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TiO2薄膜的Sol—gel制备及结构分析 总被引:9,自引:2,他引:7
以正钛酸丁酯,无水乙醇和冰醋酸为原料,采用Sol-gel工艺匀胶技术在石英玻璃和单晶硅衬底上成功地制备了TiO2薄膜,薄膜表面均匀,致密,无裂纹。研究表明,随热处理温度的提高,薄膜经锐钛矿转变为金红石结构,其转变温度因衬底不同而异,但比凝胶粉末的转变温度高,金红石结构的TiO2薄膜具有一定的择优取向性,其晶粒大小为0.05~0.15μm。 相似文献
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热处理对溶胶-凝胶TiO2薄膜的晶相转变和性能影响 总被引:13,自引:1,他引:12
以钛酸丁酯(TPOT)为有机醇盐前驱体,采用溶胶-凝胶技术制备了TiO2溶胶。为测量方便起见,分别制备了凝胶粉体和薄膜,并对样品进行了不同温度的热处理。X射线衍射(XRD)、椭偏仪和紫外-可见光谱(UV-vis)的测量表明:随热处理温度的升高,TiO2的结构由非晶到锐钛矿再到金红石相转变,400℃为锐钛矿相,600℃开始出现金红石相,800℃完全转变为金红石相;晶粒尺寸随热处理温度的升高而逐渐增大,锐钛矿结构的晶粒尺寸范围是2.5-5.5nm,金红石结构的晶粒尺寸范围是5.9-6.8nm;TiO2薄膜的折射率随热处理温度的升高而增大,同时薄膜厚度降低;禁带宽度随热处理温度的升高而增大,同时薄膜厚度降低;禁带宽度随热处理温度升高而变窄,锐钛矿结构的禁带宽度为3.45eV,而金红石结构的禁带宽度为3.30eV。 相似文献
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采用脉冲激光沉积技术(PLD)在硅基片上生长了二氧化钛纳米晶氧化物薄膜,系统讨论了基片温度、氧分压等冈素对薄膜结构特性的影响.X射线衍射结果表明在氧气氛下,生长的薄膜为锐钛矿结构,其结晶性随着基片温度的升高而增强,在750℃、5Pa氧压的情况下为完全c轴取向的锐钛矿相TiO2薄膜,在750℃、5Pa氩气氛下则为(110)取向的金红石相薄膜.场发射扫描电子显微镜结果表明薄膜表面致密,呈纳米晶结构,其晶粒尺寸在35nm左右.用傅立叶红外光谱和拉曼光谱对不同条件下制备的TiO2薄膜进行了表征,紫外-可见透射光谱的测试结果表明,薄膜在可见光区具有良好的透过率,计算得到制备的锐钛矿和金红石相TiO2薄膜在550nm处的折射率分别为2.3和2.5,其光学带隙分别为3.2和3.0eV.因此通过沉积条件的改变可得到结晶性能和光学性能都不同的TiO2薄膜. 相似文献
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银钠米粒子/二氧化钛复合薄膜的溶胶凝胶法制备及其光学性质的研究 总被引:5,自引:0,他引:5
用溶胶凝胶法制备了含纳米级银粒子的TiO2薄膜,对薄膜进行了XRD,TEM,XPS等测试,发现空气中600-800℃热处理形成了含4-45nm的Ag金属粒子的锐钛矿和金红石多晶薄膜,Ag微粒子热处理温度升高而增长,这些薄膜在可用光区有一个较宽的吸收峰。 相似文献
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采用淀粉产法制备了TiO2-K2O-Y2O3-SiO2(Ti:K:Y:Si=1:0.1+0.04+0.05,摩尔比)陶瓷薄膜结露元件,研究了陶瓷粉末和薄膜的结构以及元件的感湿性能。600℃热处理后,陶瓷粉末和薄膜主要由锐钛矿型Tdisplay status 相似文献
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纳米TiO2粉晶的XRD研究 总被引:36,自引:5,他引:31
用溶胶-凝胶法制备了纳米TiO2粉晶,对不同温度自理的系列粉末用X射线衍射进行了研究,发现所得粉晶随热处理温度的不同发生了从锐钛矿到金红石相的转变。对系列粉晶进行了X射线衍射点阵参量计算,结合所得的晶粒度和微结构参数,发现纳米TiO2粉晶组元中存在着晶格畸变。 相似文献
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纳米TiO2薄膜的脉冲激光沉积及其光学特性 总被引:1,自引:1,他引:0
采用脉冲激光沉积技术(PLD)在硅基片上生长了二氧化钛纳米晶氧化物薄膜, 系统讨论了基片温度、氧分压等因素对薄膜结构特性的影响.X射线衍射结果表明在氧气氛下, 生长的薄膜为锐钛矿结构, 其结晶性随着基片温度的升高而增强, 在750℃、5Pa氧压的情况下为完全c轴取向的锐钛矿相TiO2薄膜, 在750℃、5Pa氩气氛下则为(110)取向的金红石相薄膜. 场发射扫描电子显微镜结果表明薄膜表面致密, 呈纳米晶结构, 其晶粒尺寸在35nm左右.用傅立叶红外光谱和拉曼光谱对不同条件下制备的TiO2薄膜进行了表征.紫外-可见透射光谱的测试结果表明, 薄膜在可见光区具有良好的透过率, 计算得到制备的锐钛矿和金红石相TiO2薄膜在550nm处的折射率分别为2.3和2.5, 其光学带隙分别为3.2和3.0eV.因此通过沉积条件的改变可得到结晶性能和光学性能都不同的TiO2薄膜. 相似文献