平面平晶检定中存在问题的分析

平面平晶是以光波干涉法测量平面的平面度、直线度、研合性的计量器具。现针对在平面平晶检定中出现的问题 ,加以分析并提出改进建议。1　如何实现二截面正确转位 ,条纹弯曲量与条纹间隔比值的取定ＪＪＧ2 8- 91规程中写到 :“当所检定二截面出现的平面度符号相同时 ,取其中绝对值最大值为平面度 ;符号相反时 ,则取两者绝对值之和为平面度。”二个截面平面度检定 ,主要是为了找到最大误差的绝对值 ,一般是通过两平晶工作面的接触面的转位来实现的。实验证明 ,变换 90°能比较客观地反映平晶工作面误差。因为 ,把直径大于被检平晶的标准平晶…     

平面平晶检定中若干问题的探讨

本对平面平晶检定中如何实现二截面转位，以及条纹弯曲量与条纹间隔比值的取定，干涉条纹数目的取定等有争议的问题进行分析，探讨。     

一种检测平晶和透镜面形的方法

介绍了数字式激光平面干涉仪的测量优势,阐述了利用其进行平面和球面面形的测量方法,弥补了传统平面等厚干涉仪只能测量平面平晶的不足。同时分析了影响测量结果的几个因素,并利用ZEMAX软件模拟平晶位置,观察干涉条纹。     

巧检外径千分尺平行度

用平行平晶检定外径千分尺（以下简称干分尺）时，将千分尺的网测量面与平行乎晶相接触，并调整好手行平晶使其接触点在同一侧。记录两测量面上出现的干涉条纹数，然后以两测量面干涉条纹数之和乘以（波长），即争行度一干涉条纹数之和Xtr。要注意的是，千分尺平行度的确定，要用一组平行平晶（共四块）分别去检定，以其中所产生的干涉条纹数最多的为准。在具体操作时，要注意平行平晶的工作面是否与两测量面充分接触。在观察干涉条纹时，要将于分尺翻转l扭y，才能观察到另一测量面的干涉条纹。为此，笔者在检定时，在工作台上放一块平面镜…     

平面平晶工作面平面度测量结果的不确定度评定

平面平晶工作面平面度的测量是平面度测量中最重要的测量之一,但目前对于平面平晶工作面平面度测量结果的不确定度评定却是仁者见仁、众说不一。因为此评定过程需要运用实际测量数据,下面以Φ100mm平面平晶工作面平面度的测量结果为例进行不确定度评定。     

平晶检定中值得注意的两个问题

平晶是目前工厂中用来检定某些计量器具工作面平面性或平行性的主要量具。由于受条件限制,许多厂至今仍沿用以标准平晶与被检平晶接触,用观察干涉带弯曲的方法来检定平晶的平面性。这种检定方法容易出现以下两种现象: 1.检定时被检平晶和标准平晶光胶住了     

精密薄片塞规的检测及不确定度的评定

1　前言精密薄片塞规 (如图 1所示 ) ,主要用于精度要求较高的间隙测量和精密厚度的比较测量等。该塞规由于厚度较薄 ,尺寸精度要求较高 ,因此 ,测量时很难掌握其准确性。现就根据薄片塞规的技术要求 ,对实际测量方法及不确定度的评定如下。图 12　底工作面平面度的检测由于薄片塞规底工作面是加工基准 ,因此其平面度要求较高。在加工时采用了精研技术 ,为了防止其变形 ,使用了专用工装进行加工。在检测时 ,我们采用2级平面平晶进行测量 ,通过观看干涉条纹的情况来计算出其误差大小。测量时该工作面的干涉条纹为弯曲形 ,其弯曲度ba=35 ,测量…     

平面平晶局部平面度校准的探讨

文章介绍了用平面平晶校准量块工作面平面度的方法,根据校准原理提出局部平面度校准来提高被测量面平面度校准的精度,并对平面平晶的局部校准提出了新的建议。     

解除平晶检定中光胶与堆积物的办法

平晶是目前工厂中用来检定某些计量器具工作面平面性或平行性的主要量具。由于受条件限制,许多厂至今仍沿用以标准平晶与被检平晶接触,用观察干涉带弯曲的方法来检定平晶的平面性。这种检定方法容易使平晶表面出现光胶和堆积物的现象。解决的办法是: 1.光胶现象的解除由于标准平晶的重量或由于检定时施加的压力,使标准平晶与被检平晶发生光胶现象一被检平晶与标准平晶粘住无法分开。为了脱开光胶的平晶,可用酒精灯火焰烘烤平晶柱面(注意,应一边烘烤一边转动,时间不宜太长),使平晶间残留的空气和水受热膨胀,减弱表面分子间的吸力,直至出现细而多的干涉带时用两手便可拔开。     

用油膜来调整两平晶空气间隙的方法

根据检定规程,文章阐述了用油膜来调整两平晶空气间隙的方法,达到调整干涉条纹的目的。     

温度对平晶平面度影响的定性分析及相关问题探讨

在测量平晶工作面的平面度时，温度不仅对平晶平面度的大小有影响，而且直接影响对平晶表面形状（凹凸）的判断。文章给出了温度对平晶平面度影响的实例分析，并提出了两种平晶表面形状判断的辅助方法，且对JJG28—2000《平晶》检定规程中平晶表面形状判断方法进行了必要的补充说明。     

