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相似文献
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1.
中频直流磁控反应溅射法制备掺铝氧化锌薄膜的研究   总被引:2,自引:1,他引:1  
利用中频直流磁控反应溅射法(MF-DC-MS)在玻璃衬底上制备了掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜。利用X射线衍射(XRD)、四探针法和分光光度计深入研究了衬底温度对AZO薄膜的结构、电学和光学特性的影响。研究结果表明3h的沉积使AZO薄膜丧失了(002)c轴择优取向。随着衬底温度由210℃升高到270℃,AZO薄膜的电阻率从7.5×10-3Ω.cm降低到2.5×10-3Ω.cm。高于270℃后,电阻率又略有升高。电阻率的变化趋势可从薄膜微观结构的角度得到合理解释。随着衬底温度的升高,AZO薄膜的吸收边先发生了蓝移。高于270℃后,又发生了红移。利用Burstein-Moss效应分析了AZO薄膜吸收边的蓝移和红移。该结果和电阻率的结果相印证。  相似文献   

2.
采用分子束外延(MBE)法,在优化Ge衬底退火工艺的基础上,通过对比在(001)面偏<111>方向分别为0°、2°、4°和6°的Ge衬底上生长的GaAs薄膜,发现当Ge衬底的偏角为6°时有利于高质量GaAs薄膜的生长;通过改变迁移增强外延(MEE)的生长温度,发现在GaAs成核温度为375℃时,可在6°偏角的Ge衬底上获得质量最好的GaAs薄膜。通过摸索GaAs/Ge衬底上InAs量子点的生长工艺,实现了高效的InAs量子点光致发光,其性能接近GaAs衬底上直接生长的InAs量子点的水平。  相似文献   

3.
采用MOCVD系统,在图形化的绝缘体上硅(SOI:silicon-on-insulator)衬底上侧向外延生长了GaN薄膜。利用SEM、TEM和Raman光谱对生长的GaN薄膜的质量进行了分析研究。研究发现,在GaN的侧向外延生长区域,侧向生长的GaN能够完全合并,GaN薄膜内的残余应力减小,穿透位错密度大幅度降低。  相似文献   

4.
利用分子束外延方法(MBE)在GaAs(001)衬底上外延生长了GaSb薄膜,利用高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、原子力显微镜(AFM)、Hall效应(HallEffect)和低温光荧光谱(LTPL)等手段对薄膜的晶体质量、电学性能和光学质量进行了研究。发现直接生长的GaSb膜表面平整,空穴迁移率较高。引入GaSb/AlSb超晶格可有效阻断进入GaSb外延层的穿通位错,对应的PL谱强度增强,材料的光学质量变好。  相似文献   

5.
利用金属有机物化学气相沉积技术在具有斜切角度的蓝宝石衬底(0~0.3°)上生长了非故意掺杂GaN薄膜,并采用显微镜、X射线双晶衍射、光荧光及霍尔技术对外延薄膜的表面形貌、晶体质量、光学及电学特性进行了分析.结果表明,采用具有斜切角度的衬底,可以有效改善GaN外延薄膜的表面形貌、降低位错密度、提高GaN的晶体质量及其光电特性,并且存在一个衬底最优斜切角度0.2°,此时外延生长出的GaN薄膜的表面形貌和晶体质量最好.  相似文献   

6.
用ICB外延技术在NaCl解理面和(100)GaAs衬底上外延的CdTe单晶薄膜,以透射电子衍射及RHEED分析,都表明获得了好的单晶结构及平滑膜面。外延取向关系为:GdTe(100)//NaCl(100);当衬底预处理温度为480℃时,CdTe(100)//GaAs(100);当预处理温度为580℃时,CdTe(100) (111)//GaAs(100)。实验发现,当坩埚内CdTe蒸气压足够高时,薄膜生长体现出团粒束淀积所特有的规律,即随着团粒能量的增大,CdTe外延膜的结构质量显著改善。在CaAs衬底上外延所得的最好的CdTe膜,其双晶衍射摆动曲线半高宽为630arc,  相似文献   

7.
采用分子束外延(MBE)技术在GaAs衬底上生长Al_(0.26)Ga_(0.74)As外延层,并在相同的退火条件下,分别退火0,10,20,40 min。利用扫描隧道显微镜对不同退火时间下Al_(0.26)Ga_(0.74)As/GaAs样品表面进行了扫描,得出不同退火时间Al_(0.26)Ga_(0.74)As/GaAs表面形貌特点。在40 min的热退火后,Al_(0.26)Ga_(0.74)As/GaAs表面完全熟化。本文采用基于热力学理论的半平台扩散理论模型估测获得平坦Al_(0.26)Ga_(0.74)As/GaAs薄膜表面所需退火时间,根据理论模型计算得到Al_(0.26)Ga_(0.74)As/GaAs平坦表面的退火时间和实验获得平坦表面所需退火时间一致。  相似文献   

8.
利用同步辐射光电子能谱技术研究了Tb/GaAs(10 0 )界面的吸附过程和界面形成。通过对价带谱及高分辨率的Ga,As芯能级谱的研究表明 ,在较低的覆盖度下 (<0 2nm) ,Tb与GaAs衬底的反应很弱 ,形成较突变的金属 /半导体界面。当Tb的覆盖度增加时 ,As 3d和Ga 3d的表面发射峰很快消失 ,Tb与衬底发生反应 ,置换出Ga而与As形成化学键。同时Ga原子会向Tb薄膜内扩散并偏析到表面 ,而Tb As化合物只停留在界面附近区域。当Tb淀积到 0 6nm时 ,Tb膜金属化。  相似文献   

