分压强质谱计校准装置的研制

分压强质谱计校准装置用于质谱计的校准。本文介绍了分压强质谱计校准装置的结构、工作原理及分压强测量方法,并给出了分压强测量的不确定度分析。     

分压力质谱计的校准

分压力质谱计的校准是一个没有完全解决的难题。本文只是从普遍的原则介绍了校准分压力质谱计时应注意的问题，如分压力质谱计的调整、校准前的检查等。还对最新的四种分压力质谱计推荐校准方法及相应的校准装置做了描述。最后对兰州物理研究所研制的分压力质谱计校准装置进行了简要介绍，供从事分压力质谱计校准研究的工作者参考。     

分压力质谱计校准装置的性能测试及校准实验

介绍了分压力质谱计校准装置的性能指标,并用分压力质谱计校准装置校准了一台四极质谱计,给出了灵敏度、图样系数、线性、质量刻度、分辨本领等校准结果,还研究了气体之间的相互影响.     

分压强质谱计校准装置测量不确定度评估

为了评估分压强质谱计校准装置的不确定度,对作为参考标准的磁悬浮转子规进行了大量实验,包括磁悬浮转子规的长期稳定性、切向动量传递系数随气体种类和温度的变化等.在此基础上,对两种测量方法测量1～3种混合气体分压强的不确定度进行了严格评估,给出了扩展不确定度和包含因子.此外,还按建立测量标准的要求给出了分压强质谱计校准装置的重复性和稳定性,并进行了合格性评定.     

分压力质谱计校准装置的不确定度分析

介绍了分压力质谱计校准装置的结构，工作原理及分压力测量方法，对分压力测量和灵敏度校准的不确定度进行了分析。     

四极质谱计校准和应用研究系统

为了满足对四极质谱计定量分析的需求,建立了一台四极质谱计校准与应用研究系统。该系统可用于四极质谱计分压强灵敏度及图样系数的校准和四极质谱计稳定性的研究,并可用作演示系统。为实现在各种应用条件下的分析应用,本系统采用四种进样系统,把四极质谱分析器与被测系统连接起来,即超高真空条件下直接进样、10~(-2)～10~2Pa压强分析时的分子流动态进样、高压强下直到大气压的毛细管进样以及微量气体分析时的静态或准静态进样系统。     

同位素法拓展四极质谱计的校准范围

通过对质谱计校准的分析,指出了超高真空范围校准质谱计存在的困难。详细介绍了可用于质谱计校准的同位素法,并将其用于四极质谱计的灵敏度因子校准。校准范围在用动态法校准的基础上提高了近三个数量级。实验结果证实:在轻质量范围(超高真空常见气氛的质量范围)内,四极质谱计的质量歧视效应不妨碍同位素校准法的应用。     

空间磁偏转质谱计校准装置设计及校准方法研究

为确保磁偏转质谱计空间探测应用测量数据的准确性,设计了一套校准装置对磁偏转质谱计进行地面校准。本文介绍了装置的结构设计,并根据校准装置和磁偏转质谱计自身的特点,提出了二种校准方法,分别为:分压力测量法和标样气体法。研究表明,校准装置的极限真空度可达到5×10~(-8)Pa,二种校准方法对应不同的校准范围,可将质谱计的校准下限延伸至10~(-8)Pa,比国内目前已报道的质谱计的校准下限低1~2个量级。     

四极质谱计工作参数对校准因子影响研究

介绍了在危险气体成份分析系统校准装置上,开展四极质谱计工作参数对校准因子影响的实验研究工作。在实验中,每次改变四极质谱计的一个工作参数,如电子能量、离子能量、发射电流、分辨本领、扫描速度、收集方式等,测量氮谱峰离子流强度和被校气体谱峰离子流强度,利用校准因子计算公式,通过计算获得校准因子值,并分析校准因子的变化趋势,给出四极质谱计实验室校准参数设置,减小校准不确定度。     

质谱定量分析方法的探讨及应用研究

建立了一套在气样室内气样压强低于700Pa时均可满足“分子流进样”条件的质谱校准与定量分析系统。通过大量的实验，确定了四极质谱计的工作参数；测定了常用被分析气体的定量系数；并采用实时校准的办法，利用标准气样标定了本装置的系统误差；对各类荧光灯中混合型填充气体的配比和国内外成品荧光灯中的杂质气体含量进行了质谱定量分析；测定了生产中未充入填充气体的灯管内的残气压强。取得了一批对指导生产、改进工艺有用的数据。本系统同样也适用于其他类似场合。