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离子质谱及其应用 总被引:3,自引:0,他引:3
离子质谱按照物质电离后质量与电荷的比值(即荷质比m/e)大小进行分离,可以测定离子的质量和离子流的强度^[1]。能快速连续地进行未知样品中包括氢在内的全元素分析和杂质同位素分析、微区微量分析和杂质纵向分布的深度剖析,因此被广泛应用于产、学、研的各个领域。对于一个样品进行离子质谱分析的整个过程必须包括三个部分:离子的产生--离子源;离子的分离--质谱计;离子流的接收--检测系统。整个分析过程必须在高真空条件下进行。各种不同的离子源、质谱计和检测系统组合成各种不同类型的质谱仪。按离子源分类,可以有火花源质谱仪,辉光放电质谱仪,等离子体质谱仪、二次离子质谱仪等。按质谱仪可以分为磁质谱计,飞行时间质谱计和电四极杆质谱计等。检测系统可以是感光胶板、电子倍增器、双通道板、CCD和RAE等。 相似文献
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本文详尽地探讨高真空及超高真空中的残余气体的质谱分析方法,并运用这些方法在LAS-2000二次离子质谱仪上进行了应用研究,使我们对LAS-2000的本底真空有所了解,发现其超高真空中含较多的碳氢化合物。 相似文献
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残气质谱分析在LAS—2000上的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
详尽地探讨高真空及超高真空中的残余气体的质谱分析方法。运用这些方法在LAS-2000二次离子质谱仪上进行了应用研究。精确地分析了LAS-2000的本底真空,发现其超高真空中含有较多的碳氢化合物,这些碳氢化学物主要影响氢(氘)轰击石墨的化学腐蚀研究的结果分析。 相似文献
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新竹清华大学位于台北市南方70公里处,紧邻台湾矽半导体工业集中地之新竹科学工业园区。1991年新竹清华大学购入一台Cameca IMS-4f二次离子质谱仪,为台湾地区第一部开放供学术研究和工业服务用之二次离子质谱仪。本论文报道如何建立二次离子质谱分析技术以符合各种不同的需求,包括人员训练、标准品制备、研发分析方法和仪器维修。应用二次离子质谱分析技术于基础和应用研究,强调群队合作推广二次离子质谱分析 相似文献
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编制“质谱碎片图形系数换算器”是作为“四极质谱计图形系数换算器的补充。使用方法基本相同,但本换算器内列入了多种元素的同位素质谱峰高的相对值。它的使用超出了真空系统内残余气体质谱分析与分压强测量范围,主要用于二次离子质谱仪的质谱分析中。从制作方法上看,可将这两个换算器做成一体,使用方便并节省了材料。这也是启发编者补充这一换算器的因素。本换算器共收集三十一种材料和元素的质谱碎片比,图中有四种材料的空白留给使用者按自己的需要填入。在这三十一种物质中包括: (1)有机溶剂: 真空技术中清洗零、部件和作为真空检漏涂料… 相似文献