逆扩散型氦质谱检漏仪的研究

一、常规型质谱检漏仪的发展真空检漏技术中,唯有氦质谱检漏仪灵敏度最高。广泛采用,发展较快亦较成熟。早在四十年代其检漏灵敏度为10~(-8)托·升/秒,到五十年代末达10~(-13)～10~(-14)托·升/秒。国内在六十年代以来分别研制的氦质谱检漏仪以及国外绝大部分质谱检漏仪新产品均属常规形式(见附表1、表2)。被检漏件与节流阀相连,由辅助机械泵完成粗抽。检漏时节流阀徐徐打开,调至质谱室允许的工作压强,质谱室真空由扩散泵抽气。为提高系统的真空度和质谱室少受沾污,一般加有液氮冷阱,前级有机械真空泵以及必要的一些辅助的旁路或     

嗅敏探枪累积检漏方法

氦质谱检漏法是目前使用最多、灵敏度最高的一种检漏方法。这种方法又可分为抽空法和加压法。所谓抽空法就是将被检件与检漏阀相连,利用检漏仪的抽气系统或专门设计的抽气系统将被检件内腔抽空,然后在被检件外部焊缝处施以氦气(喷吹法或氦罩法)。在一个大气压的压差作用下,氦气便通过漏孔进入被检件内腔并传输到检漏仪中,使检漏仪输出指示发生变化(如图1所示)。所谓加压法就是被检件内充以高压氦—空气混合气,氦—空气混合气在压差(1～几个气压)的作用下通过漏孔向外部大气中逸出,被检件外部用一种叫嗅敏     

氦质谱检漏仪性能诸元关系的研究

本文根据顺流式氦质谱检漏仪和逆流式氦质谱检漏仪真空系统的结构配置特点,分别推导出这两类检漏灵敏度、最高入口工作压强、抽气时间、最小可检漏率、最大可检漏率、响应时间和清除时间等特性的普适性计算公式。这些公式能够解释有关的实验结果,有助于分子泵逆流检漏仪的研制开发。     

真空箱法氦检漏回收箱的设计

高科技项目产品层出不穷,检漏仪随高新技术的不断进步与应用,科技含量也提高,在产品检测中被广泛应用。由于设计的真空箱重量约3吨,检漏过程中需保证内外压差不大于0.03 MPa;304不锈钢的抗弯强度为176.4 MPa;Q235的抗弯强度为156.7 MPa;在设计中必须对真空箱等强度进行校核。本文叙述了真空箱氦检漏回收系统的经验和体会。     

AH-1型全自动吸枪式氦检漏仪的研制

研制与生产目前国内最长(15 m)吸枪式氦检漏仪.在计算与实验研究的基础上设计与制造180°磁偏转分离型电子轰击离子源及逆流小孔分流型的AH-1型全自动吸枪式氦检漏仪的整体结构.在吸枪上配制有可操作与控制的微型显示仪表.它的特点是:启动时间短、灵敏度高、反应时间快等.因而是大型容器与高压容器检漏的理想仪器.文中介绍了设计的要点及现场实用范例.     

气体介质、压强及校准方法对真空漏孔漏率的影响

真空标准漏孔作为标定检漏仪或被测量漏率的参考标准,在核工业、航天航空等领域得到了广泛应用。本文利用氦质谱检漏仪和定容法对标准漏孔(铭牌漏率:2.3×10-6Pa·m3/s,He,23℃)进行校准,以为快速地定量研究聚变材料中氘(D2)或氦(He)行为提供有用的参考。研究结果表明,漏孔漏率随入口端气体压强的增大而增大,并与漏孔两端气体介质压强的平方差呈线性递增关系。同一入口压强下,D2的漏率高于He,且漏率之间的差异随压强增加而变大。同一条件下,定容法和氦质谱检漏仪测得漏孔中示漏气体He的漏率值基本相等,但示漏气体为D2时,氦质谱检漏仪测得的漏率值高于定容法。研究还给出了氦质谱检漏仪测量示漏气体D2时漏孔漏率的修正关系式。     

