被调理后由高精度数字采集系统采集、分析,直接输出数字信号.配以温度补偿技术,保证它的高精度.通过用高精度真空计校准,并与之比较,其测量结果达到预期.     

小量程高灵敏度压阻式表压压力传感器的设计北大核心CSCD

针对飞机供氧、液压、环控和燃油等系统故障预测与健康管理(PHM)对小量程压力传感器的重大需求,设计了一种新型梁膜复合结构微电子机械系统(MEMS)压阻式压力传感器,该研究通过小量程、高灵敏度的压力传感器力学机理分析和力学仿真建模,提出一种具有弧形膜和米字梁复合型结构,采用弧形硅杯支撑,通过结构和尺寸的优化设计以及压敏电阻位置的确定,在-2~12 KPa的量程内具有较高的灵敏度和线性度。利用ANSYS软件仿真分析得到设计的压力传感器灵敏度为21.801 mV/KPa,非线性度为0.02%。然后基于MEMS加工工艺设计了SOI表压压力传感器的工艺流程。