9.
用于GaN基发光二极管的蓝宝石图形衬底制备进展   总被引:2,自引:0,他引:2  
近几年, 图形化蓝宝石衬底因其作为GaN基发光二极管外延衬底, 不仅能降低GaN外延薄膜的线位错密度, 还能提高LED的光提取效率而引起国内外许多科研机构的广泛研究兴趣. 本文综述了图形化蓝宝石衬底提高GaN基发光二极管性能的作用机理, 重点评述了目前图形化蓝宝石衬底的制备方法(湿法刻蚀、干法刻蚀、固相反应)和图形尺寸(微米图形化、纳米图形化), 分析比较了不同制备方法和图形尺寸制备蓝宝石图形衬底对GaN基发光二极管性能改善, 最后针对蓝宝石图形衬底制备存在的问题对其今后的发展方向做出展望.  相似文献   

10.
利用射频磁控溅射法在Si(111)衬底上先溅射ZnO缓冲层,再溅射Ga2O3薄膜,然后在开管炉中不同温度下通氨气进行氨化反应生长GaN薄膜.分析结果表明,利用该方法制备的GaN薄膜是六角纤锌矿多晶结构,并且随着氨化温度的升高,GaN薄膜向棒状和线状形态转变.同时分析了ZnO缓冲层对形成GaN纳米结构的影响.  相似文献   

11.
The results of an investigation of different types of tungsten lamps in order to estimate the components of the error budget of spectrum-pyrometer apparatus are presented. Quantitative relations are considered and the results of experimental research, which enable systematic methods to be developed for eliminating the influence of polarization of the radiation of the lamps in standard radiation thermometry, are analyzed.Translated from Izmeritelnaya Tekhnika, No. 9, pp. 42–45, September, 2004.  相似文献   

12.
反渗透设备是水处理行业常用设备,广泛用于纯水、高纯水等的预处理.通过试验,找到两种降低反渗透设备出水电导率的方法:反渗透设备进水软化后加碱和反渗透设备进水酸化后脱气,这两种方法都有一定的应用范围,应根据工艺要求和运行费用选择使用.  相似文献   

13.
本文研究用8098单片机对密闭大贮槽的贮液容量进行自动检测的应用系统,解决了把贮槽液位测量传感器输出的电流信号直接转换成贮液重量进行显示,从而使显示直观、清晰.  相似文献   

14.
Marchuk  V. I. 《Measurement Techniques》2003,46(12):1121-1126
A new approach is considered to processing the results of measurements. It is utilized as a basis for carrying out primary processing including the detection and elimination of anomalous measurements and also for cleansing results of additive noise components. The results are presented of an analysis of the efficiency of a method for multiplying estimates when cleansing the results of measurements of additive noise components.  相似文献   

15.
胡飞  米江辉 《包装工程》2021,42(12):39-50
目的 辨析"人工科学""人居环境科学""事理学"的本质属性和共性特征,并探讨新时代背景下设计学科理论体系建设的可能性方向.方法 首先,采取文献法,回溯人工科学、人居环境科学和事理学的提出及其相关成果,并借助VOSviewer工具分析三者在国内的发展状况,重在厘清理论脉络、理论应用及其对学界和业界产生的不同程度的影响;其次,运用比较法,分别从研究内容、研究思维、研究途径三个维度逐一展开,重在总结三者在认识论、方法论等层面的特性与共性.结论 人工科学、人居环境科学、事理学在学理上具有同一性,可将"人工科学"作为世界设计学科共性基础理论之一,将"人居环境科学""事理学"视为世界设计理论中的"中国智慧"和"中国方案".  相似文献   

16.
刘瞻 《爆破器材》2001,30(1):7-10
通过实验检验表面活性剂对太安表面静电积累的降解效果,测定表面活性剂对太安基本性质的影响,分析比较对表面活性剂的优化选择。  相似文献   

17.
近红外技术应用于成品卷烟的内在质量稳定性控制   总被引:3,自引:0,他引:3  
以某品牌卷烟为例,采用傅立叶变换近红外光谱技术采集成品卷烟的近红外光谱,结合连续流动法测定样品中还原糖、烟碱、氯、钾含量的数据,采用偏最小二乘法(PLS)分别建立了预测品牌卷烟烟丝中还原糖、烟碱、氯、钾及糖碱比、钾氯比的近红外模型,模型的相关系数(除钾外)都在0.95以上。用建立的模型快速检测红狼卷烟的各化学成分,通过值的波动范围初步监控成品的质量稳定性。并采集它们的近红外光谱,应用连续小波变换(CWT)对原始光谱进行预处理,再对CWT系数进行主成分分析(PCA),在PCA分析的基础上引入马氏距离算法建立成品卷烟质量稳定性评价模型。通过研究光谱预处理对卷烟样品分类鉴别的影响,确定马氏距离阈值Dthro,结合近红外定量测定值与马氏距离阈值Dthro,对卷烟产品质量稳定性进行评价和控制。  相似文献   

18.
We propose a computational scheme of the aircraft nose landing gear and perform the analysis of weak sections in the landing-gear lever by the finite-element method. We determine the loading modes in which the landing-gear lever is subjected to disproportional cyclic loads, which should be taken into account in the evaluation of the service life and determination of the properties of applied materials. __________ Translated from Problemy Prochnosti, No. 4, pp. 87–93, July–August, 2008.  相似文献   

19.
20.
市场经济体制下,利用市场机制配置资源及政事分离是我国公立高校面临的迫切要求。而这一要求得以付诸实践的前提之一就是实行高校所有权和经营权的分离。文章认为,当前我国公立高校两权分离是不彻底的,并指出高校的所有权和经营权存在分离的现实基础以及高校与市场、高校与政府间矛盾生成的动力机制,这些决定了两权分离将成为高校未来发展的合理方向。  相似文献   

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