重放射性金属的应用领域

铀、钚这类锕系元素,由于具有独特的性能,故既可民用,又可军用。已贫化的铀——生产U~(235)时获得的一种产物,具有许多有价值的性能。其放射性比天然铀约低50%,加工性比钨和铼好得多,价格比金和铂便宜得多。贫化铀的熔点为1130℃,密度为26.3g/cm~3,布氏硬度为65～90,延伸率可达5～15%。此外,贫化铀具有良好的铸造性能,可供机加工、轧制以及挤压。因此,贫化铀可用于航空技术(作平衡车)、各种炮兵和     

关于氦质谱检漏仪的反应时间的两种测量方法

本文对氦质谱检漏仪的反应时间的两种测量方法进行了讨论,指出其中一种方法是错误的。 反应时间和清除时间是氦质谱检漏仪的重要参数之一,通常规定反应时间和清除时间不大于3秒。对仪器经常进行灵敏度校准和反应时间与清除时间的测量是检查仪器是否正常工作的手段之一。就是在检漏工作进行过程中,对于检漏技术人员来说也应该知道在连接了被检容器和辅助真空系统之后,整个检漏系统(包括检漏仪、被检件、辅助真空系统)的检漏灵敏度多大?反应时间与清除时间多长?这些决定了能够检示出多大漏孔和应该以怎样的速度进行检漏的问题。 下面只谈一下…     

中国环流器HL和欧洲联合环JET的检漏技术进展

对HL环流器系列装置,开发了蒽-丙酮荧光液渗透检漏用于真空内衬的零部件检漏,灵敏度可以达到10-9Pa.m 3.s-1,示漏位置分辨小于0.5mm;对大容器真空检漏,采用四极质谱计和氦质谱检漏仪相配合的检漏法;对压力容器检漏,开发了真空罩吸枪-氦质谱检漏系统,还研制了适于抽除大量水汽的检漏真空机组。对氘氚放电的JET,使用普通的氦质谱检漏仪(扇形磁体型)受到真空室壁释放所吸留的氢同位素的、尤其是氘的严重干扰,因为示漏气体氦(4H e,4.0026u)与氘(D2,4.0282u)的质量数十分相近。在氦质谱检漏仪入口处串接选择性抽气泵——用液氮冷阱来抽除可凝气体、用分子筛泵或10K低温泵来抑制氢同位素本底,并前置一个涡轮分子泵来压缩加强采样气流等。这种加强组合能使原先的氦质谱检漏系统灵敏度提高3个量级以上。     

宽温电连接器密封性能研究

基于宽温电连接器密封件的研制要求,搭建了一套宽温(77K~410K)试验系统,系统由耐低温和高温的试验杜瓦、温度/压力测量装置、压力可调节的气源装置、抽真空装置、氦质谱检漏仪、冷源和氮气加热装置组成,利用系统进行了宽温电连接器密封件试验不同压力、温度状态下的性能研究,验证了宽温电连接器密封件对预定应用状态的适应性,可为后续宽温电连接器密封件的研制提供技术支持。     

工业性氦质谱检漏试验

1.引言最初的氦质谱检漏仪的专利大约始于40年前,那时,还没有能够达到所需要的灵敏度的技术。人们一直认为检测很微小的漏孔是氦检漏的主要用途。浸水检验,卤素检漏仪和着色渗透仍然是工业上的传统方法。这时,大部分待检的漏孔为10~(-3)～10~(-6)毫巴·升/秒。近10年来,采用更可靠、更便宜的电子元件的真空技术的发展,已允许氦检漏仪在工业应用     

氦质谱检漏仪的进展及应用

1　氦质谱检漏仪的进展经过近半个世纪的努力,氦质谱检漏仪取得了很大的进步,集中体现在如下几个方面。(1)便携式　小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏　如日本的仪器以及中科院科仪中心的ＺＱＪ230Ｇ型仪器,检漏口压强可高达数百帕,有利于检测大系统和有大漏孔的工件。(3)自动化程度高　中科院科仪中心的ＺＱＪ291型仪器,自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次全检漏过程。(4)全无油的干…     

