碳纳米管阴极电离真空计研制及其性能研究

碳纳米管阴极电离真空计在超高/极高真空测量中具有广阔应用前景,基于碳纳米管阴极研制了测量范围10-9~10-4Pa的电离真空计,真空规管包括了碳纳米管阴极、门极、阳极、反射极和收集极,电路控制系统由高压电源、微弱离子流测量和控制电路组成。实验研究结果表明,不锈钢衬底上直接生长制备的碳纳米管阴极性能良好,开启场强和阈值场强分别为1.9 V/μm和3.9 V/μm,当阳极电流为42μA时,碳纳米管阴极电离真空计本底干扰可降低到1.81×10-9Pa。     

热阴极电离真空计电参数校准装置电流源设计与仿真分析

针对热阴极电离真空计电参数校准装置中电流源设计的关键技术,本文提出一种用于真空计电参数校准的内置单运放电流源及其非理想化低频等效模型,并通过PSPICE仿真对电路性能进行分析。装置适用于100 MΩ～100 GΩ负载条件,负载为1 GΩ时输出电流相对变化率为0.3×10~(-6)。解决了当前热阴极电离真空计电参数校准装置电流源不适用于低位离子流采样的超高电离真空计的问题,达到校准不同型号热阴极电离真空计离子流放大器的效果,为电参数校准装置的研制提供理论依据及参考。     

多功能真空校准装置

为满足航天器热试验常用真空计及标准漏孔的校准需要,研制了多功能真空校准装置。该装置可用于进行热偶真空计、压阻规、电容薄膜真空规、潘宁规、热阴极电离规等真空测量传感器的校准,同时也可以用于渗透型真空漏孔的校准。装置选用静态比对法、动态比对法、质谱比对法设计建成,真空校准范围为1.33×10~5Pa~1×10~(-4)Pa,真空漏孔校准范围为5×10~(-5)~5×10~(-9)Pa·m~3/s,装置智能化水平高,操作简便,适合真空规管的批量校准。     

能量分析器型真空电离规性能研究

电子激励脱附(ESD)效应和软X射线效应是影响电离真空计测量下限的两大重要因素。基于能量分析器研制了电离真空规,在极高真空校准装置上对其开展性能研究,包括不同压力或不同阴极发射电流下的离子流、ESD效应和软X射线影响。结果表明,系统压力介于10^-8 Pa和10^-6 Pa之间,当气体发生电离,能量分析器电压在低于阳极电压约25 V时收集极能得到最大的气相离子流。系统压力在10-7~10^-8 Pa量级,采用2.5 mA的发射电流可得到比1 mA更大的气相离子流值。分离气相离子与ESD离子的能量筒电压差约为30 V,规管栅极除气后可降低ESD效应至除气前的37.5%。电离规的软X射线带来的本底干扰对应等效压力约为9×10^-11 Pa。     

超高真空计微弱离子流检测技术研究

在超高真空环境下，Bayard-Alpert型电离真空计通过电离气体分子得到的离子流信号十分微弱，且极易受到干扰。介绍了一种用于超高真空测量的微弱信号检测系统，包括测量电路、调零电路与处理模块。该系统采用高精度放大器与高绝缘继电器，可以实现微弱信号的精密放大，满足mA级至亚pA级范围的宽量程电流信号检测；能够自动完成测量档位的切换、系统调零、数据处理与真空全压力值计算，测量下限可达10^-13A量级，可用于超高真空计离子流的精确测量，具有良好的线性及稳定性。     

自制高真空电离真空计电路校准仪

三极管式热阴极电离真空计是应用较广泛的真空测量仪器。它的原理、结构等特点决定了它的测量范围在10-4托～10-7托,在各电子管厂中被广泛地使用着。电离真空计的好坏及测量准确与否直接关系到电子管生产质量的优劣,为此,必须对电离真空计进行校准,包括对电离真空计的DL—2型规     

