激光干涉仪在测长机检定中的应用

本文提出了用激光干涉仪检定测长机分米刻尺示值误差,是一种快速,准确,行之有效的方法。     

激光干涉仪在测长机不确定度评定中的应用

依据测长机校准规范中关于分米刻度尺的校准方法,为了尽可能消除测量过程中的各类误差,保证校准数据真实可靠,本文利用激光干涉仪对测长机分米刻度尺进行示值误差的不确定评定,评定结果小于测长机分米刻度尺误差的三分之一,满足精度要求,可供从事测长机校准工作人员参考.     

激光多普勒技术与直线度测量

在三坐标测量机（ＣＭＭ）及精密加工机床等设备的高精度测量中，主轴及导轨的直线度、水平或竖直偏摆角的测量是相当重要的。在过去，这类机器的直线度的测量，大部实现起来比较困难，或者精度很低且费时。这里我们将介绍一种直线度测量的新方法，采用双光束系统的激光多普勒测量仪（简称ＬＤＤＭ），通过测量每一点的偏摆角，并按一定的准则计算出直线度。下面将分别简述有关的原理、精度及与其它测量方法相比较的优越性．由于这种测量技术可以对位移和角度进行同时测量，使得直线度实现了在线测量，这就为三维坐标测量仪器的精度拟合及代替线性编码器进行位置和直线性的标定提供了简易高效的新方法．     

激光干涉仪测量直线度误差因素分析

介绍了激光干涉仪进行直线度误差测量的原理,并详细讨论了直线度误差测量中影响测量精度的若干因素,最后给出直线度误差测量实例。     

激光干涉仪测量测长机示值误差时阿贝误差的影响

不符合阿贝原则的仪器,测量时导轨直线度将产生较大的阿贝误差。测长机按其结构是不符合阿贝原则的,但其具有特殊的光学系统可以补偿所产生的阿贝误差,使之不对测量结果产生影响。     

超长导轨直线度测量

本文介绍了一种对长度超过 2 0m的数控机床导轨直线度的测量方法。该方法最大的优点是 :导轨的安装调校完全在测量的监控下进行 ,每一点的测量结果随时指导该点的校正量。     

激光束角漂移对频激光直线度测量的影响

利用惠更斯关于波面传播的理论，分析计算了双频激光渥拉斯顿棱镜直线度测量系统中激光束角漂移以及渥拉斯顿棱镜和双面反射镜倾角对测量精度的影响，得到了相应的结论。     

激光束角漂移对双频激光直线度测量的影响

利用惠更斯关于波面传播的理论，分析计算了双频激光渥拉斯顿棱镜直线度测量系统中激光束角漂移以及渥拉斯顿棱镜和双面反射镜倾角对测量精度的影响，得到了相应的结论。     

激光干涉仪使用技巧

本文讨论了激光干涉仪在使用中的准直等技巧,用户在实际使用中增加配件以及维护中遇到的问题.     

半导体激光端点测长干涉仪实验系统

半导体激光端点干涉测长法是利用半导体激光频率调制特性的一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法。本文介绍基于这种测长方法研制的半导体激光端点测长干涉仪实验的基本原理,构成,定标方法和测量结果。     

激光位移测量系统在长度计量技术中的应用

现如今,我国经济实力得到快速发展,综合国力得到了快速的提高。各项领域都取得了一定的成就。经济在一定程度上也取得了不错的发展。我国在各项领域中,激光领域的发展获得了突出的地位。从我国成立至今到现在,人们对于技术的追求越来越渴望,随着人们生活水平的提高,人们对于生活质量的追求也越来越高标准。所以说我们要想取得更加长远的进步,就要从科技上入手。我国激光位移测量系统在长度计量技术在最近几年获得兴起,并且在逐渐获得完善,本文主要对其中激光位移测量系统进行技术应用的研究。     

激光干涉仪非线性的测量

激光干涉仪和高精度位移传感器的非线性一般为1～5nm,为了对这样的非线性进行测量,必须使用高精度测量方法,并建立高精度测量装置。文中描述了高精度拍频法布里 珀罗激光干涉仪,和利用它对工业激光干涉仪的非线性进行的测量实验。测量范围大于1.3μm,测量不确定度约为2nm。     

光栅式长度测微计在小角度测量中的应用

本文主要探讨用光栅式测微计替代立光计和量块对水平仪检定器进行检定的方法及数据处理的过程,同时介绍在其它小角度方面的应用。     

纳米级二维激光外差干涉仪的设计

提出了一种５０μｍ测量范围内，２ｎｍ不确定度，、０．５ｎｍ分辨率的二维激光外差偏振干涉仪的设计。其中用声制器和稳频Ｈｅ－Ｎｅ激光器获取频差小于２００ｋＨｚ的正交偏振双频激光束，Ｘ和Ｙ二臂偏振干仪将采用差分干涉仪，采用相位解调技术进行外差干涉信号的处理。     

Measurement of Material Anisotropy by Dual-Probe Laser Interferometer

Abstract

A novel dual-probe laser interferometer, which has the advantage that it measures the surface displacements of the same surface wave at two locations, has been used to measure the speeds of surface waves and pseudo-surface waves on a silicon single crystal. Two configurations have been investigated. When the distance between the two points of detection is large relative to the length of the acoustic wave, the two signals detected by the probes are separated in the time domain. Hence the signal travel time can be found by the autocorrelation method. When the distance between the two points of detection is short relative to the acoustic wave, a composite signal is obtained consisting of two overlapping signals. Then the power cepstrum method is employed to extract the signal travel time between the probe points. The speeds for both types of surface waves are shown as functions of direction relative to the [001] crystal axis. The results have been compared with theoretical calculations and line-focus acoustic microscopy measurements.     

基于ACPT技术的纳米振动测量激光干涉仪

为实现高精度、高稳定的微小振动测量,设计了一种改进型迈克尔逊干涉仪,对其所采用的光学结构和解调算法进行了分析.信号解调方案基于载波调制和交流相位跟踪（ACPT）技术,相对应的光路采用双压电陶瓷（PZT）和准平面猫眼动镜以构成参考臂和测量臂,设计以改善信噪比、抑制低频干扰、增强系统稳定性、提高测量分辨力为目标.建立了纳米振动发生装置,搭建了振动信号测量系统,研究了激光干涉仪对振动信号的输出特性.实验结果表明,测量动态范围达到120 dB,信噪比高于40 dB,系统分辨力达到0.25 nm.该干涉仪可有效抑制诸如温度、湿度、压强、低频振动等带来的相位噪声的干扰,满足高精度、稳定、可靠的要求.     

无缝钢管直线度激光视觉在线测量

应用多个激光线结构光传感器对无缝钢管进行光切 ,求出各个光切面中心点的空间三维坐标 ,通过空间直线拟合和误差评定算法 ,由此确定钢管轴线的直线度。本文提出了无缝钢管直线度激光视觉在线测量方法 ,推导出数学模型 ,并进行实验研究 ,给出了实验结果。