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相似文献
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1.
微机电系统的发展及其应用   总被引:7,自引:2,他引:7  
微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21世纪的高新科技.介绍了微机电系统产生的背景影响、组成特征和基础研究内容,综述了微机电系统技术基础所涉及的材料、微机械设计和模、微细加工技术以及微封装与测试等领域,并对微机电系统的应用、典型的微器件、国内外的发展现状及前景进行全面分析.在此基础上,论述了MEMS技术目前存在的问题和未来发展的趋势.  相似文献   

2.
微电子材料在微机电系统(MEMS)的发展中越来越受到青睐,但是其工艺加工的不足限制了实际应用的步伐。微塑性成形可以成形微电子器件,由于其尺寸微型化,在微塑性成形中存在一个不可避免的“尺度效应”问题,尺度效应表现在材料的流动行为、成形中摩擦效应和实验结果的分散性上。在介绍尺度效应的基础上对其进行了分类,给出了判断标准,并从流动应力、晶粒尺度、摩擦效应和温度效应等方面综述了尺度效应对微塑性成形的影响。由于基于连续介质的传统塑性力学理论无法解释微塑性成形过程中的尺度效应,因此引入了非均匀介质的塑性应变梯度理论并进行了探讨,最后指出了尺度效应的研究发展方向,从而促进微电子材料的开发应用。  相似文献   

3.
文章简要介绍微机电系统(MEMS)的发展现状及应用,并根据发展和应用现状分析MEMS发展的瓶颈和面临的问题。在此基础上,阐述MEMS的发展趋势。  相似文献   

4.
微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS)   总被引:1,自引:0,他引:1  
微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础研究阶段.本文强调了制造技术是微/纳机电系统发展的基础,在简单地介绍了典型的MEMS和NEMS器件和系统后,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景.  相似文献   

5.
王灵婕  林吉申 《功能材料》2004,35(Z1):939-942
以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术,是实现信息采集、处理、执行一体化,使之成为真正的系统.本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求,以及近年来各种硅材料和功能材料在MEMS的应用和最新进展.  相似文献   

6.
微机电器件的稳健设计   总被引:6,自引:0,他引:6       下载免费PDF全文
  微机电系统(MEMS)是一个新兴的跨学科研究领域,成本和可靠性是MEMS商品化的关键。与传统的机械加工和IC加工相比,MEMS加工的尺寸偏差比较大,而且很难控制,因此需要在设计过程中充分考虑加工的不确定性。稳健设计可以在不提高制造成本的前提下提高设计方案的稳健性。稳健优化设计方法主要包括 Taguchi方法和基于容差模型的方法,后者特别适合于处理带约束的优化设计问题。以微加速度计和微阀为例给出了稳健设计在MEMS设计中的应用,验证了稳健设计可以显著提高MEMS器件的信噪比。  相似文献   

7.
本文在微机电(MEMS)技术上设计并加工出了一种新型基于SOI工艺的谐振式微扫描镜,设计了MEMS扫描镜机电特性测量系统,对MEMS扫描镜的工作原理、机电特性、系统测量方法、系统方案实现和系统精度评定等方面进行了研究.首先,介绍了MEMS扫描镜的工作原理,对其结构设计及机电特性进行了研究.其次,研究了MEMS扫描镜的频...  相似文献   

8.
为了提高检测微机电系统(micro-electro-mechanical systems, MEMS)结构谐振频率的准确性,笔者针对湿汽对MEMS微结构影响的问题,进行了实验设计,并分析了MEMS微结构在振动载荷下谐振频率的变化特性.结果表明,振动初期谐振频率的变化是由于MEMS微结构吸附及解吸附湿汽的作用造成的,而并非是由结构刚度的变化引起的.因此,利用谐振频率检测结构参数变化的实验中,考虑环境湿度的影响十分必要.  相似文献   

9.
第一届IEEE纳米/微米工程及分子系统国际年会(IEEE NEMS)将在中国珠海举行.IEEE NEMS是IEEE纳米技术委员召开的第一次会议,会议将召集世界顶尖学者就几个关于MEMS和纳米科技专题展开讨论,推动最新的研究成果的共享,促进跨领域学科信息、知识的互通,从而增进各技术领域的发展.微机电系统最终发展至纳米机电系统但同时对于构建完整的纳米器件及其系统又不可或缺.可以预见,在不远的将来微纳米科技将会发展成为影响全球发展和人类生活的重要技术之一.  相似文献   

10.
立体微型器件的微制造技术及其在微机电系统(MEMS)的应用   总被引:6,自引:0,他引:6  
综述了近年来与微型机电系统(MEMS)相关的材料微制造和微加工技术的最新研究进展。重点介绍了如何利用硅晶片作为微型模具来制备压电陶瓷和热电材料的微型柱状阵列结构和反应烧结碳化硅微型转子等微制造技术,并展望了材料微制造技术在研制微型医疗器件和微型移动能源方面的应用前景。  相似文献   

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