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相似文献
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1.
采用离子束增强沉积方法,在p型(100)单晶硅衬底上,通过不同能量的氙离子辅助轰击,以不同的沉积速率制备了Ti-B超硬薄膜。X射线衍射分析结果表明,Ti-B薄膜呈TiBx多晶结构,其晶化程度随蒸发速率的不同而变化,而其缺位值x随氙离子轰击能量的不同而变化。超显微硬度的测试结果表明,氙离子束能量为60keV,沉积速率为0.6nm/s时,可以获得性能最佳的Ti-B超硬薄膜,其本征硬度在测试负荷为5mN时达28.6GPa,超过了TiB体材料的硬度水平,是衬底硅片的3.2倍。利用SEM观察了Ti-B薄膜的横断面,并讨论了工艺参数对Ti-B超硬薄膜韧性的影响。  相似文献   

2.
介绍了利用反应溅射法制备Ti1-xAlxN薄膜的工艺过程,测量并分析了Ti1-xAlxN薄膜的光学性能及电阻率与薄膜成分的关系。结果表明Ti1-xAlnX薄膜的折射率和消光系数均随薄膜中Al含量x的增加而减小,电阻率则随x的增加而增大。并从薄膜的基本结构变化对实验结果作出解释。  相似文献   

3.
离子束辅助沉积(Ti,Al)N梯度薄膜的结合强度   总被引:3,自引:0,他引:3  
谢中维  贺小明 《真空》1998,(2):23-27
本文采用离子束辅助沉积技术,制备了不同成分梯度的一系列(Ti1-xAlx)N膜(其中x=0.16~0.44),并利用刮剥式结合强度测量方法,对薄膜成分对结合强度、内应力、硬度等的影响进行了研究。研究工作发现,刮剥法测得的结合强度,在x=~0.31处取得最大结合强度值后,随薄膜成分梯度的增大而下降,但在重要的40%~50%Al区域内,梯度(Ti,Al)N膜的结合强度、硬度以及内应力却都维持在一个较为稳定的水平,较少受薄膜成分等的影响。梯度((Ti,Al)N膜的结合强度主要受膜中残余应力的影响。  相似文献   

4.
反应溅射GexC1—x薄膜的沉积速率   总被引:1,自引:1,他引:0  
系统地研究了射频磁控反应溅射中工艺参数GexC1-x薄膜沉积率的影响,结果表明,当气体流量比过某值后,沉积速率较大的下降。沉积速率随射频率功率的增大而增大,某工作气压下有沉积速率的最大值,薄膜厚度时间增长规律在出现靶中毒及未出的靶中毒的情况下略有差别。  相似文献   

5.
李戈扬  王纪文 《材料工程》1998,(10):19-21,29
采用双靶轮流溅射技术,以Ti和六方氮化硼反应合成了Ti-B-N薄膜,并采用XRD,TEM和显微硬度计研究薄膜的微结构及其力学性能。结果表明,镀态Ti-B-N薄膜为非晶体Ti(N,B)化合物,其硬度达到HK2470;薄膜经过热处理晶化形成TiN结构类型的Ti(N,B)晶体,硬度略有降低。  相似文献   

6.
采用B3N3H6-N2混合气体为原料,余辉微波等离子体增强化学气相沉积BN薄膜,漫反射富氏变换红外光谱分析表明,在550℃沉积温度下,1Cr18Ni9Ti基片上获得了低含氢量的c-BN和少量h-BN相的混合薄膜。薄膜Knoop硬度值为20.8GPa。划痕试验法测定薄膜的附着性,临界载荷为8.1N。  相似文献   

7.
本文介绍用离子束增强沉积(IBED)法在硅片上制备氮化硼(BN)薄膜及镀膜参数对膜中立方氮化硼(c-BN)含量的影响的试验研究,主要研究轰击离子束密、镀膜速率、轰击束中氩气的含量及衬底温度的影响。用红外(IR)谱对膜进行了分析,结果指出:(1)在给定的轰击束能量与束密下氮化硼薄膜中立方相的含量是随镀膜速率而变化的,且存在一个最佳镀膜速率值;(2)提高离子轰击束密,则此最佳镀膜速率值也相应增大;(3)镀膜速率又是随轰击束密及轰击束中氩气含量的增大而减小的;(4)衬底温度在400℃以下时,膜中c-BN相的含量随温度提高而增加。  相似文献   

8.
采用B3N3H6-N2混合气体为原料,余辉微波等离子体增强化学气相沉积BN薄膜.漫反射富氏变换红外光谱分析表明,在550℃沉积温度下,ICr18Ni9Ti基片上获得了低含氢量的c-BN和少量h-BN相的混合薄膜.薄膜Knoop硬度值为20.8GPa.划痕试验法测定薄膜的附着性,临界载荷为8.1N.  相似文献   

9.
研究了当燃烧波蔓延通过(Ti-2B-60wt%Cu)/(3Ti-2BN-x·Cu)(x=0、10、20、 40wt%)两层混合粉料时,稀释剂Cu含量和生坯压制压力p的变化对燃烧波形态和传播速度的 影响.经实验测定,当p=60MPa时;燃烧波在(3Ti-2BN)、(3Ti-2BN-10wt%Cu)、(3Ti-2BN- 20wt%Cu)、(Ti-2B-60wt%Cu)单层混合物中的传播速度分别为4.96mm/s、4.43mm/s、 2.17mm/s、 18.52mm/s,燃烧波不能蔓延通过(3Ti-2BN-40wt%Cu)单层混合物。对于(Ti- 2B-60wt%Cu)/(3Ti-2BN-x·Cu)层状混合物,从一端点火以后,燃烧波形态随(3Ti-2BN-x·Cu) 层金属含量的增加由弯向(3Ti-2BN-U·Cu)层的弧形改变为切向该层的楔形.此外,还研究了 生坯压制压力p=12、 24、 84、 108MPa时,不同生坯密度对燃烧波形态和传播速度的影响 规律.  相似文献   

10.
Ba1—xSrxTiO3薄膜的制备及特性研究   总被引:9,自引:1,他引:8  
王培英  王欣宇 《功能材料》1998,29(5):536-538
用溶胶-凝胶方法制备Ba1-xSrxTiO3(BST)薄膜材料,研究薄的结构和电性能。用XDR及SEM分析了沉积在硅片上的BST薄膜的结构,测试了在室温下BST薄膜的电滞回线及介电特性。  相似文献   

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