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浸渍-涂布法制备In2O3薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
以InCl3@4H2O为原料,采用溶胶-凝胶技术、浸渍-涂布法制备了In2O3薄膜.同时对薄膜厚度与In2O3含量、涂布液粘度以及提拉速度等关系进行研究,发现薄膜厚度与涂布液粘度、提拉速度成对数线性关系.膜厚与提拉速度的关系式为t≈v0.62.XRD、IR测试表明经过400℃煅烧,PVA已经完全排除.SEM照片表明薄膜形貌平整、光亮,从而为该种材料制作实用的气敏元件打下了良好的基础. 相似文献
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在常温、加温和紫外线三种环境下,通过对Sol-Gel法(溶胶凝胶法)制备成的5%、10%及15%钛掺杂SnO2薄膜在乙醇、丙酮两种气氛作用下进行气敏反应前后的光反射谱测试,研究薄膜的返回特性。研究分析表明,加温环境中钛掺杂SnO2薄膜的返回特性比常温环境中的效果要好很多,返回所需时间能从十小时缩短至五分钟。此外,紫外光照射下返回特性较好,返回时间较短,而且更为安全、便利,相信在未来的发展中能有更广泛的应用。 相似文献
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Sol-Gel法制备ZnO:Al透明导电薄膜 总被引:9,自引:0,他引:9
采用Sol-Gel工艺在普通载玻片上制备出C轴择优取向性、高可见光透过率以及高电导率的Al3+离子掺杂的ZnO透明导电薄膜.利用SEM、XRD等分析手段对薄膜进行了表征.研究结果表明:所制备的薄膜为纤锌矿型结构,表面平整、致密.通过标准四探针法及UVS透射光谱详细研究了Al3+离子掺杂的ZnO薄膜的电学与光学性能.实验发现,当Al3+离子掺杂浓度为0.8%时,前处理温度为400℃,退火温度为550℃,真空退火温度为550℃时,薄膜具有较好的导电性,电阻率为3.03× 10-3Ω@cm,其在可见光区的透过率超过80%. 相似文献
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溶胶—凝胶法制备薄膜湿敏元件的研究 总被引:2,自引:1,他引:1
用溶胶-凝胶法制备了R2O-Al2O3-SiO2系(R=Li,Na,K)薄膜湿敏元件,研究了它们的感湿特性,对薄膜的结构、导电机理进行了讨论,获得的湿敏元件具有响应快、滞后小和灵敏度等优点。 相似文献
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溶胶-凝胶法制备复合钒钼酸铵干凝胶薄膜及其湿敏特性研究 总被引:1,自引:1,他引:0
通过溶胶-凝胶法制备了复合钒钼酸铵H2-x(NH4)xV10 Mo2O31+δ+·nH20(x=0,1,2)干凝胶薄膜,对其进行TXRD和XPS分析,同时研究了其温敏性能。 相似文献
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本文报道了用溶胶-凝胶法制备TiO2-CeO2薄膜的工艺过程及所制备薄膜的性能,研究了在不同Ce/Ti比及催化条件下浸涂液的成膜能力,胶凝过程以及薄膜的物相和光学性能。结果表明,在浸涂液中加入水或碱会使浸涂液迅速凝胶,而加无机盐会促进老化过程。浸涂液的水解-凝胶过程对薄膜的透过率、表面形貌有显著影响,随Ce/Ti比增大,浸涂液的成膜能力变坏,而薄膜的紫外吸收增大。 相似文献
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H2C2O4稳定剂对SOl-Gel法制备LiNbO3薄膜的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了分别以H2C2O,HNO3,HCOOH和CH3COOH作稳定剂的LiNbO3薄膜先驱液的稳定性,发现H2C2O4作稳定剂的先驱液的稳定性最好,用sol-gel法在Si(110)基板上制备了以H2C2O4作稳定剂的LiNbO3薄膜,并对LiNbO3薄膜进行了IR,XRD和SEM表征,结果表明,生成的LiNbO3为多晶,与HNO3相比,以H2C2O4作稳定剂制备的LiNbO3薄膜形貌较差。 相似文献
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以硝酸铋和钛酸四丁酯为原料,以三氯十八烷基硅烷(OTS)为模板,采用自组装单层膜(self-as-sembled monolayers,SAMs)技术,在玻璃基板上成功制备了Bi2Ti2O7晶态薄膜。借助X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、X射线能谱(EDS)及原子力显微镜(AFM)等测试手段对Bi2Ti2O7薄膜进行了表征。结果表明,以OTS为模板利用自组装技术,经540℃煅烧2h可成功制得立方相Bi2Ti2O7晶态薄膜,且薄膜表面平整光滑,均匀致密。 相似文献
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Sol-Gel制备Ba1-x Srx TiO3系铁电薄膜的介电、调谐性能* 总被引:12,自引:0,他引:12
用sol-gel工艺制备Ba1-xSrxTiO3系铁电薄膜(1-x=0.3,0.5-0.9)。实验证实,在制备溶胶过程中,提高加热温度能有效增加BST薄膜的介电调谐百分率。室温下,100kHz,各组分薄膜的介电常数(ε)和介电调谐百分率(Tunability%)均呈现较高的值。其中,Ba0.8Sr0.2TiO3的介电常数和调谐百分率达到最大分别为:678和39%,比国际上同类文献报道的数据高。BST的ε-E曲线呈良好的单值函数关系。介电温谱出现明显宽化,调谐曲线峰值点对应的温度较居里温度低20-30℃,本文并对上述现象作出解释。 相似文献
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钛酸镧铅薄膜的介电、铁电性能研究 总被引:4,自引:1,他引:3
采用溶胶-凝胶法在Si衬底上制备了钛酸镧铅薄膜。通过对膜进行XRD、SEM、介电和铁电性能测试,研究了退火条件和掺镧量对薄膜性能的影响,结果发现在600℃下退火1h的PLT薄膜呈现钙钛矿结构;常温下,薄膜的矫顽场和剩余极化强度都随着掺镧量的增加而降低,其介电常数和介质损耗却随掺镧量的增加而增大。 相似文献
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采用溶胶-凝胶法,通过调整氯化锂和氯化铜的摩尔比在不同基片上制备了不同Li-Cu共掺杂浓度的ZnO薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、紫外可见光分光光度计和伏安特性测试等表征了薄膜的结晶状况、表面形貌及光电特性.结果表明:所得Li-Cu共掺杂ZnO薄膜为六角纤锌矿多晶结构,有CuO杂质相生成.随Li和Cu摩尔比增加,共掺杂ZnO薄膜结晶度增强,晶粒长大,样品表面不平整度增加.CuO颗粒的出现,使得共掺杂ZnO薄膜透射率降低,透光性较差.Li与Cu摩尔比为1∶1时,共掺杂ZnO薄膜的综合导电性最好. 相似文献