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兰州物理研究所研制了一系列真空标准装置,可用于真空规、方向规、分压力质谱计、真空漏孔和正压漏孔的校准.其静态膨胀法真空标准装置、动态流量法真空标准装置及超高/极高真空校准装置是用于真空规校准的三套基础标准,覆盖的校准范围为(10-10~105)Pa;程控式真空规校准装置适用于工业部门,其校准范围为(10-4~105)Pa;为实现质谱计的校准,研制了一台具有三路相同独立进样系统的分压力质谱计校准装置,标准分压力通过磁悬浮转子规以两种不同的方法进行测量,该校准装置可实现(10-7~10-1)Pa范围内的分压力校准;为实现真空漏孔的校准,研制了恒压式气体微流量标准装置和固定流导法气体微流量标准装置.恒压式气体微流量标准装置的校准范围为(10-8>~10-2)Pa·m3/s,同定流导法气体微流量标准装置的校准范围为(10-10~10-5)Pa·m3/s,漏孔漏率的校准通过比较被校漏孔和标准气体微流量计在一台四极质谱计上引起示漏气体离子流的大小计算得到;为实现正压漏孔的校准,研制了一台正压漏孔校准装置,采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准,校准范围为(5 × 10-5~10-1)Pa·m3/s;研制了一台定向流真空校准装置,实现对方向规的校准和非平衡态分子流的研究,装置的校准范围为(10-7~10-1)Pa. 相似文献
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本文提出了一台英国物理所(NPL)用于校准10-4~10帕范围真空计的孔流法装置。这个范围大大超出了通常采用此法所能产生的压力,这是用校准过的规管以及定压流量计测定了小孔的通导才成为可能的。当用这台装置校准规管时,对于气体从试验室流过小孔时的抽速变化,采用符合该变化的经验公式是方便的。全文仔细地鉴别了测量不确定度的各种来源,并予以定量,而且估计了用这台设备校准带来的不确定度。 1.前言 产生低压的孔流法广泛地用于真空规的校准。Poulter[1]已经评论过此法的各种可取的形式。最普通的一种是用通导U(m3S-1)计算的园形小孔,通… 相似文献
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研制成功的动态流量法超高真空标准装置是一台用来校准真空规的绝对真空计量标准。装置由校准系统、微流量计系统、抽气系统和计算机控制系统组成。校准系统采用四球结构 ,校准球室直径为50 0mm。极限真空度为 6 5× 10 - 9Pa ,校准范围为 10 - 2 ~ 10 - 7Pa ,不确定度为 3% (10 - 2 ~ 10 - 6 Pa)和10 % (10 - 7Pa)。 相似文献
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《真空科学与技术学报》2016,(12)
研制了一台校准范围为10~(-5)~10~5Pa的现场真空校准装置。将不同种类单一成分的校准气体引入装置上游室,通过几何尺寸为微米量级激光小孔的衰减,建立校准用标准压力p_(std)。上游室压力变化范围为1~10~3Pa,相应地,校准室内对应的标准压力范围10~(-5)~10~(-2)Pa(N2),测量不确定度为2.4%。另外,该装置可采用与标准真空计直接比较进行动态或静态校准,其极限真空度为10~(-6)Pa量级。对装置暴露大气后的抽气性能、静态压升及其主要计量特性进行了实验研究。实验结果表明,该装置外形尺寸以及质量分别为475 mm×420 mm×800 mm、37.8 kg,校准范围为1.9×10~(-5)~1.0×10~5Pa,相对合成标准不确定度为2.8%~0.40%。 相似文献
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介绍了项目"1mN·m~1N·m扭矩国家基准装置的建立"的立项背景、基本情况和项目取得的成果及主要创新。该项目采用了多项自主研发的关键技术,成功研制了国内首台基于空气轴承支撑技术的全自动高准确度微小扭矩标准装置,该装置复现的扭矩值范围为1mN·m~1N·m,扭矩值不确定度(k=2)在100mN·m~1N·m范围内小于5×10~(-5);在5mN·m~100mN·m范围内小于1×10~(-4);在1mN·m~5mN·m内小于5×10~(-4)。 相似文献
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一、概述 标准铂电阻温度计的检定是热工计量检定中的重要内容。我所经过多年努力,建立了一等标准铂电阻温度计检定装置,并于1999年12月通过中国北京计量院的考核,该装置主要用于二等标准铂电阻温度计。一等标准水银温度计以及标准贝克曼温度计的检定。 我所建立的一等标准铂电阻温度计检定装置,其检定的温度范围是 0~419 527℃。除了水三相点瓶、退火炉等常规设备外,我们还建立了锌凝固点炉、水沸点炉。其中水沸点炉用于替代1990年国际温标(ITS-90)中所要求的锡凝固点炉。在水沸点(100℃)采用比较法检… 相似文献