Wave-optical evaluation of interference fringes and wavefront phase in a hard-x-ray beam totally reflected by mirror optics

The intensity flatness and wavefront shape in a coherent hard-x-ray beam totally reflected by flat mirrors that have surface bumps modeled by Gaussian functions were investigated by use of a wave-optical simulation code. Simulated results revealed the necessity for peak-to-valley height accuracy of better than 1 nm at a lateral resolution near 0.1 mm to remove high-contrast interference fringes and appreciable wavefront phase errors. Three mirrors that had different surface qualities were tested at the 1 km-long beam line at the SPring-8/Japan Synchrotron Radiation Research Institute. Interference fringes faded when the surface figure was corrected below the subnanometer level to a spatial resolution close to 0.1 mm, as indicated by the simulated results.     

运用ASAP光学软件模拟单轴晶体的锥光干涉

为了模拟不同光轴取向、光束发散角、晶体厚度或入射波长等参数下的单轴晶体锥光干涉,在 ASAP中定义起偏器、晶体、检偏器和接收屏的几何形状和光学特性,产生一组锥状高斯光束并设置其相干性和波动性,进行光线追迹、计算并显示接收屏上的干涉场能量分布。所得模拟结果表明,光轴与晶体表面垂直时,干涉条纹是 1组以光轴为圆心且被十字分割的内疏外密、明暗相间的同心圆环;平行时,是 2组分别以光轴的平行和垂直方向为对称轴的、内疏外密、明暗相间的双曲线;既不垂直也不平行时,条纹特征因光轴取向而异;当增大发散角、晶体厚度或减小波长时,干涉条纹都向内移动且条纹数增多,反之亦然;起、检偏器正交时的干涉条纹都和它们平行时的条纹互补。     

平晶表面形状加压分析判断法的原理与应用探讨

平晶表面形状的判断对于平晶平面度的计算非常重要，错误的判断将会直接导致计算错误。该文通过对加压分析判断法原理的介绍，讨论在实际检定工作中的注意事项。灵活掌握该方法不仅对于平晶检定工作，而且在使用平晶测量量具或工件表面平面度时都非常重要。     

多光束移相干涉在镀膜平面形貌测量的应用研究

本文以光干涉原理为基础,分析多光束干涉原理特点及其在平面形貌(平面度)测量中应用可能,提出应用移相方法对被测镀高反膜表面进行调制,得到一系列被调制的干涉图样,经计算机对干涉图样进行自动采集和图像解包裹,获得被测表面的三维形貌数据,并通过实际测试验证了该方法的可行性和科学性。     

光纤准白光干涉信号数字化处理方法

提出一种光纤准白光干涉信号数字化处理方法。该方法采用干涉条纹脉冲实现干涉包络信 号同步采集,克服了导轨移动速度不均匀造成的影响;通过高斯函数曲线拟合方法高精度确定干涉信号零光程差点;大大提高了准白光干涉信号定位精度。为消除包络信号采样边界点不确定性带来的误差,采用外插法进行补偿。实验表明,采用该方法对光纤准白光干涉信号零光程差位置的定位精度优于0.5个干涉条纹。     

多光束移相干涉在镀膜平面形貌测量的应用研究

本文以光干涉原理为基础,分析多光束干涉原理特点及其在平面形貌（平面度）测量中应用可能,提出应用移相方法对被测镀高反膜表面进行调制,得到一系列被调制的干涉图样,经计算机对干涉图样进行自动采集和图像解包裹,获得被测表面的三维形貌数据,并通过实际测试验证了该方法的可行性和科学性.     

一种新型位移与角度同时测量系统的设计

为了消除悬臂梁移动时产生的阿贝偏角误差,设计了一种可同时测量角度与位移的精密测量系统．首先,在激光干涉原理的基础上,通过改变光路将角度转换为可以反映干涉系统中光程差变化的位移量．其次,采用压电陶瓷（PZT）驱动柔性铰链机构,产生运动的干涉条纹．最后,采用四细分条纹计数辨向方法,进行运动干涉条纹的接收与处理实验,结果表明：在条纹宽度处于合适值时,系统满足了对阿贝偏角精密测量的要求．     

Evaluation of Measurement Uncertainty for Absolute Flatness Measurement by Using Fizeau Interferometer with Phase-Shifting Capability

It is important to precisely measure flatness of the optical flats, as many industries use these as reference standards to ensure the quality of precision measurements and fabricated components. This paper describes identification of sources of error and measurement uncertainty evaluation for three flat test. Three flat test is used for absolute flatness measurement of optical flats, with the help of Fizeau interferometer (VerifireXP/D, with phase shift interferometry) established recently at National Physical Laboratory, India (NPL-I). The absolute profile of reference flat with higher accuracy can be determined using liquid level reference but liquid flat reference is more difficult to realize practically. Therefore three flat test is frequently adopted in standard interferometric measurements and traceability of this test can also be established by using a traceable laser head. This paper describes three flat method in detail along with observations and evaluation of measurement uncertainty as per ISO GUM is also done. Factors contributing to uncertainty of measurement of surface flatness have been indentified and detailed evaluation of uncertainty in measurements has been reported here.