15Mn26Al4无磁钢在真空冷规上的应用

一、前言从真空工作范围来讲,以低、中真空比较普及。中真空测量技术在气体放电、等离子体、稀薄气体动力学以及真空冶炼、真空焊接,真空镀膜、空间模拟等方面具有重要的实际意义。目前广泛使用的电离(DL—2)—热偶(DL—3)复合真空计虽已有几十年的历史,但它的缺点却随着低、中真空技术的推广而日益显露。主要是:DL—2电离真空计在5×10~(-4)～1×10~(-3)乇内寿命很短、阴极工作十多小时后,发射能力将急剧下降;而在10~(-2)乇附近的低真空时,往往由于DL—3热偶计的判断失误、导致DL—2电离计进入高压强下工作,使电离计的电极氧化,甚至烧毁灯丝。此外,电离计是玻璃外壳,容易损坏。     

一种基于CF400接口分子泵抽速测试装置

针对国产化大抽速分子泵测试需求,研制出基于CF400接口分子泵抽速测试装置。采用量程为10～10~(-9) Pam~3/s的复合型标准气体流量计提供可变的标准流量,仅用流量法实现了测试罩内气体压力处于10~(-1)～10~(-7) Pa范围的抽速测试,而传统测试方法采用标准流导法和流量法相结合实现该范围的测试;装置集成了在线真空校准功能,用磁悬浮转子真空计作为参考标准,实现在10~(-1)～10~(-4) Pa范围内对测试罩内气体压力的直接测量及副参考标准电离真空计的在线校准。研制的装置与原有测试方法相比较优点主要为:采用一种方法实现了分子泵抽速测试;在线校准技术解决了原有测量过程电离真空计灵敏度系数发生变化引起测量结果出现的较大偏差;实现对不同气体抽速的直接测量,避免原方法只能给出等效氮气测试结果的不足。实验结果证明,装置对分子泵抽速的测试范围为3000～5000 L/s,测量结果的合成标准不确定度为2.2%～4.4%。     

《WZK─IP型》复合计改为高压强计试验报告

一、概述 近年来,在低真空测量方面,工业上通常采用热传导真空计(热偶计、电阻真空计)或水银真空计。在工业用的真空系统中,如真空冶金、真空镀膜、真空浸渍、制药、造纸等要测量的压强常常处在中真空范围(1～10-5乇),因此广泛采用复合计。 热传导真空计测量准确性较差,受环境温度,油蒸汽污染的影响较大,对压强的快速变化反应较慢。水银真空计虽然原则上比较准确一些,但它影响工人的健康,此外操作不方便,读数慢,不能测量可凝性汽体等缺点。复合计的低真空和高真空衔接不好,用钨丝做灯丝的电离计管在10-1～10-3乇情况下工作寿命很短,。高压强…     

极高真空测量坐标系

极高真空测量指的是低于10~(-9)帕范围内的压力测量。首先介绍了最有希望解决10~(-11)～10~(-13)帕测量难题的电离规的测量下限所受到的四个限制因素.在第二部分综述了极高真空的测量技术.先对迄今为止所研究的极高真空测量技术进行归纳和分类.然后重点介绍了对热阴极电离规的收集极的改进情况.热阴极电离规中.对收集极的研究是进行得最多.也最有成效的一个方面.分析了7种改进方法.最后介绍了阴极和阳极的改进情况.第三部分建立了极高真空测量坐标系.三个坐标轴分别表示离子收集极、阳极技术、阴极技术.每一项具体技术也是对应于坐标轴上的元素.并用数字待号来表示.利用这个坐标系可以对极高真空测量技术有一个全面的总体认识.从而方便地分析各种技术之间的联系.然后对如何应用这个坐标系进行了应用举例.文末列出了有关的参考文献20篇.     

ZX BJ型真空计线路标准检定装置的打印输出

为了保证测量真空度的准确性,真空仪 表必须提供足够精度和稳定度的电参数。 ZX BJ型真空计线路标准检定装置是检定电 离真空计和热偶真空计电气线路各项参数的 必要设备。用来测量供电电压在额定值或变 化± 10%条件下的电离真空计的零点漂移 (VL)、发射电流(Ic)、收集极电压(Vc) 和加速极电压(vg);也可在某一电源电压 下,测上述某一参数一小时内的改变及校电 离真空计测量离子流的准确性和线性;检定 热偶真空计的加热电流和热偶电势。为了提 高检测速度和可靠性,本装置除了手动测量 以外,还可以自动测量,即在一个测量周期内,在额定电…     

