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为实现100nm步进扫描光刻机的运动控制精度,需要硅片台掩膜台系统的远程采样控制器的采样时钟满足微秒级同步要求.为此采用由同步动作控制器(SAC)发起同步信息,经自定义同步信号总线(SSB)传输,在各分散数字运动控制器中产生采样同步时钟的架构.提出采用现场可编程门阵列(FPGA)硬件完成光纤通信底层协议,引入信号传输优先级管理机制,实现采样同步时钟经各分散控制子系统的光纤通道传输到远程采样控制器的一致性,减少由标准光纤通信协议引起的额外时间开销.估算和实验结果表明:采样同步时钟传输延时约为0.55μs,各分散控制子系统的远程采样控制器接收到采样同步时钟的时延不确定性小于60ns.该采样同步时钟传输技术已成功应用于高速纳米级步进扫描光刻机系统. 相似文献
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张圣佳 《中国新技术新产品》2008,(14):1-2
本文提出的信道估计算法属于盲信噪比估计,它基于模式识别技术,主要用于信息的调制方式为线性数字调制的情况。它是在信号经过解调后进行基带检测,完全用软件实现,不需在传统无线通信系统中增加额外设备。另外,这种方法所需数据量少、存储量小、计算速度快。我们以2PSK信号为例,说明所提出的方法的有效性。 相似文献
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前言已设计成的同步二进制视频数据输入器(SBVI)是与白沙导弹靶场(WSMR)目前使用的视频图象分析系统兼容的,而且是与白沙靶场光学跟踪系统上、控制伺服传动的数字跟踪滤波器(DTF)相配合的方案。同步二进制视频输入器是研制工作成本较低的光学测量系统的长期计划的一部分,该系统用录象带代替胶片,使数据处理尽量自动化,从而为用户的数据要求提供快速响应。同步二进制视频输入器包括一台视频同步器和一台二进制视频数据输入器,它们共同满足了以下要求: (1) 使视频摄象机的快门与IRIG-B时间同步。 (2) 为记录发射区和导弹距离事件数据而提供高帧速视频能力。 相似文献
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不同用途的零件对其表面的等离子喷涂层性能要求有所不同。例如,在纺织工业中,为了避免纺织机械零件表面耐磨涂层对高速运动的纤维造成损伤“毛丝”,不仅要求涂层有较高的表面光洁度,而且微观起伏的“峰谷”还必须是圆滑、平坦的。然而采用普通粒度(200目-300目)的粉末进行喷涂,用机械磨削的方法虽然可以达到很高的表面光洁度,但是难以形成圆滑、平坦的微观起伏状态。相反由于涂层内部存在的气孔在磨削后形成锐边,有可 相似文献
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抠像又称为键控,使用抠像可以将图像中具有不同色彩或者亮度的部分变为透明。通过使用键控特效,图像中目标颜色区域或者亮度区域被设置成透明,从而显示出背景画面,没有进行抠像的部分仍旧保留原有的图像,以达到画面合成的目的.下面我们通过介绍 相似文献
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针对工业自动化和国防军事领域同步分解电角度量值溯源需求,提出了一种基于多盘感应比例电桥平衡原理的同步分解电角度校准方法,并组建了一套同步分解标准器校准装置。该装置通过电桥的准电压平衡和不平衡误差电压解算的方法获得同步分解电角度的标准值,并通过相对简单的接线方式,实现同步和分解两种模式下0°～360°电角度的校准。对同步模式下电角度校准装置的不确定度进行了评估,不确定度达到0.00013°(0.47″)。该方法具有准确度高、操作简单、测量速度快的特点,使同步分解电角度量值溯源到感应电压比例标准。 相似文献
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近十多年来,在机械工业的各个部门,振动同步与控制同步得到了广泛的应用,本文介绍该领域在近期内的发展和主要研究成果,即双机及多机系统的振动同步,双机机械系统的控制同步,定速比控制传动,复合同步,多机系统的控制同步及多个液压油缸的控制同步等,并给出计算机仿真的若干成果。 相似文献
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自同步振动机的动力学分析是一个非线性问题。本文提出自同步振动机“同步参数”的概念,叙述了关于同步参数的直接数值方法,讨论了同步参数初值的确定及存在的必要条件(也适用于多转子的系统),由转子方程的周期解获得同步参数的稳定值及各运动状态参数渐近解。(也适用于一对倍频(低频与高频整数倍组合)驱动的机械同步系统)。通过试验验证了数值计算的结果。 相似文献