上超二厂项新产品通过技术鉴定

由上海超声波仪器厂设计所研制的CJL-1型全自动超声波检漏仪和CCJ-1型四通道超声波车辆检测仪,于一九八八年五月通过了上海市仪表电信工业局局级技术鉴定。 与会代表认为CJL型产品是国内首创的全自动超声波检漏仪,它的优异性能可与国际上同类产品相媲美;CCJ-1型产品是实行现代化交通管理的理想配套仪器。两项产品的研制成功,扩大了超声检测技术应用范围。上超二厂项新产品通过技术鉴定@丁怡     

氦质谱检漏仪现场校准方法研究

目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪,得到一组标准漏孔检漏仪示值,通过对标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线进行数学拟合,得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式。其校准过程简单,能够提高氦质谱检漏质量。     

真空技术及应用系列讲座 第十三讲:真空系统的检测技术

(上接2005年第1期第64页)5.4.4　质谱仪检漏法质谱检漏是最灵敏和常用的检漏技术,实际应用的质谱检漏仪都采用高灵敏磁扇形残余气体分析探头。为获得最高灵敏度,可适当降低分析器的分辨率。为此可选用质量数唯一,容易分辨并且大气内含量极少的试验气体。氦气是惰性气体,质量数为4,基本上符合要求。因此质谱检漏仪常用氦气作为试验气体,并称之为氦质谱检漏仪。这种仪器的分析器探头只对氦气分压力的变化有响应。氦质谱检漏仪最重要的技术指标是灵敏度。灵敏度是仪器输出信号的变化除以引起此变化的输入量变化。质谱仪的输出信号是表头读数,输…     

HL-2A装置真空室总体检漏

介绍中国环流器2号A偏滤器托卡马克装置真空室总装检漏及结果.根据其真空室特点设计了不同结构的检漏子系统,用氦质谱检漏仪、四极场质谱计与氦质谱检漏仪相结合的方法(双质谱法)分别进行零部件和真空室总体检漏,对有关检漏技术问题进行了讨论.     

氦质谱检漏仪入口压力与显示值的关系研究

文中首先从理论上推导出检漏仪的入口压力与显示值的数学关系表达式,其次通过试验验证了该表达式的正确性。与此同时,提出了一种测试检漏仪线性性能的新方法。研究结果表明:检漏仪的入口压力与显示值是线性关系;当温度和测试气体的浓度一定时,该线性关系的斜率是检漏仪的本质属性,只与检漏仪自身的参数有关。     

差压式气密检漏仪校准方法探讨

通过分析差压式气密检漏仪的结构及工作原理,确定检漏仪的计量参数和计量方法,保证差压式气密性检漏仪的数据质量。     

奇特“防弹背包”问世能有效抵御恐怖袭击

目前,以色列设计师最新研制一种帆布防弹背包,可使人们免遭炸弹袭击的伤害。但是该装置存在着一个问题,虽然能够有效保护人体所有重要器官．但是真正遭遇炸弹袭击时,四肢很难得到保护。     

一种下限为5×10~(-16)Pa·m~3/s的高精度超灵敏度检漏装置

为了解决长寿命、高可靠真空器件的封装检漏需求,研制出下限可达5×10~(-16)Pa·m~3/s的高精度超灵敏度检漏仪。当前基于动态分流原理的通用检漏仪由于引进质谱计分析室的示漏气体量小致使实际检漏下限为10~(-11)Pa·m~3/s,通过软件修正实现的检漏下限可达10~(-12)Pa·m~3/s;基于累积法的超灵敏度检漏下限可达5×10~(-15)Pa·m~3/s,该方法采用商用漏孔作为参考标准,通过线性递推得到的检漏结果偏差可达一个数量级以上,严重影响特殊应用领域器件的高可靠性和寿命。本文在原有的研究基础上,提出累积比较检漏方法。在特殊加工的累积室中对示漏He气进行累积,使其形成的分压力在质谱计测量范围内;通过对累积室内壁的特殊工艺处理获得了更小的示漏气体本底压力;用新研制的下限为5×10~(-16)Pa·m~3/s高精度流量计作为参考标准比较获得被检测器件漏率,避免传统采用自身偏差较大的漏孔作为参考标准和使用线性递推得到漏率引入的较大偏差。实验结果证明,所研制装置的检漏范围为10-12～5×10~(-16)Pa·m~3/s,检漏结果的不确定度为5. 3%～13%。