1981年总目录

第一期强流轴向电子枪的设计与计算………(1)真空密封橡胶的选择与应用………(16)四级质谱计的真空系统与取样装置…(21)放电管在压强测量及良动保护线路 中的应用…………………………(30)自制高真空电离真空计电路 校准仪………………………………(37)ZXBJ型真空计线路标准检定装置 的打印输出………………………(41)反流氦质谱检漏技术……………………(45)双调制抗干扰快速电离真空计──用于 受控研究装置中气体密度测量……(48)质谱法测量极高真空的若干问题……(57)单一旋片真空泵……………………(63)磁性流体旋转轴密封的一些经…     

一种(10~5～10~(-8))Pa真空计校准装置的设计

针对(10~5～10~(-8))Pa复合型真空计的一次性校准需求,设计出相应的校准装置。装置主要由校准室、真空测量模块、抽气与供气模块、标准气体流量计、烘烤模块等部分组成。设计的校准室为球形容器,通过串联分子泵组和离子泵抽气,在校准室中获得10~(-9) Pa量级的极限真空度。真空计的校准通过静态比较法、动态比较法及标准流量法实现,静态比较法采用电容薄膜真空计作为参考标准实现(10~5～10~(-1))Pa的校准范围;动态比较法用磁悬浮转子真空计作为参考标准实现(10~(-1)～10~(-4))Pa的校准范围;标准气体流量法采用(10~(-5)～10~(-9))Pa·m~3/s的标准气体流量计提供标准气体流量,实现(10~(-4)～10~(-8))Pa的校准范围。本文设计的校准装置范围为(10~5～10~(-8))Pa,合成标准不确定度估计为0.9%～2.3%,解决了对宽量程真空计的一次性校准技术问题。     

真空计现场校准装置的研制

研制了一台便携式真空计现场校准装置,采用分体式设计,结构紧凑,装置小型化,便于现场移动。集成MKS薄膜真空计和370电离真空计作为标准器,利用静态比较法和动态平衡法,极限真空度可达10-6 Pa量级,在(1×10-3～1×105)Pa的测量范围内,相对扩展不确定度Urel=(5～0.5)%(k=2),解决了真空计及真空系统现场校准的难题,综合技术指标达到国内先进水平。     

量程为760～10~(-3)托的对流式电阻真空计

在科研和工业生产中,高压强的连续测量是十分需要的。我所研制并生产的RZ-1型对流式电阻真空计,可测量760～10-3托,它具有反应快、精度高、结构简单、坚固耐用、抗氧化等特点,并可予置真空度以及0～10毫伏输出,可供外电路控制打字、记录等使用;可代替汞U型计,避免水银中毒。它与中真空电离真空计(1～10-6托)、热偶电离复合计(10-1～10-8托)、B-A计(10-3～10-11托)、宽量程 B—A计 (10-1～10-11托)、冷阴极磁控式极高真空计(10-5～10-13托)组成测量范围互相覆盖并衔接的测量仪表系列。 物体热传导过程通常有三种形式:对流(气体热传导)、辐…     

一种基于CF400接口分子泵抽速测试装置北大核心CSCD

针对国产化大抽速分子泵测试需求,研制出基于CF400接口分子泵抽速测试装置。采用量程为10~10-9 Pam3/s的复合型标准气体流量计提供可变的标准流量,仅用流量法实现了测试罩内气体压力处于10-1~10-7 Pa范围的抽速测试,而传统测试方法采用标准流导法和流量法相结合实现该范围的测试;装置集成了在线真空校准功能,用磁悬浮转子真空计作为参考标准,实现在10-1~10-4 Pa范围内对测试罩内气体压力的直接测量及副参考标准电离真空计的在线校准。研制的装置与原有测试方法相比较优点主要为:采用一种方法实现了分子泵抽速测试;在线校准技术解决了原有测量过程电离真空计灵敏度系数发生变化引起测量结果出现的较大偏差;实现对不同气体抽速的直接测量,避免原方法只能给出等效氮气测试结果的不足。实验结果证明,装置对分子泵抽速的测试范围为3000~5000 L/s,测量结果的合成标准不确定度为2.2%~4.4%。     

《真空测量与控制》一书出版发行

正合肥工业大学朱武、干毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力     

《真空测量与控制》一书出版发行

合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基     

《真空测量与控制》一书出版发行

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